JP5017983B2 - 板状物の吸着パッド - Google Patents
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Description
2 取付基材
3 外周側弾性体(シール部材)
3a 外周側弾性体の先端面(当接部)
4 内周側弾性体
6 液体供給孔
7 負圧吸引孔
G ガラス基板(板状物)
Claims (5)
- 取付基材に装着されたシール部材の先端が板状物の表面に当接した状態で、該シール部材の内周側全域に形成される密閉空間に負圧を作用させることにより、前記板状物を吸着保持するように構成した吸着パッドであって、
前記シール部材は、単泡スポンジで形成されて前記板状物への当接部が吸液性を有する外周側弾性体であり、
前記取付基材に、前記密閉空間に対して負圧吸引を行う負圧吸引孔と、前記密閉空間に対して液体を供給する液体供給孔とを形成すると共に、
前記密閉空間内に、該密閉空間に供給される液体を吸液し且つ該液体を前記板状物の表面に流出させる連泡スポンジで形成された内周側弾性体を配置して、該内周側弾性体を前記取付基材に装着し、
前記密閉空間の最外周部位に前記負圧吸引孔が開口する隙間が設けられ且つ該密閉空間の前記隙間を除く全部位に前記内周側弾性体が配置されている
ことを特徴とする板状物の吸着パッド。 - 前記内周側弾性体に液体が流入するように液体供給孔が開口していることを特徴とする請求項1に記載の板状物の吸着パッド。
- 前記内周側弾性体及び外周側弾性体の取付基材への装着面が板状物の表面と平行な状態に配置されるように構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の板状物の吸着パッド。
- 前記外周側弾性体が取付基材への装着面と垂直な方向に弾性変形するように構成されていることを特徴とする請求項3に記載の板状物の吸着パッド。
- 前記板状物がフラットパネルディスプレイ用のガラス基板であって、前記液体が水であることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の板状物の吸着パッド。
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