JP5020119B2 - 析出板製造装置および析出板製造方法 - Google Patents
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Description
溶湯の表面からの放射エネルギーを検出し、前記放射エネルギーを温度換算する検出手段と、
前記放射エネルギーが換算された温度の変化に基づいて、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物の有無を判断する判断手段と、
判断手段の判断結果に応じて、浸漬手段の動作を制御する制御手段とを有し、
前記判断手段は、前記放射エネルギーが換算された温度の変化が、予め定める変化幅以上であり、かつその状態が予め定める期間継続したときに、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が有るものと判断し、
前記制御手段は、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が有ると判断されたときは、冷却体の溶湯中への浸漬を停止することを特徴とする析出板製造装置である。
溶湯の表面からの放射エネルギーを検出する、放射温度計で構成される検出手段と、
前記放射エネルギーの変化に基づいて、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物の有無を判断する判断手段と、
判断手段の判断結果に応じて、浸漬手段の動作を制御する制御手段とを有し、
前記判断手段は、前記放射エネルギーの変化が、予め定める変化幅以上であり、かつその状態が予め定める期間継続したときに、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が有るものと判断し、
前記制御手段は、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が有ると判断されたときは、冷却体の溶湯中への浸漬を停止することを特徴とする析出板製造装置である。
また本発明は、溶解対象物を加熱して溶湯にし、該溶湯を収容する溶解炉と、析出板生成の原板である冷却体を、溶湯の上方位置へ搬送し、溶湯中へ浸漬し、溶湯中から引き上げて溶湯の上方位置から離反する方向へ搬送する浸漬手段とを備え、溶解対象物を冷却体の表面に凝固析出させて析出板を製造する析出板製造装置であって、
溶湯の表面からの放射エネルギーを検出する、サーモグラフィーで構成される検出手段と、
前記放射エネルギーの変化に基づいて、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物の有無を判断する判断手段と、
判断手段の判断結果に応じて、浸漬手段の動作を制御する制御手段とを有し、
前記判断手段は、前記放射エネルギーの変化が、予め定める変化幅以上であり、かつその状態が予め定める期間継続したときに、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が有るものと判断し、
前記制御手段は、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が有ると判断されたときは、冷却体の溶湯中への浸漬を停止することを特徴とする析出板製造装置である。
前記制御手段は、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が有ると判断されたときは、冷却体の溶湯中への浸漬を停止し、冷却体の溶湯中への浸漬を停止したのちに冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が無いと判断されたときは、冷却体の溶湯中への浸漬を再開することを特徴とする。
前記制御手段は、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が有ると判断されたときは、冷却体の溶湯中への浸漬を停止し、冷却体の溶湯中への浸漬を停止したのちに冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が無いと判断されたときは、冷却体の溶湯中への浸漬を再開することを特徴とする。
前記制御手段は、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が有ると判断されたときは、冷却体の溶湯中への浸漬を停止することを特徴とする。
また本発明は、溶解対象物を溶解炉で加熱して溶湯にし、析出板生成の原板である冷却体を、溶解炉に収容される溶湯の上方位置へ搬送し、溶湯中へ浸漬し、溶湯中から引き上げて溶湯の上方位置から離反する方向へ搬送することによって、溶解対象物を冷却体の表面に凝固析出させて析出板を製造する析出板製造方法であって、
溶湯の表面からの放射エネルギーを検出し、前記放射エネルギーを温度換算する検出工程と、
判断手段によって前記放射エネルギーが換算された温度の変化に基づいて、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物の有無を判断する判断工程と、
制御手段によって判断手段の判断結果に応じて、浸漬手段の動作を制御する制御工程とを有し、
前記判断工程では、前記放射エネルギーが換算された温度の変化が、予め定める変化幅以上であり、かつその状態が予め定める期間継続したときに、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が有るものと判断し、
前記制御工程では、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が有ると判断されたときは、冷却体の溶湯中への浸漬を停止することを特徴とする析出板製造方法である。
これにより、放射エネルギーの変化を容易に、かつ速やかに算出することができる。
放射温度計50による溶湯23の温度測定は、予め溶湯23の表面を複数の領域に分割し、分割した領域毎の平均温度を、その領域の溶湯23温度とする。
溶湯23の表面全体の面積に対して浮遊物が占める面積は、非常に小さいものである。したがって、溶湯23の表面全体の平均値を用いて浮遊物を検出しようとした場合、浮遊物がある状態の平均値と、浮遊物が無い状態の平均値とでは、値の差がほとんど見られないことになる。
図4に示したグラフは、縦軸が温度(℃)を示し、横軸が時間(秒)を示す。縦軸の温度は、分割領域S1内の平均温度であり、以下では単に「温度」という。
図5に示したグラフは、縦軸が温度(℃)を示し、横軸が時間(秒)を示す。縦軸の温度は、分割領域S1内の平均温度であり、以下では単に「温度」という。
21 チャンバ
23 溶湯
24 溶解炉
25 冷却体基板
26 浸漬装置
27 層状シリコン
28 落下物受容手段
29 落下物再投入手段
32 坩堝
33 第1高周波誘導コイル
45 制御装置
50 放射温度計
51 検出窓
Claims (8)
- 溶解対象物を加熱して溶湯にし、該溶湯を収容する溶解炉と、析出板生成の原板である冷却体を、溶湯の上方位置へ搬送し、溶湯中へ浸漬し、溶湯中から引き上げて溶湯の上方位置から離反する方向へ搬送する浸漬手段とを備え、溶解対象物を冷却体の表面に凝固析出させて析出板を製造する析出板製造装置であって、
溶湯の表面からの放射エネルギーを検出し、前記放射エネルギーを温度換算する検出手段と、
前記放射エネルギーが換算された温度の変化に基づいて、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物の有無を判断する判断手段と、
判断手段の判断結果に応じて、浸漬手段の動作を制御する制御手段とを有し、
前記判断手段は、前記放射エネルギーが換算された温度の変化が、予め定める変化幅以上であり、かつその状態が予め定める期間継続したときに、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が有るものと判断し、
前記制御手段は、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が有ると判断されたときは、冷却体の溶湯中への浸漬を停止することを特徴とする析出板製造装置。 - 溶解対象物を加熱して溶湯にし、該溶湯を収容する溶解炉と、析出板生成の原板である冷却体を、溶湯の上方位置へ搬送し、溶湯中へ浸漬し、溶湯中から引き上げて溶湯の上方位置から離反する方向へ搬送する浸漬手段とを備え、溶解対象物を冷却体の表面に凝固析出させて析出板を製造する析出板製造装置であって、
溶湯の表面からの放射エネルギーを検出する、放射温度計で構成される検出手段と、
前記放射エネルギーの変化に基づいて、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物の有無を判断する判断手段と、
判断手段の判断結果に応じて、浸漬手段の動作を制御する制御手段とを有し、
前記判断手段は、前記放射エネルギーの変化が、予め定める変化幅以上であり、かつその状態が予め定める期間継続したときに、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が有るものと判断し、
前記制御手段は、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が有ると判断されたときは、冷却体の溶湯中への浸漬を停止することを特徴とする析出板製造装置。 - 溶解対象物を加熱して溶湯にし、該溶湯を収容する溶解炉と、析出板生成の原板である冷却体を、溶湯の上方位置へ搬送し、溶湯中へ浸漬し、溶湯中から引き上げて溶湯の上方位置から離反する方向へ搬送する浸漬手段とを備え、溶解対象物を冷却体の表面に凝固析出させて析出板を製造する析出板製造装置であって、
溶湯の表面からの放射エネルギーを検出する、サーモグラフィーで構成される検出手段と、
前記放射エネルギーの変化に基づいて、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物の有無を判断する判断手段と、
判断手段の判断結果に応じて、浸漬手段の動作を制御する制御手段とを有し、
前記判断手段は、前記放射エネルギーの変化が、予め定める変化幅以上であり、かつその状態が予め定める期間継続したときに、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が有るものと判断し、
前記制御手段は、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が有ると判断されたときは、冷却体の溶湯中への浸漬を停止することを特徴とする析出板製造装置。 - 前記判断手段は、前記放射エネルギーの変化が、予め定める変化幅以上であり、かつその状態が予め定める期間継続したときに、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が有るものと判断し、前記放射エネルギーの増加が、予め定める変化幅以上であり、かつその状態が予め定める期間継続した後、前記放射エネルギーの変化が、予め定める変化幅以下であり、かつその状態が予め定める期間継続したときに、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が無いものと判断し、
前記制御手段は、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が有ると判断されたときは、冷却体の溶湯中への浸漬を停止し、冷却体の溶湯中への浸漬を停止したのちに冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が無いと判断されたときは、冷却体の溶湯中への浸漬を再開することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の析出板製造装置。 - 前記判断手段は、前記放射エネルギーの変化が、予め定める変化幅以上であり、かつその状態が予め定める期間継続したときに、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が有るものと判断し、前記放射エネルギーの減少が、予め定める変化幅以上であり、かつその状態が予め定める期間継続した後、前記放射エネルギーが増加し、前記放射エネルギーの増加が、予め定める変化幅以上になった後、前記放射エネルギーが減少し、前記放射エネルギーの減少が、予め定める変化幅以下であり、かつその状態が予め定める期間継続したときに、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が無いものと判断し、
前記制御手段は、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が有ると判断されたときは、冷却体の溶湯中への浸漬を停止し、冷却体の溶湯中への浸漬を停止したのちに冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が無いと判断されたときは、冷却体の溶湯中への浸漬を再開することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の析出板製造装置。 - 前記判断手段は、現在の放射エネルギーと、現在よりも過去の所定期間の放射エネルギーの平均値との差を、放射エネルギーの変化として算出し、前記放射エネルギーの変化が、予め定める変化幅以上であり、かつその状態が予め定める期間継続したときに、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が有るものと判断し、
前記制御手段は、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が有ると判断されたときは、冷却体の溶湯中への浸漬を停止することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の析出板製造装置。 - 前記判断手段は、放射エネルギーを温度換算することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1つに記載の析出板製造装置。
- 溶解対象物を溶解炉で加熱して溶湯にし、析出板生成の原板である冷却体を、溶解炉に収容される溶湯の上方位置へ搬送し、溶湯中へ浸漬し、溶湯中から引き上げて溶湯の上方位置から離反する方向へ搬送することによって、溶解対象物を冷却体の表面に凝固析出させて析出板を製造する析出板製造方法であって、
溶湯の表面からの放射エネルギーを検出し、前記放射エネルギーを温度換算する検出工程と、
判断手段によって前記放射エネルギーが換算された温度の変化に基づいて、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物の有無を判断する判断工程と、
制御手段によって判断手段の判断結果に応じて、浸漬手段の動作を制御する制御工程とを有し、
前記判断工程では、前記放射エネルギーが換算された温度の変化が、予め定める変化幅以上であり、かつその状態が予め定める期間継続したときに、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が有るものと判断し、
前記制御工程では、冷却体の溶湯中への浸漬軌道と干渉する物が有ると判断されたときは、冷却体の溶湯中への浸漬を停止することを特徴とする析出板製造方法。
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