JP2004354209A - 光波長測定方法、光波長測定装置および光スペクトラム解析装置 - Google Patents
光波長測定方法、光波長測定装置および光スペクトラム解析装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004354209A JP2004354209A JP2003152467A JP2003152467A JP2004354209A JP 2004354209 A JP2004354209 A JP 2004354209A JP 2003152467 A JP2003152467 A JP 2003152467A JP 2003152467 A JP2003152467 A JP 2003152467A JP 2004354209 A JP2004354209 A JP 2004354209A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- wavelength
- transmittance
- measured
- intensity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
【解決手段】被測定光Pcを分岐手段21によって2分岐し、その一方Pdの強度Eaを受光器22で検出し、他方Peを光に対する透過率が波長によって変化する透過特性を有する透過素子23に入射し、その出射光Pe′の強度Ebを受光器24で検出する。透過率算出手段30は検出された2つの光の強度から、被測定光の透過素子23に対する透過率Hを算出する。波長検出手段33は、この算出された透過率Hと透過素子23の透過特性とに基づいて、被測定光Pcの波長λxを求める。
【選択図】 図6
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光の波長を正確に測定するための技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
光に含まれる各波長成分の強度を測定するための装置として、図15に示すような光学系を有する光スペクトラム解析装置が従来から用いられていた。
【0003】
図15において、入射端子10aから入射された被測定光Pは、コリメートレンズ11により平行光P′に変換されて、回折格子12に入射される。
【0004】
回折格子12は入射した光P′をその波長に応じた回折角で出射し、その回折格子12から出射された光Paは、回折格子12に対して角度を変えることが可能に構成されたミラー13に入射し、その反射光Pbが回折格子12へ再入射する。
【0005】
この反射光Paに対する回折格子12の出射光のうち、所定の出射角度で出射される光Pcが受光器14に入射されて、その強度が検出される。
【0006】
受光器14に入射される光Pcの波長は、回折格子12に対するミラー13の角度によって決定され、ミラー13を図示しない駆動装置によって所望の角度範囲で往復回転させることにより、受光器14に入射される光Pcの波長を所望の波長範囲内で掃引することができる。
【0007】
したがって、回折格子12に対するミラー13の角度あるいはその角度に対応した駆動信号の大きさと、受光器14に実際に入射される光Pcの波長λとの関係を予め求めておき、駆動装置によってミラー13の角度を変化させたときに、その角度に応じた波長情報と、受光器14によって検出される光の強度とを対応付けて取得することで、被測定光Pのスペクトラム特性を解析することができる。
【0008】
なお、上記光学系でミラー13を用いずに、回折格子12の角度を駆動装置により可変して受光器14に入射する光の波長を掃引する基本的な光学系により、光の波長と強度の関係を示すスペクトラム特性を解析する技術が、次の特許文献1に開示されている。
【0009】
【特許文献1】
特開2002−168692公報
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のようにミラー13を動かして波長を変化させる光学系を用いた従来の光スペクトラム解析装置では、駆動信号の大きさとミラー13の角度との対応関係が経時変化し、得られるスペクトラム特性の強度と波長との関係が合わなくなり、被測定光の正確なスペクトラム特性を解析できなくなるという問題があった。
【0011】
これを解決するために、例えばガス吸収セルを通過した基準光を入射してその吸収線スペクルのデータを求め、その波長をガス固有の安定な吸収線波長で校正する方法も考えられるが、校正のための作業が煩雑で、装置構成も大掛かりとなり、しかも、被測定光を入射している状態では、その校正された波長精度が得られているとは限らない。
【0012】
本発明は、この問題を解決し、基準の光源を用いることなく、光の波長を正確に測定できる波長測定方法および装置を提供するとともに、その波長測定方法および装置を用いて、被測定光を入射した状態でスペクトラム特性を正確に求めることができる光スペクトラム解析装置を提供することを目的としている。
【0013】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明の請求項1の光波長測定方法は、
光に対する透過率が波長によって変化する透過特性を有する透過素子に被測定光を入射するとともに、その入射光の強度と前記透過素子を通過して出射された出射光の強度を検出する段階(S1)と、
前記検出された入射光と出射光の強度から被測定光の前記透過素子に対する透過率を算出する段階(S2)と、
算出された透過率と前記透過素子の透過特性とに基づいて、被測定光の波長を求める段階(S3)とを含んでいる。
【0014】
また、本発明の請求項2の光波長測定方法は、
光に対する透過率が波長に対して周期的に変化する透過特性を有する第1の透過素子と、光に対する透過率が波長に対して周期的に変化する透過特性で且つ前記第1の透過素子の透過特性と異なる透過特性を有する第2の透過素子に被測定光を入射するとともに、各透過素子についてその入射光の強度と透過素子を通過して出射された出射光の強度をそれぞれ検出する段階(S11)と、
前記検出された入射光と出射光の強度から被測定光の前記各透過素子に対する透過率を算出する段階(S12)と、
算出された透過率と前記各透過素子の透過特性とに基づいて、被測定光の波長を求める段階(S13)とを含んでいる。
【0015】
また、本発明の請求項3の光波長測定装置は、
被測定光を分岐して異なる複数の光路へ出射する分岐手段(21)と、
前記分岐手段から第1の光路に出射された光の強度を検出する第1の受光器(22)と、
光に対する透過率が波長によって変化する透過特性を有し、前記分岐手段から第2の光路に出射された光を通過させる透過素子(23)と、
前記透過素子を通過した光の強度を検出する第2の受光器(24)と、
前記第1の受光器および前記第2の受光器によって検出された光の強度から前記透過素子に対する被測定光の透過率を算出する透過率算出手段(30)と、
前記透過率算出手段によって算出された透過率と前記透過素子の透過特性とに基づいて、被測定光の波長を求める波長検出手段(33)とを備えている。
【0016】
また、本発明の請求項4の光波長測定装置は、
被測定光を分岐して異なる複数の光路へ出射する分岐手段(21)と、
前記分岐手段から第1の光路に出射された光の強度を検出する第1の受光器(22)と、
光に対する透過率が波長に対して周期的に変化する透過特性を有し、前記分岐手段から第2の光路に出射された光を通過させる第1の透過素子(23)と、
前記第1の透過素子を通過した光の強度を検出する第2の受光器(24)と、光に対する透過率が波長に対して周期的に変化する透過特性で且つ前記第1の透過素子の透過特性と異なる透過特性を有し、前記分岐手段から第3の光路に出射された光を通過させる第2の透過素子(25)と、
前記第2の透過素子を通過した光の強度を検出する第3の受光器(26)と、前記第1の受光器および前記第2の受光器によって検出された光の強度から前記第1の透過素子に対する被測定光の透過率を算出する第1の透過率算出手段(30)と、
前記第1の受光器および前記第3の受光器によって検出された光の強度から前記第2の透過素子に対する被測定光の透過率を算出する第2の透過率算出手段(31)と、
前記第1の透過率算出手段および第2の透過率算出手段によって算出された透過率と前記第1の透過素子および第2の透過素子の透過特性とに基づいて、被測定光の波長を求める波長検出手段(33′)とを備えている。
【0017】
また、本発明の請求項5の光スペクトラム解析装置は、
スペクトラム解析の対象となる被測定光を入射するための入射端子(40a)と、
前記入射端子から入射された被測定光を受けて回折する回折格子(42)と、前記被測定光に対して前記回折格子が回折した光を受けて前記回折格子へ反射させるミラー(43)と、
前記回折格子に対する前記ミラーの角度を変化させて、該ミラーからの反射光に対して前記回折格子が所定の出射角で出射する光の波長を変化させるとともにその波長に対応した波長情報を出力する波長掃引手段(47、50)と、
前記回折格子が前記所定の出射角で出射する光を分岐して複数の光路へ出射する分岐手段(21)と、
前記分岐手段から第1の光路へ出射された光の強度を検出する第1の受光器(22)と、
光に対する透過率が波長によって変化する透過特性を有し、前記分岐手段から第2の光路へ出射された光を通過させる透過素子(23)と、
前記透過素子を通過した光の強度を検出する第2の受光器(24)と、
前記第1の受光器および第2の受光器によって検出された光の強度を前記波長情報に対応付けて記憶するスペクトラムデータ取得手段(50)と、
前記スペクトラムデータ取得手段によって取得された光の強度から前記透過素子を通過した光の透過率を算出する透過率算出手段(30)と、
前記透過率算出手段によって算出された透過率と前記透過素子の透過特性とに基づいて、前記分岐手段に入射された光の波長を求める波長検出手段(33)と、
前記波長検出手段によって検出された波長に基づいて、前記波長情報を校正する波長校正手段(55)とを備えている。
【0018】
また、本発明の請求項6の光スペクトラム解析装置は、
スペクトラム解析の対象となる被測定光を入射するための入射端子(40a)と、
前記入射端子から入射された被測定光を受けて回折する回折格子(42)と、前記被測定光に対して前記回折格子が回折した光を受けて前記回折格子へ反射させるミラー(43)と、
前記回折格子に対する前記ミラーの角度を変化させて、該ミラーからの反射光に対して前記回折格子が所定の出射角で出射する光の波長を変化させるとともにその波長に対応した波長情報を出力する波長掃引手段(47、50)と、
前記回折格子が前記所定の出射角で出射する光を分岐して複数の光路へ出射する分岐手段(21′)と、
前記分岐手段から第1の光路へ出射された光の強度を検出する第1の受光器(22)と、
光に対する透過率が波長に対して周期的に変化する透過特性を有し、前記分岐手段から第2の光路へ出射された光を通過させる第1の透過素子(23)と、
前記第1の透過素子を通過した光の強度を検出する第2の受光器(24)と、光に対する透過率が波長に対して周期的に変化する透過特性で且つ前記第1の透過素子と異なる透過特性を有し、前記分岐手段から第3の光路へ出射された光を通過させる第2の透過素子(25)と、
前記第2の透過素子を通過した光の強度を検出する第3の受光器(26)と、前記第1の受光器、第2の受光器および第3の受光器によって検出された光の強度を前記波長情報に対応付けて記憶するスペクトラムデータ取得手段(50′)と、
前記スペクトラムデータ取得手段によって取得された光の強度から前記第1の透過素子を通過した光の透過率を算出する第1の透過率算出手段(30)と、
前記スペクトラムデータ取得手段によって取得された光の強度から前記第2の透過素子を通過した光の透過率を算出する第2の透過率算出手段(31)と、
前記第1の透過率算出手段および第2の透過率算出手段によって算出された透過率と前記第1の透過素子および第2の透過素子の透過特性とに基づいて、前記分岐手段に入射された光の波長を求める波長検出手段(33′)と、
前記波長検出手段によって検出された波長に基づいて、前記波長情報を校正する波長校正手段(55)とを備えている。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。
図1は、本発明の波長測定方法の手順を示すフローチャートである。
【0020】
以下、このフローチャートに基づいて本発明の波長測定方法について説明する。なお、この波長測定方法は、単一波長の被測定光の波長を測定する方法である。
【0021】
始めに、光に対する透過率が例えば図2に示すように波長の単調変化に対して単調変化する透過特性Fを有し、その特性が安定な透過素子に、波長λxの被測定光を入射するとともに、その入射光の強度Eaと透過素子を通過して出射された出射光の強度Ebを検出する(S1)。
【0022】
次に、検出された入射光と出射光の強度Ea、Ebから被測定光の透過素子に対する透過率Hを、
H=Eb/Ea
の演算によって算出する(S2)。
【0023】
なお、透過率は、減衰率(損失)が決まれば一義的に決まる値であるから、以下の説明で「透過」を「減衰」に置き換えてもよい。そのように置き換えた場合も本発明に含まれるものとする。
【0024】
そして、この算出された透過率Hと透過素子の透過特性Fとに基づいて、被測定光の波長λxを求める(S3)。
【0025】
ここで、図2に示した透過特性Fのように、透過素子の透過率が広い波長範囲内で波長の単調変化に対して単調変化している場合、透過率Hが決まれば、波長も一義的に決まる。
【0026】
したがって、この透過特性Fを予め記憶していれば、算出された透過率Hから被測定光の波長λxを特定できる。
【0027】
この波長測定方法の測定精度は、透過素子の透過特性の安定度によって決まり、その透過特性が極めて安定なものとしては、エタロン(ETARON)と呼ばれる光学櫛形フィルタを用いることができる。
【0028】
ただし、このエタロンは、図3に示すように、波長の単調変化に対して透過率がほぼ一定波長間隔で周期的に増減変化する透過特性Faを有しているため、算出された透過率Hに対して、一つの波長を特定することができないが、一般的に単一波長の光を測定する場合、その波長の概略値は既知であるから、算出された透過率Hに対応する複数の波長のうち、その概略値に最も近いものを被測定光の波長λxとして選択すればよい。
【0029】
また、例えば図4に示すように、増減変化の周期が僅かに異なる透過特性Fa、Fbをそれぞれ有する透過素子を用いれば、波長の概略値が全く不明の光の波長を求めることができる。
【0030】
このように異なる透過特性の透過素子を用いた場合には、図5に示すように、その2つの透過素子に被測定光を入射して、それぞれの入射光の強度Ea、Ea′と通過光の強度Eb、Eb′を検出し(S11)、その検出された入射光と出射光の強度から被測定光の各透過素子に対する透過率H1、H2を、
H1=Eb/Ea
H2=Eb′/Ea′
の演算によって算出する(S12)。
【0031】
そして、一方の透過素子の透過特性Faで透過率がH1となる複数の波長のうち、他方の透過素子の透過特性Fbで透過率がH2となる波長を、被測定光の波長λxとして検出する(S13)。
【0032】
次に、上記の波長測定方法を用いた波長測定装置の実施形態について説明する。
【0033】
図6に示す波長測定装置20は、波長の概略値がわかっている被測定光を対象とするものであり、被測定光Pcをビームスプリッタ等からなり波長依存性がない分岐手段21によって2つの光路に分岐する。
【0034】
なお、分岐手段21の入射端から第1の光路への透過率をα、第2の光路への透過率をβとし、ともに既知とする。
【0035】
分岐手段21から第1の光路へ出射される光Pdは、第1の受光器22に入射されて、その光の強度に対応した電圧の信号Eaに変換されて透過率算出手段30へ出力される。
【0036】
また、分岐手段21から第2の光路へ出射される光Peは、例えば前記したエタロン等のように透過率が波長に対して周期的に変化する透過特性の透過素子23に入射され、この透過素子23を透過した光Pe′が第2の受光器24に入射されて、その光の強度に対応した電圧の信号Ebに変換されて透過率算出手段30へ出力される。
【0037】
透過率算出手段30は、第1の受光器22で検出された光の強度Eaと第2の受光器24で検出された光の強度Ebから、透過素子23に対する被測定光の透過率Hを算出する。
【0038】
即ち、分岐手段21に入射される光Pcの強度をE0とし、分岐手段21の出射光路毎の透過率α、βとすれば、第1の受光器22に入射される光Pdについて、
Ea=αE0
E0=Ea/α
が成立する。
【0039】
したがって、透過素子23に入射される光Pdの強度は、
βE0=(β/α)E0
となる。
【0040】
よって、透過素子23を通した光の透過率Hは、
H=Eb/βE0=(α/β)(Eb/Ea)
と表され、この式に第1の受光器22と第2受光器24の出力を代入することで、透過率Hを求めることができる。なお、分岐手段21の出射光路毎の分岐率が等しい場合には、受光器の出力Ea、Ebの比のみから透過率Hを求めることができる。
【0041】
このようにして算出された透過率Hは、波長検出手段33に出力される。
波長検出手段33は、予め透過素子23の透過特性Faを記憶しており、その透過特性、算出された透過率Hおよび波長概略値とに基づいて、被測定光の波長λxを求める。
【0042】
図7に示す波長測定装置20′は、波長の概略値が不明な被測定光を対象とするものであり、被測定光Pcを波長依存性のない分岐手段21′によって3つの光路に分岐する。なお、3つの光路への分岐率はそれぞれα、β、γで既知とする。
【0043】
分岐手段21′から第1の光路へ出射される光Pdは、第1の受光器22に入射されて、その光の強度に対応した電圧の信号Eaに変換されて、第1の透過率算出手段30および第2の透過率算出手段31に出力される。
【0044】
また、分岐手段21′から第2の光路へ出射される光Peは、前記図4の透過特性Faを有する第1の透過素子23に入射され、この第1の透過素子23を透過した光Pe′が第2の受光器24に入射されて、その光の強度に対応した電圧の信号Ebに変換されて第1の透過率算出手段30へ出力される。
【0045】
また、分岐手段21′から第3の光路へ出射される光Pfは、第1の透過素子23と異なる透過特性(図4のFb)を有する第2の透過素子25に入射され、この第2の透過素子25を透過した光Pf′が第3の受光器26に入射されて、その光の強度に対応した電圧の信号Ecに変換されて第2の透過率算出手段31へ出力される。
【0046】
第1の透過率算出手段30は、前記同様に第1の受光器22で検出された光の強度Eaと第2の受光器24で検出された光の強度Ebに基づいて、第1の透過素子23に対する被測定光の透過率H1を、
H1=(α/β)(Eb/Ea)
の演算によって算出して、波長検出手段33′に出力する。
【0047】
また、第2の透過率算出手段31は、第1の受光器22で検出された光の強度Eaと第3の受光器26で検出された光の強度Ecに基づいて、第2の透過素子25に対する被測定光の透過率H2を、
H2=(α/γ)(Ec/Ea)
の演算によって算出して、波長検出手段33′に出力する。
【0048】
この場合でも、分岐手段21′の出射光路毎の分岐率が等しい場合には、各受光器の出力Ea、Eb、Ecのみから各透過率Hを求めることができる。
【0049】
波長検出手段33′は、予め第1の透過素子23と第2の透過素子25の透過特性を記憶しており、それらの透過特性および算出された2つの透過率H1、H2に基づいて、被測定光の波長λxを求める。
【0050】
この波長検出は、前記したように、一方の透過素子23の透過特性Faで透過率がH1となる複数の波長のうち、他方の透過素子25の透過特性Fbで透過率がH2となる波長を、被測定光の波長として検出すればよい。
【0051】
このように、実施形態の波長測定装置では、透過率が波長に対して変化する透過特性を有する透過素子に被測定光を通過させ、その入射光強度と出射光強度を検出して、その光の透過率を算出し、算出した透過率と透過素子の透過特性とから被測定光の波長を検出している。
【0052】
このため、基準光源を用いた波長校正を行なうことなく、単一波長の被測定光の波長を正確に求めることができる。
【0053】
次に、上記波長測定装置を要部として有する光スペクトラム解析装置の実施形態を図8に基づいて説明する。
【0054】
図8に示している光スペクトラム解析装置40は、入射端子40aに入射されたスペクトラム解析対象の被測定光Pをコリメートレンズ41によって平行光P′に変換して回折格子42に入射し、その回折光Paをミラー43で受けてその反射光Pbを回折格子42に再入射する。なお、被測定光Pが平行光の場合には、コリメートレンズ41を省略することができる。また、以下の説明では前記した波長測定装置20、20′の構成要素と同等のものには同一符号を付している。
【0055】
ここで、ミラー43は、例えば図9に示すように構成されている。
即ち、ミラー43は、半導体基板をエッチングして形成したものであり、外形が矩形の枠状基板44と、枠状基板44の中央部に配置され、外形が矩形で一面側に光を高い反射率で反射する反射面が形成された反射板45と、枠状基板44の上板44aの中間部と反射板45の上縁中間部の間および下板44bの中間部と反射板45の下縁中間部の間を連結し、長手方向に沿って捩じれ変形が可能な一対の連結部46、46とを有しており、この連結部46の捩じれ変形により、反射板45は連結部46、46を結ぶ線を中心にして所定角度範囲内で回転できるようになっている。
【0056】
したがって、このミラー43の反射板46の端部に外力を加えることで、反射板44の角度を可変することができる。
【0057】
この反射板45に対して外力を与えるための駆動装置47としては、静電力を与えるものあるいは電磁力を与えるもののいずれでもよい。
【0058】
静電力を用いる場合には、例えば反射板45(ミラー43全体でもよい)の表面に導電層を形成するとともに、図10のように、反射板45の両端部にそれぞれ対向する固定電極48、49を設け、反射板45と固定電極48、49の間に電圧Vを印加することで、反射板45の両端と固定電極48、49の間に静電引力を生じさせ、反射板45の角度を変化させる。
【0059】
例えば、図10の(a)のように、反射板45と一方の固定電極48の間に電圧Vを印加すれば、反射板45の左側と固定電極48との間に静電引力が生じて反射板45は反時計回り回転して、静電引力と連結部46、46の復帰力とが釣り合う角度位置で停止する。
【0060】
また、図10の(b)のように、反射板45と他方の固定電49の間に電圧Vを印加すれば、反射板45の右側と固定電極49との間に静電引力が生じて反射板44は時計回り回転して、静電引力と連結部46、46の復帰力とが釣り合う角度位置で停止する。
【0061】
また、固定電極48、49に所定周期で且つ交互に電圧を印加すれば、反射板45は所定角度範囲内で往復回転することになる。
【0062】
また、固定電極48、49に異なる電圧を同時に印加すれば、反射板45はその電圧差に応じた角度位置で停止することになる。
【0063】
なお、ここでは、反射板45の表面側の両端に対向する位置に固定電極48、49を設けていたが、この固定電極48、49を反射板45の背面側にも設けて、反射板45の動きをより細かく制御することも可能である。
【0064】
また、図示しないが、電磁力を用いる場合には、例えば、反射板45の両端部に磁力で引かれる金属層を設け、これと対向するコイルに電流を流して、両者の間に生じた電磁力により、反射板45の角度を可変したり、所定角度範囲内で往復回転させる。
【0065】
このように半導体基板をエッチングして構成したミラー43は、小型に且つ軽量に構成することができ、反射板45の角度を高速に可変することができる。
【0066】
なお、ここで示したミラー43と駆動装置47の構成は一例であり、最も簡単には平面鏡をステッピングモータ等の回転駆動装置によって回転させる構成としてもよい。
【0067】
掃引制御手段50は、駆動装置47とともに波長掃引手段を構成するものであり、図示しない操作部等によって指定された掃引波長範囲に対応した角度範囲でミラー43が回転するための駆動信号Dを駆動装置46に出力し、その駆動信号Dの大きさに対応する波長情報λを順次出力するとともに、掃引の開始タイミングを示す掃引開始信号Ssと、掃引の終了タイミングを示す掃引終了信号Seを出力する。
【0068】
なお、ここでは、波長情報が波長の値そのものを表し、その波長値を校正する場合について説明するが、この波長情報は、分岐手段21に入射される光の波長に対応した値であればよく、ミラー43の角度データ、駆動信号の電圧値、後述するメモリのアドレス値であってもよい。
【0069】
また、ミラー43からの反射光Pbに対して、回折格子42が所定角度で出射する光Pcは、前記した分岐手段21によって第1の光路と第2の光路へ分岐出射される。ここで、前記したように、分岐手段21の第1の光路側への透過率はα、第2の光路側への透過率はβとする。
【0070】
第1の光路に出射された光Pdは、第1の受光器22に入射されて、その入射強度に比例した電圧の信号Ea(t)が出力される。
【0071】
また、第2の光路に出射された光Peは、波長によって透過率が変化する透過特性を有する透過素子23に入射され、その透過素子23を通過した光Pe′が、第1の受光器22と等しい受光特性をもつ第2の受光器24に入射されて、その入射強度に比例した電圧の信号Eb(t)が出力される。
【0072】
この透過素子23の透過特性は任意で、前記した図2の透過特性Fや、図3に示したエタロン等の透過特性Faのいずれでもよいが、ここでは、WDM光ネットワーク通信で用いられる光の測定を主目的にして、図11のように、波長間隔AがITUによって規定されている間隔(ITUグリッドの間隔)に設定され、且つ、そのITUグリッドの各波長G1、G2、…、Gnが透過率の単調変化領域(図11は単調増加領域の例を示しているが単調減少領域でもよい)に設定された透過特性Faをもっているものとする。
【0073】
第1の受光器22の出力信号Ea(t)と第2の受光器24の出力信号Eb(t)は、スペクトラムデータ取得手段51に入力される。
【0074】
スペクトラムデータ取得手段51は、入力される信号Ea(t)、Eb(t)を、掃引制御手段50から出力される波長情報λの更新周期と同一周期でサンプリングしてディジタル値に変換し、そのサンプル値Ea(k)、Eb(b)を波長情報λに対応付けてそれぞれメモリ52、53に記憶する。
【0075】
例えば、各ITUグリッドの近傍にほぼ等しい強さの波長成分を有する光が被測定光Pとして入射され、その波長範囲が掃引された場合、第1の受光器22には、被測定光Pに含まれる各波長成分が分岐手段21を介して入射されて、メモリ52には、図12の(a)に示すように、その光に含まれる各波長毎の強度Ea(k)のデータ列で表されるスペクトラムデータが記憶されることになる。
【0076】
また、第2の受光器24には、被測定光Pに含まれる各波長成分が分岐手段21および透過素子23を介して入射され、メモリ53には、図12の(b)のように、透過素子23の透過特性の影響を受けた光に含まれる各波長毎の強度Eb(k)のデータ列で表されるスペクトラムデータが記憶されることになる。
【0077】
透過率算出手段30は、メモリ52、53に記憶されたスペクトラムデータ、即ち、第1の受光器22および第2の受光器24によって検出された光の強度とそれに対応付けされた波長情報とに基づいて、透過素子23を通過した光の透過率を算出する。
【0078】
例えば、図12の(b)に示しているように、メモリ53に記憶された各サンプル値Eb(k)のうち、透過素子23の透過率が単調変化する各波長領域のなかで最も大きな値となるサンプル値Em(i1)〜Em(in)を波長検出対象値として選択し、その各波長検出対象値Em(i1)〜Em(in)と、それに対応した波長情報λ(i)に対応付けされてメモリ52に記憶されている各サンプル値Ea(i1)〜Ea(in)(図12の(a))と、分岐手段21の透過率α、βとを用いて、各波長毎の透過率を以下のように求める。
【0079】
H(i1)=(α/β)Em(i1)/Ea(i1)
H(i2)=(α/β)Em(i2)/Ea(i2)
……
H(in)=(α/β)Em(in)/Ea(in)
【0080】
波長検出手段33は、透過率算出手段30によって算出された各透過率H(i1)〜H(in)と予め記憶されている透過素子23の透過特性Faとに基づいて、各サンプル値Ea(i1)〜Ea(in)の波長λx(i1)〜λx(in)を求める。
【0081】
ただし、前記したように、エタロンを透過素子23として用いた場合、算出された透過率から波長を一義的に求めることはできないので、その算出された一つの透過率H(ij)(j=1〜n)に対して透過特性Faから得られる複数の波長のうち、波長検出対象値Em(ij)に対応付けされてメモリ53に記憶されている波長λ(k)に最も近い波長をその波長検出対象値Em(ij)に対応した正確な波長λx(ij)として選択する。
【0082】
波長校正手段55は、波長検出手段33によって得られた各波長λx(i1)〜λx(in)に基づいて、このスペクトラム解析装置40の波長情報を校正する。
【0083】
この波長校正の対象はスペクトラム解析装置の構成に応じて行なえばよく、ここでは、メモリ52に記憶されている各サンプ値Ea(k)の波長λ(k)を校正する例を示している。
【0084】
即ち、上記のように、WDM光ネットワーク通信で用いられるITUグリッドの光が入射されて、複数の強度データについての正確な波長が得られた場合には、各波長検出対象値Em(ij)毎に検出された各波長λx(ij)と各波長検出対象値Em(ij)に対応付けられて記憶された波長情報との誤差Δλ(ij)をそれぞれ求め、掃引制御手段21が出力する波長情報に対する誤差Δλ(ij)の変化特性Qを例えば図13のように求める。
【0085】
そして、この変化特性Qに基づいて、メモリ52に記憶されているスペクトラムデータの各波長情報を減算補正する。
【0086】
スペクトラム波形表示手段56は、上記のようにして波長情報が校正されたメモリ52のスペクトラムデータを読み出すとともに、表示器57の画面上に、横軸を波長軸、縦軸をパワー軸の直交座標を表示し、その直交座標上にスペクトラムデータの波形を表示させる。
【0087】
このスペクトラム波形の波長軸は波長校正手段55によって校正されているため、ITUグリッド近傍の各スペクトラムの波長と強度を正確に把握できる。
【0088】
このように、実施形態のスペクトラム解析装置40では、ミラー43からの反射光に対して回折格子42が所定角度で出射する光Pcを2つの光路に分岐し、その一方の分岐光を第1の受光器22に入射し、その受光器22の出力から被測定光のスペクトラムデータを求めるとともに、他方の分岐光を波長に対して透過率が変化する安定な透過特性Faを有する透過素子23に入射し、その通過光を第2の受光器24に入射して、そのスペクトラムデータを求め、両スペクトラムデータから透過素子23を通過した光の透過率を算出し、算出された透過率と透過素子23の透過特性Faとに基づいて、透過素子23を通過した光の波長を求め、その求めた波長に基づいて被測定光のスペクトラムデータの波長を校正している。
【0089】
このため、従来のように波長校正用の別光源を用いることなく、簡単な構成で被測定光のスペクトラム測定と波長校正とを並行して行なうことができる。
【0090】
また、透過素子23として、所定波長間隔で透過率が周期的に変化する透過特性Faを有するエタロンを用いた場合には、上記のようにWDM光ネットワーク通信で用いられるITUグリッドの光のスペクトラム特性を高い波長精度で求めることができる。
【0091】
なお、上記実施形態の光スペクトラム解析装置40では、回折格子42から所定角度で出射された光Pcを2光路に分岐してその一方を第1の受光器22で受光し、他方を透過素子23に入射してその通過光を第2の受光器24で受光していたが、図14に示すスペクトラム解析装置40′のように、回折格子42から所定角度で出射された光Pcを分岐手段21′によって3光路に分岐し、第1の光路に出射された光Pdを第1の受光器23で受光し、第2の光路に出射された光Peを第1の透過素子23に入射してその通過光Pe′を第2の受光器24で受光し、さらに第3の光路に出射された光Pfを第2の透過素子25に入射してその通過光Pf′を第3の受光器26で受光するように構成してもよい。
【0092】
この構成の場合、前記したように、第2の透過素子25の透過特性Fbは、第1の透過素子23の透過特性Faと異なるようにしておく。
【0093】
そして、前記同様に、波長が掃引されたときの各受光器22、24、26の出力信号Ea(t)、Eb(t)、Ec(t)を、スペクトラムデータ取得手段51′によってサンプリングしてそのサンプル値Ea(k)、Eb(k)、Ec(k)を波長情報λに対応付けてそれぞれメモリ52、53、54に記憶する。
【0094】
そして、第1の透過率算出手段30は、前記同様にメモリ52、53に記憶されたスペクトラムデータに基づいて、第1の透過素子23を通過した光の透過率H1(ij)を求める。また、第2の透過率算出手段31は、メモリ52、54に記憶されたスペクトラムデータに基づいて、第2の透過素子25を通過した光の透過率H2(ij)を求める。
【0095】
波長検出手段30′は、波長毎にそれぞれ2組ずつ得られた透過率H1(ij)、H2(ij)と、2つの透過素子23、25の透過特性Fa、Fbとから、各透過率H1(ij)、H2(ij)によって決まる光の正確な波長λx(ij)を求める。
【0096】
この場合には、ある波長について得られた2つの透過率H1(ij)、Hb(ij)から、一義的に一つの波長λx(ij)を求めることができ、前記したように、掃引制御手段50の波長情報を参照する必要はない。
【0097】
そして、得られた正確な波長λx(ij)に基づいて、前記同様に波長校正することで、被測定光についてのスペクトラムデータの波長情報を校正できる。
【0098】
また、上記した実施形態のスペクトラム解析装置40、40′では、メモリ52に記憶されたスペクトラムデータの波長情報を補正していたが、これは本発明を限定するものではなく、掃引制御手段50が出力する波長情報を校正したり、スペクトラム波形表示手段56において、表示する波形の波長情報を補正してもよい。
【0099】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の波長測定方法および装置は、光に対する透過率が波長によって変化する透過特性を有する透過素子に被測定光を入射するとともに、その入射光の強度と透過素子を通過して出射された出射光の強度を検出し、その検出された入射光と出射光の強度から被測定光の透過素子に対する透過率を求め、求めた透過率と透過素子の透過特性とに基づいて、被測定光の波長を求めている。
【0100】
このため、基準光源を用いることなく、単一波長の被測定光の波長を正確に求めることができる。
【0101】
また、光に対する透過率が波長に対して周期的に変化する透過特性を有する第1の透過素子および第2の透過素子に被測定光を入射するとともに、各透過素子についてその入射光の強度と透過素子を通過して出射された出射光の強度をそれぞれ検出し、その検出された入射光と出射光の強度から被測定光の各透過素子に対する透過率を求め、求めた透過率と各透過素子の透過特性とに基づいて、被測定光の波長を求めるようにしたものでは、波長の概略値が不明の単一波長の被測定光の波長も正確に求めることができる。
【0102】
また、本発明の光スペクトラム解析装置は、ミラーからの反射光に対して回折格子が所定角度で出射する光に対して、前記波長測定装置と同様の処理を行なって、その光の波長を正確に求め、その求めた波長に基づいて波長情報の校正を行なっている。
【0103】
このため、従来のように波長校正用の光を別途用意して入射する必要がなく、被測定光を入射した状態で波長校正を行なうことができる。
【0104】
また、透過素子としてエタロンのように透過率が波長に対して周期的に変化する透過特性を有するものを用いた場合、WDM光ネットワーク通信で規定されているITUグリッドの光の波長を正確に解析することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の波長測定方法の手順を示すフローチャート
【図2】透過素子の特性例を示す図
【図3】透過素子の特性例を示す図
【図4】透過素子の特性例を示す図
【図5】本発明の別の波長測定方法の手順を示すフローチャート
【図6】本発明の光波長測定装置の構成例を示す図
【図7】本発明の別の光波長測定装置の構成例を示す図
【図8】本発明の光スペクトラム解析装置の構成例を示す図
【図9】光スペクトラム解析装置の要部の構成例を示す図
【図10】実施形態の要部の動作を説明するための図
【図11】実施形態の要部の特性例を示す図
【図12】実施形態の要部の動作を説明するための図
【図13】実施形態の要部の動作を説明するための図
【図14】本発明の別の光スペクトラム解析装置の構成例を示す図
【図15】従来装置の構成図
【符号の説明】
20、20′……光波長測定装置、21、21′……分岐手段、22、24、26……受光器、23、25……透過素子、30、31……透過率算出手段、33……波長検出手段、40……光スペクトラム解析装置、40a……入射端子、41……コリメートレンズ、42……回折格子、43……ミラー、47……駆動装置、50……掃引制御手段、51、51′……スペクトラムデータ取得手段、52〜54……メモリ、55……波長校正手段、56……スペクトラム波形表示手段、57……表示器
Claims (6)
- 光に対する透過率が波長によって変化する透過特性を有する透過素子に被測定光を入射するとともに、その入射光の強度と前記透過素子を通過して出射された出射光の強度を検出する段階(S1)と、
前記検出された入射光と出射光の強度から被測定光の前記透過素子に対する透過率を算出する段階(S2)と、
算出された透過率と前記透過素子の透過特性とに基づいて、被測定光の波長を求める段階(S3)とを含む光波長測定方法。 - 光に対する透過率が波長に対して周期的に変化する透過特性を有する第1の透過素子と、光に対する透過率が波長に対して周期的に変化する透過特性で且つ前記第1の透過素子の透過特性と異なる透過特性を有する第2の透過素子に被測定光を入射するとともに、各透過素子についてその入射光の強度と透過素子を通過して出射された出射光の強度をそれぞれ検出する段階(S11)と、
前記検出された入射光と出射光の強度から被測定光の前記各透過素子に対する透過率を算出する段階(S12)と、
算出された透過率と前記各透過素子の透過特性とに基づいて、被測定光の波長を求める段階(S13)とを含む光波長測定方法。 - 被測定光を分岐して異なる複数の光路へ出射する分岐手段(21)と、
前記分岐手段から第1の光路に出射された光の強度を検出する第1の受光器(22)と、
光に対する透過率が波長によって変化する透過特性を有し、前記分岐手段から第2の光路に出射された光を通過させる透過素子(23)と、
前記透過素子を通過した光の強度を検出する第2の受光器(24)と、
前記第1の受光器および前記第2の受光器によって検出された光の強度から前記透過素子に対する被測定光の透過率を算出する透過率算出手段(30)と、
前記透過率算出手段によって算出された透過率と前記透過素子の透過特性とに基づいて、被測定光の波長を求める波長検出手段(33)とを備えた光波長測定装置。 - 被測定光を分岐して異なる複数の光路へ出射する分岐手段(21)と、
前記分岐手段から第1の光路に出射された光の強度を検出する第1の受光器(22)と、
光に対する透過率が波長に対して周期的に変化する透過特性を有し、前記分岐手段から第2の光路に出射された光を通過させる第1の透過素子(23)と、
前記第1の透過素子を通過した光の強度を検出する第2の受光器(24)と、光に対する透過率が波長に対して周期的に変化する透過特性で且つ前記第1の透過素子の透過特性と異なる透過特性を有し、前記分岐手段から第3の光路に出射された光を通過させる第2の透過素子(25)と、
前記第2の透過素子を通過した光の強度を検出する第3の受光器(26)と、前記第1の受光器および前記第2の受光器によって検出された光の強度から前記第1の透過素子に対する被測定光の透過率を算出する第1の透過率算出手段(30)と、
前記第1の受光器および前記第3の受光器によって検出された光の強度から前記第2の透過素子に対する被測定光の透過率を算出する第2の透過率算出手段(31)と、
前記第1の透過率算出手段および第2の透過率算出手段によって算出された透過率と前記第1の透過素子および第2の透過素子の透過特性とに基づいて、被測定光の波長を求める波長検出手段(33′)とを備えた光波長測定装置。 - スペクトラム解析の対象となる被測定光を入射するための入射端子(40a)と、
前記入射端子から入射された被測定光を受けて回折する回折格子(42)と、前記被測定光に対して前記回折格子が回折した光を受けて前記回折格子へ反射させるミラー(43)と、
前記回折格子に対する前記ミラーの角度を変化させて、該ミラーからの反射光に対して前記回折格子が所定の出射角で出射する光の波長を変化させるとともにその波長に対応した波長情報を出力する波長掃引手段(47、50)と、
前記回折格子が前記所定の出射角で出射する光を分岐して複数の光路へ出射する分岐手段(21)と、
前記分岐手段から第1の光路へ出射された光の強度を検出する第1の受光器(22)と、
光に対する透過率が波長によって変化する透過特性を有し、前記分岐手段から第2の光路へ出射された光を通過させる透過素子(23)と、
前記透過素子を通過した光の強度を検出する第2の受光器(24)と、
前記第1の受光器および第2の受光器によって検出された光の強度を前記波長情報に対応付けて記憶するスペクトラムデータ取得手段(50)と、
前記スペクトラムデータ取得手段によって取得された光の強度から前記透過素子を通過した光の透過率を算出する透過率算出手段(30)と、
前記透過率算出手段によって算出された透過率と前記透過素子の透過特性とに基づいて、前記分岐手段に入射された光の波長を求める波長検出手段(33)と、
前記波長検出手段によって検出された波長に基づいて、前記波長情報を校正する波長校正手段(55)とを備えた光スペクトラム解析装置。 - スペクトラム解析の対象となる被測定光を入射するための入射端子(40a)と、
前記入射端子から入射された被測定光を受けて回折する回折格子(42)と、前記被測定光に対して前記回折格子が回折した光を受けて前記回折格子へ反射させるミラー(43)と、
前記回折格子に対する前記ミラーの角度を変化させて、該ミラーからの反射光に対して前記回折格子が所定の出射角で出射する光の波長を変化させるとともにその波長に対応した波長情報を出力する波長掃引手段(47、50)と、
前記回折格子が前記所定の出射角で出射する光を分岐して複数の光路へ出射する分岐手段(21′)と、
前記分岐手段から第1の光路へ出射された光の強度を検出する第1の受光器(22)と、
光に対する透過率が波長に対して周期的に変化する透過特性を有し、前記分岐手段から第2の光路へ出射された光を通過させる第1の透過素子(23)と、
前記第1の透過素子を通過した光の強度を検出する第2の受光器(24)と、光に対する透過率が波長に対して周期的に変化する透過特性で且つ前記第1の透過素子の透過特性と異なる透過特性を有し、前記分岐手段から第3の光路へ出射された光を通過させる第2の透過素子(25)と、
前記第2の透過素子を通過した光の強度を検出する第3の受光器(26)と、前記第1の受光器、第2の受光器および第3の受光器によって検出された光の強度を前記波長情報に対応付けて記憶するスペクトラムデータ取得手段(50′)と、
前記スペクトラムデータ取得手段によって取得された光の強度から前記第1の透過素子を通過した光の透過率を算出する第1の透過率算出手段(30)と、
前記スペクトラムデータ取得手段によって取得された光の強度から前記第2の透過素子を通過した光の透過率を算出する第2の透過率算出手段(31)と、
前記第1の透過率算出手段および第2の透過率算出手段によって算出された透過率と前記第1の透過素子および第2の透過素子の透過特性とに基づいて、前記分岐手段に入射された光の波長を求める波長検出手段(33′)と、
前記波長検出手段によって検出された波長に基づいて、前記波長情報を校正する波長校正手段(55)とを備えた光スペクトラム解析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003152467A JP2004354209A (ja) | 2003-05-29 | 2003-05-29 | 光波長測定方法、光波長測定装置および光スペクトラム解析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003152467A JP2004354209A (ja) | 2003-05-29 | 2003-05-29 | 光波長測定方法、光波長測定装置および光スペクトラム解析装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004354209A true JP2004354209A (ja) | 2004-12-16 |
Family
ID=34047682
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003152467A Pending JP2004354209A (ja) | 2003-05-29 | 2003-05-29 | 光波長測定方法、光波長測定装置および光スペクトラム解析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004354209A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005249775A (ja) * | 2004-03-02 | 2005-09-15 | Ind Technol Res Inst | 光波長計 |
JP2010054357A (ja) * | 2008-08-28 | 2010-03-11 | Anritsu Corp | 光スペクトルモニタ |
CN103109176A (zh) * | 2010-07-21 | 2013-05-15 | 霍夫曼-拉罗奇有限公司 | 光度测定中可用动态范围的增大 |
JP2014085301A (ja) * | 2012-10-26 | 2014-05-12 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 波長掃引光源用光強度計測装置 |
JP7136959B1 (ja) | 2021-03-26 | 2022-09-13 | アンリツ株式会社 | 光スペクトラムアナライザ及び波長校正制御方法 |
-
2003
- 2003-05-29 JP JP2003152467A patent/JP2004354209A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005249775A (ja) * | 2004-03-02 | 2005-09-15 | Ind Technol Res Inst | 光波長計 |
JP2010054357A (ja) * | 2008-08-28 | 2010-03-11 | Anritsu Corp | 光スペクトルモニタ |
CN103109176A (zh) * | 2010-07-21 | 2013-05-15 | 霍夫曼-拉罗奇有限公司 | 光度测定中可用动态范围的增大 |
JP2014085301A (ja) * | 2012-10-26 | 2014-05-12 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 波長掃引光源用光強度計測装置 |
JP7136959B1 (ja) | 2021-03-26 | 2022-09-13 | アンリツ株式会社 | 光スペクトラムアナライザ及び波長校正制御方法 |
JP2022150581A (ja) * | 2021-03-26 | 2022-10-07 | アンリツ株式会社 | 光スペクトラムアナライザ及び波長校正制御方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10151633B2 (en) | High accuracy absorbance spectrophotometers | |
JPS6134442A (ja) | 試料表面ないしは試料の表面膜層の物理的特性を検査するためのエリプソメトリ測定法とその装置 | |
JP2002116089A (ja) | 高精度波長計 | |
CN110809712A (zh) | 光谱仪校准 | |
JP3774630B2 (ja) | 光学装置及び光スペクトラム・アナライザ | |
CN108801972A (zh) | 一种基于数字微镜器件的傅里叶光谱仪 | |
CN102680097B (zh) | 分光特性测量方法以及分光特性测量装置 | |
JP2004354209A (ja) | 光波長測定方法、光波長測定装置および光スペクトラム解析装置 | |
CN106092968A (zh) | 光学检测装置及方法 | |
JP4853255B2 (ja) | ガス分析装置 | |
JP2002323309A (ja) | 回折部の回転角検出装置 | |
US10267727B2 (en) | Determining polarization rotation characteristics of a sample taking into consideration a transmission dispersion | |
WO2021169518A1 (zh) | 波长计、获取波长计的参数的方法以及在线校准的方法 | |
JP7128315B1 (ja) | 光スペクトラムアナライザ及び波長校正制御方法 | |
CN113494967B (zh) | 波长测量装置和波长测量的方法 | |
JPH0915048A (ja) | 分光光度計 | |
CN108303387B (zh) | 用于分析测量区域的方法和微型光谱仪 | |
EP3647757A1 (en) | Reflected light measurement device | |
US7180599B2 (en) | Polarization effect averaging | |
JPH02102425A (ja) | 光スペクトラムアナライザ用光干渉計 | |
CN117490847B (zh) | 一种高通量高分辨率静态傅里叶变换光谱测量方法 | |
JPS6038209Y2 (ja) | 分析計 | |
JP2001021415A (ja) | 光波長検出方法及び光波長検出装置 | |
JP2000131144A (ja) | 波長モニタおよび光源 | |
RU2247969C1 (ru) | Спектральный эллипсометр |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050404 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20070615 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20070807 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071005 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20080311 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20080902 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |