JP5009506B2 - 試料の1つ又は複数の特性を決定するための方法とシステム - Google Patents
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- 試料の特性をその試料に接触せずに決定するように構成されているシステムであって、
前記試料上の測定スポットに異なる波長の光を同時に照射するように構成されている、同じ周波数で変調される2つの光源と、
前記試料上で少なくとも2回の測定を実行するように構成されているプローブであって、前記少なくとも2回の測定はそれぞれ、前記2つの光源のうちの一方により前記試料への照射により行われる、プローブと、
前記異なる波長で前記試料の前記少なくとも2つの測定結果と吸収係数から前記試料の少数キャリア拡散長を決定するように構成されたプロセッサと
を備え、
前記2つの光源のうちの第1の光源は、前記2つの光源のうちの第2の光源と比較して90°ずれた位相で変調されることを特徴とするシステム。 - 前記2つの光源は、ダイオード・レーザである請求項1に記載のシステム。
- 前記2つの光源は、レーザを含み、さらに、前記レーザの変調ドライバにより変調される請求項1に記載のシステム。
- 前記2つの光源は、さらに、前記試料に一定の光束を照射するように構成されている請求項1に記載のシステム。
- 前記少なくとも2回の測定が2つの表面光電圧を含み、前記プロセッサは、前記2つの表面光電圧の逆数と前記吸収係数の逆数のグラフを生成し、前記グラフのリニア・フィットから前記少数キャリア拡散長を決定するように構成されている請求項1に記載のシステム。
- 前記2つの光源は、さらに、前記試料を照射し前記試料から等しい表面光電圧を発生するように構成されている請求項1に記載のシステム。
- 前記少なくとも2回の測定が2つの光束で行われ、前記プロセッサは、さらに、前記2つの光束と前記吸収係数の逆数のグラフを生成し、前記グラフのリニア・フィットから前記少数キャリア拡散長を決定するように構成されている請求項1に記載のシステム。
- 前記プロセッサは、前記少数キャリア拡散長を使用して前記試料内の汚染レベルを決定するように構成されている請求項1に記載のシステム。
- 前記システムはプロセス装置に結合される請求項1に記載のシステム。
- 試料の特性を、その試料に接触せずに決定する方法であって、
異なる波長を持ち、同じ周波数で変調されている、2本の光線を前記試料上の測定スポットに同時に照射することと、
前記試料上で少なくとも2回の測定を実行し、前記少なくとも2回の測定結果はそれぞれ、前記2本の光線のうちの1本を前記試料に照射することにより生成されることと、
前記異なる波長で前記試料の前記少なくとも2つの測定結果と吸収係数から前記試料の少数キャリア拡散長を決定することと
を含み、
前記2本の光線のうちの第1の光線は、前記2本の光線のうちの第2の光線と比較して90°ずれた位相で変調されることを特徴とする方法。 - 前記2本の光線は一定の光束を持つ請求項10に記載の方法。
- 前記決定することは、前記2つの表面光電圧の逆数と前記吸収係数の逆数のグラフを生成することと、前記グラフへのリニア・フィットから前記少数キャリア拡散長を決定することとを含む請求項10に記載の方法。
- 前記2本の光線は、前記試料を照射し前記試料から等しい表面光電圧を発生するように構成されている請求項10に記載の方法。
- 前記少なくとも2回の測定は2つの光束で行われ、前記決定することは、前記2つの光束と前記吸収係数の逆数のグラフを生成することと、前記グラフのリニア・フィットから前記少数キャリア拡散長を決定することとを含む請求項10に記載の方法。
- さらに、前記少数キャリア拡散長を使用して前記試料内の汚染レベルを決定することを含む請求項10に記載の方法。
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