JP5016571B2 - 光スペクトルモニタ - Google Patents
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Description
前記被測定光の波長の1/2波長付近で発光する波長モニタ用光源22と、前記被測定光と前記波長モニタ用光源からの光とを合成する合波器23とを含む入射手段2と、
前記被測定光の1次回折光と前記波長モニタ用光源の2次回折光とを分波する分波部61を有し、該分波部で分波した前記波長モニタ用光源の2次回折光を入力して波長をモニタする波長モニタ手段6とを備えたことを特徴とする。
前記波長モニタ用光源22は、前記被測定光の波長の1/2波長を含む広帯域の光を発光することを特徴とする。
前記波長モニタ手段6は、前記分波部61で分波した前記波長モニタ用光源の2次回折光を透過し、その透過光が波長に対する光強度変化を生じる透過素子64aと、該透過素子の透過光を受光して前記光強度変化を波長に対する電気信号に変換する受光器64cとを備えたことを特徴とする。
前記波長モニタ手段6は、前記分波部61と前記透過素子64aとの間の光路に配置され、前記透過素子に向かう光と該透過素子に向かわない光とに分光する分光部62と、該分光部で分光された前記透過素子に向かわない光を受光する受光器63bとをさらに備えたことを特徴とする。
前記波長モニタ用光源22は、少なくとも1つの既知の波長の光を含むことを特徴とする。
前記波長モニタ用光源22は、既知波長の狭帯域の光を発光することを特徴とする。
2 入射手段
3 回折手段
4 回折制御手段
5 測定用受光手段
6 波長モニタ手段
21 光入力ポート
22 波長モニタ用光源
23 合波器
24 コリメータ
25 既知波長透過部
31 回折格子
32 反射体
41 制御部
42 駆動部
51 測定用集光器
52 測定用受光器
61 分波部
62 分光部
63 モニタ光第1受光部
63a モニタ光第1集光器
63b モニタ光第1受光器
64 モニタ光第2受光部
64a エタロン(透過素子)
64b モニタ光第2集光器
64c モニタ光第2受光器
65 透過率算出部
66 記憶部
67 波長校正部
68 スペクトラム表示部
Claims (6)
- 光スペクトルの掃引に応じた回折角で被測定光を回折する回折手段(3)を有し、該回折手段による1次回折光を受光し、受光量に応じた電気信号に変換出力する光スペクトルモニタにおいて、
前記被測定光の波長の1/2波長付近で発光する波長モニタ用光源(22)と、前記被測定光と前記波長モニタ用光源からの光とを合成する合波器(23)とを含む入射手段(2)と、
前記被測定光の1次回折光と前記波長モニタ用光源の2次回折光とを分波する分波部(61)を有し、該分波部で分波した前記波長モニタ用光源の2次回折光を入力して波長をモニタする波長モニタ手段(6)とを備えたことを特徴とする光スペクトルモニタ。 - 前記波長モニタ用光源(22)は、前記被測定光の波長の1/2波長を含む広帯域の光を発光することを特徴とする請求項1記載の光スペクトルモニタ。
- 請求項2記載の光スペクトルモニタにおいて、
前記波長モニタ手段(6)は、前記分波部(61)で分波した前記波長モニタ用光源の2次回折光を透過し、その透過光が波長に対する光強度変化を生じる透過素子(64a)と、該透過素子の透過光を受光して前記光強度変化を波長に対する電気信号に変換する受光器(64c)とを備えたことを特徴とする光スペクトルモニタ。 - 請求項3記載の光スペクトルモニタにおいて、
前記波長モニタ手段(6)は、前記分波部(61)と前記透過素子(64a)との間の光路に配置され、前記透過素子に向かう光と該透過素子に向かわない光とに分光する分光部(62)と、該分光部で分光された前記透過素子に向かわない光を受光する受光器(63b)とをさらに備えたことを特徴とする光スペクトルモニタ。 - 前記波長モニタ用光源(22)は、少なくとも1つの既知の波長の光を含むことを特徴とする請求項1記載の光スペクトルモニタ。
- 前記波長モニタ用光源(22)は、既知波長の狭帯域の光を発光することを特徴とする請求項1記載の光スペクトルモニタ。
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