JP5006766B2 - Lens driving device and method of manufacturing lens driving device - Google Patents

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Description

本発明は、レンズを備えた移動体をバネ部材によって光軸方向に変位可能に支持したレンズ駆動装置およびレンズ駆動装置の製造方法に関するものである。 The present invention relates to a lens driving device in which a moving body including a lens is supported by a spring member so as to be displaceable in an optical axis direction, and a method for manufacturing the lens driving device .

カメラ付き携帯電話機やデジタルカメラなどに搭載されたカメラは、レンズを光軸方向に変位駆動させるレンズ駆動装置を有している。このようなレンズ駆動装置は、支持体と、レンズを備えた移動体と、移動体をレンズ光軸に沿って移動可能に支持するバネ部材とを有しており、バネ部材は、支持体側に固定される支持体側固定部と、移動体側に固定される移動体側固定部と、支持体側固定部と移動体側固定部とを連結する複数の板バネ状のアーム部とを備えている（特許文献１参照）。   A camera mounted on a camera-equipped mobile phone, a digital camera, or the like has a lens driving device that drives the lens to be displaced in the optical axis direction. Such a lens driving device includes a support, a moving body including a lens, and a spring member that supports the moving body so as to be movable along the lens optical axis. The spring member is disposed on the support side. A support-side fixing portion to be fixed, a moving-body-side fixing portion fixed to the moving-body side, and a plurality of leaf spring-like arm portions that connect the support-side fixing portion and the moving-body-side fixing portion (Patent Document) 1).

ここで、バネ部材は、一般に、フォトリソグラフィ技術を用いたウエットエッチング加工により、薄板を切断することにより製造される。
特開２００６−２０１５２５号公報 Here, the spring member is generally manufactured by cutting a thin plate by wet etching using a photolithography technique.
JP 2006-201525 A

このようなレンズ駆動装置では、支持体側と移動体側との間に構成された磁気駆動機構により移動体を光軸方向に駆動するとともに、バネ部材によってその移動を規制し、移動体の停止位置を規定する。このため、バネ部材のアーム部のバネ定数に対しては高い精度が求められるが、従来の製造方法では、かかる高い精度のバネ定数を得ることができないという問題点がある。かかる問題は、レンズ駆動装置に用いられるバネ部材に限らず、バネ部材によって移動体の位置を規制する機器などに用いられるバネ部材全般にいえることである。但し、特にレンズ駆動装置では、その小型化および薄型化に伴って、バネ部材の薄型化やアーム部の細幅化に対する要求が厳しいため、その分、バネ定数の制御が困難になりつつある。   In such a lens driving device, the moving body is driven in the optical axis direction by a magnetic driving mechanism configured between the support body side and the moving body side, and the movement of the moving body is regulated by a spring member, and the stop position of the moving body is set. Stipulate. For this reason, although high precision is calculated | required with respect to the spring constant of the arm part of a spring member, in the conventional manufacturing method, there exists a problem that such a highly accurate spring constant cannot be obtained. Such a problem is not limited to the spring member used in the lens driving device, but can be applied to all spring members used in devices that regulate the position of the moving body by the spring member. However, especially in the lens driving device, as the size and thickness of the lens driving device are reduced, the demand for the thinning of the spring member and the narrowing of the arm portion is severe, and accordingly, the control of the spring constant is becoming difficult.

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、板バネ状のアーム部のバネ定数の精度を向上したバネ部材を備えたレンズ駆動装置およびレンズ駆動装置の製造方法を提供することにある。 In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a lens driving device including a spring member with improved accuracy of a spring constant of a plate spring-like arm portion, and a method for manufacturing the lens driving device .

以上のような課題を解決するために、本発明では、支持体、レンズを備えた移動体、前記支持体と前記移動体との間に構成された磁気駆動機構、および、前記磁気駆動機構によりレンズ光軸方向に駆動される前記移動体を当該レンズ光軸に沿って移動可能に支持するとともに、前記移動体の移動を規制して当該移動体の停止位置を規定するバネ部材を有するレンズ駆動装置において、前記バネ部材は、前記支持体側に固定される支持体側固定部と、前記移動体側に固定される移動体側固定部と、前記支持体側固定部と前記移動体側固定部とを連結する複数の板バネ状のアーム部とを備え、前記複数のアーム部のうちの少なくとも１つは、縁部の一部にレーザによる切断部分を備えており、前記アーム部において前記レーザによる切断部分以外の縁部は、プレス加工、あるいはフォトリソグラフィ技術を用いたエッチング加工による切断部分であり、前記バネ部材において、前記レーザによる切断部分は、前記アーム部を形成する切り欠きを延長して前記アーム部の長さ寸法を伸ばすことにより当該アーム部のバネ定数を補正するものであることを特徴とする。 In order to solve the above-described problems, the present invention provides a support body , a movable body including a lens, a magnetic drive mechanism configured between the support body and the movable body, and the magnetic drive mechanism. the movable body driven by the lens optical axis direction while supported movably along the lens optical axis, a lens drive having a spring member which restricts the movement of the moving body to define the stop position of the movable body In the apparatus, the spring member includes a support-side fixing portion that is fixed to the support side, a moving-body-side fixing portion that is fixed to the moving-body side, and a plurality that connects the support-side fixing portion and the moving-body-side fixing portion. and a plate-spring-like arm portions, at least one of said plurality of arm portions is provided with a cut portion in a part by the laser edge, except cutting portion by the laser in the arm portion The edge portion is a cut portion by press processing or etching processing using a photolithography technique. In the spring member, the cut portion by the laser extends a notch forming the arm portion to extend the notch of the arm portion. The spring constant of the arm portion is corrected by extending the length dimension .

すなわち支持体、レンズを備えた移動体、前記支持体と前記移動体との間に構成された磁気駆動機構、および、前記磁気駆動機構によりレンズ光軸方向に駆動される前記移動体を当該レンズ光軸に沿って移動可能に支持するとともに、前記移動体の移動を規制して当該移動体の停止位置を規定するバネ部材を有するレンズ駆動装置の製造方法において、前記バネ部材は、前記支持体側に固定される支持体側固定部と、前記移動体側に固定される移動体側固定部と、前記支持体側固定部と前記移動体側固定部とを連結する複数の板バネ状のアーム部とを備え、当該バネ部材を製造するにあたっては、薄板を切断して前記支持体側固定部、前記移動体側固定部、および前記アーム部を形成する切断工程と、該切断工程により形成した前記アーム部のバネ定数を計測し、当該バネ定数の計測結果に基づいて、前記アーム部の縁部の一部にレーザによる切断部分を設けて前記バネ定数を補正するレーザトリミング工程と、を行い、前記切断工程では、前記薄板に対するプレス加工、あるいはフォトリソグラフィ技術を用いたエッチング加工により前記支持体側固定部、前記移動体側固定部、および前記アーム部を形成し、前記レーザトリミング工程では、前記バネ部材において、前記アーム部を形成する切り欠きを延長して前記アーム部の長さ寸法を伸ばすことを特徴とする。 That moving body provided with a support, the lens, the magnetic drive mechanism configured between the support and the moving body, and the lens the moving body driven to the lens optical axis direction by the magnetic drive mechanism with movably supported along the optical axis, in the manufacturing method of the lens driving device having a spring member which defines the stop position of the regulating to the movable body movement of the movable body, the spring member, the support side A support body side fixing portion fixed to the movable body side, a moving body side fixing portion fixed to the mobile body side, and a plurality of leaf spring-like arm portions connecting the support body side fixing portion and the mobile body side fixing portion, In manufacturing the spring member, a cutting step of cutting a thin plate to form the support side fixing portion, the moving body side fixing portion, and the arm portion, and the arm portion formed by the cutting step The spring constant is measured based on the measurement result of the spring constant, it has rows, and the laser trimming step for correcting the spring constant of the cut portion by the laser provided in a part of the edge of the arm portion, the cutting In the step, the support side fixing portion, the moving body side fixing portion, and the arm portion are formed by press processing on the thin plate or etching processing using a photolithography technique. In the laser trimming step, in the spring member, The length of the arm part is extended by extending a notch forming the arm part .

本発明では、切断工程でバネ部材の支持体側固定部、移動体側固定部、およびアーム部を形成した後、レーザトリミング工程では、アーム部のバネ定数を計測し、当該バネ定数の計測結果に基づいて、レーザトリミング工程を行い、バネ定数を補正する。このため、切断工程だけではバネ定数の精度が低い場合でも、レーザトリミング工程後、バネ部材は、精度の高いバネ定数を有することになる。従って、バネ部材の付勢力によって移動体の位置を制御した際、バネ部材のバネ定数の精度が高いので、移動体の位置を高い精度で制御することができる。   In the present invention, after forming the support member side fixing portion, the movable body side fixing portion, and the arm portion of the spring member in the cutting step, the laser trimming step measures the spring constant of the arm portion, and based on the measurement result of the spring constant. Then, a laser trimming process is performed to correct the spring constant. For this reason, even if the accuracy of the spring constant is low only by the cutting process, the spring member has a highly accurate spring constant after the laser trimming process. Therefore, when the position of the moving body is controlled by the biasing force of the spring member, the accuracy of the spring constant of the spring member is high, so that the position of the moving body can be controlled with high accuracy.

また、本発明では、前記バネ部材において、前記レーザによる切断部分は、前記アーム部を形成する切り欠きを延長して前記アーム部の長さ寸法を伸ばすように形成されている。従って、アーム部の形状を変更する場合と比較して、アーム部の幅寸法が狭い場合でも、レーザトリミングが容易である。 In the present invention, in the spring member, the laser cut portion is formed so as to extend the length of the arm portion by extending a notch forming the arm portion . Therefore, laser trimming is easy even when the width of the arm portion is narrower than when the shape of the arm portion is changed.

本発明において、前記アーム部は周方向に延在しており、前記バネ部材は、前記アーム部より内側で前記アーム部と前記移動体側固定部との連結部分に向けて切り込まれた第１スリット部と、前記アーム部より外側で前記アーム部と前記支持体側固定部との連結部分に向けて切り込まれた第２スリット部とを備え、前記レーザによる切断部分は前記第１スリット部または／および前記第２スリット部を延長して前記アーム部の長さ寸法を伸ばすように形成されている構成を採用することができる。このように構成すると、アーム部の形状を変更する場合と比較して、アーム部の幅寸法が狭い場合でも、レーザトリミングが容易である。   In this invention, the said arm part is extended in the circumferential direction, and the said spring member is cut | disconnected toward the connection part of the said arm part and the said mobile body side fixing | fixed part inside the said arm part. A slit part, and a second slit part cut out toward a connecting part between the arm part and the support side fixing part outside the arm part, and the cutting part by the laser is the first slit part or A configuration may be employed in which the second slit portion is extended to extend the length of the arm portion. If comprised in this way, compared with the case where the shape of an arm part is changed, even when the width dimension of an arm part is narrow, laser trimming is easy.

この場合、前記複数のアーム部のいずれにおいても、アーム部の内側に位置する前記第１スリット部と、当該アーム部に対して周方向で隣接する位置に形成されたアーム部の外側に位置する前記第２スリット部とは、周方向で繋がった切り欠きを構成していることが好ましい。このように構成すると、薄板からバネ部材を製造する際、薄板に対する切り抜きパターンを簡素化できるので、バネ部材の切断工程を簡素化できるとともに、抜きパターンの精度を高めることができる。   In this case, in any of the plurality of arm portions, the first slit portion located inside the arm portion is located outside the arm portion formed at a position adjacent to the arm portion in the circumferential direction. It is preferable that the second slit portion forms a notch connected in the circumferential direction. If comprised in this way, when manufacturing a spring member from a thin plate, since the cutting pattern with respect to a thin plate can be simplified, while the cutting process of a spring member can be simplified, the precision of a cutting pattern can be raised.

本発明において、前記レーザによる切断部分は前記第２スリット部を延長して前記アーム部の長さ寸法を伸ばすように形成されていることが好ましい。アーム部と移動体側固定部との連結部は、その強度などを考慮して形状や幅寸法が設定されていることが多いので、レーザによって第１スリット部を延長すると、アーム部と移動体側固定部との連結部の強度などが損なわれるおそれがあるが、レーザによって第２スリット部を延長した場合にはかかる問題を回避することができる。   In the present invention, it is preferable that the laser cut portion is formed so as to extend the length of the arm portion by extending the second slit portion. Since the connecting part between the arm part and the movable body side fixed part is often set in shape and width in consideration of its strength and the like, when the first slit part is extended by the laser, the arm part and the movable body side fixed part are fixed. There is a risk that the strength of the connecting portion with the portion may be impaired, but such a problem can be avoided when the second slit portion is extended by a laser.

本発明において、前記移動体側固定部は、前記複数のアーム部が接続する環状枠体状に形成され、前記複数のアーム部は、前記移動体側固定部に沿って湾曲している構成を採用することができる。   In the present invention, the movable body side fixed portion is formed in an annular frame shape to which the plurality of arm portions are connected, and the plurality of arm portions are configured to be curved along the movable body side fixed portion. be able to.

本発明では、切断工程でバネ部材の支持体側固定部、移動体側固定部、およびアーム部を形成した後、レーザトリミング工程では、アーム部のバネ定数を計測し、当該バネ定数の計測結果に基づいて、レーザトリミング工程を行い、バネ定数を補正する。このため、切断工程だけではバネ定数の精度が低い場合でも、レーザトリミング工程後、バネ部材は、精度の高いバネ定数を有することになる。   In the present invention, after forming the support member side fixing portion, the movable body side fixing portion, and the arm portion of the spring member in the cutting step, the laser trimming step measures the spring constant of the arm portion, and based on the measurement result of the spring constant. Then, a laser trimming process is performed to correct the spring constant. For this reason, even if the accuracy of the spring constant is low only by the cutting process, the spring member has a highly accurate spring constant after the laser trimming process.

本発明では、切断工程でバネ部材の支持体側固定部、移動体側固定部、およびアーム部を形成した後、レーザトリミング工程では、アーム部のバネ定数を計測し、当該バネ定数の計測結果に基づいて、レーザトリミング工程を行い、バネ定数を補正する。このため、切断工程だけではバネ定数の精度が低い場合でも、レーザトリミング工程後、バネ部材は、精度の高いバネ定数を有することになる。従って、本発明を適用したバネ部材をレンズ駆動装置に用いると、バネ部材のバネ定数の精度が高いので、移動体の位置を高い精度で制御することができる。   In the present invention, after forming the support member side fixing portion, the movable body side fixing portion, and the arm portion of the spring member in the cutting step, the laser trimming step measures the spring constant of the arm portion, and based on the measurement result of the spring constant. Then, a laser trimming process is performed to correct the spring constant. For this reason, even if the accuracy of the spring constant is low only by the cutting process, the spring member has a highly accurate spring constant after the laser trimming process. Therefore, when the spring member to which the present invention is applied is used in the lens driving device, the accuracy of the spring constant of the spring member is high, so that the position of the moving body can be controlled with high accuracy.

以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下に説明するレンズ駆動装置は、カメラ付き携帯電話機の他にも、様々な電子機器に取り付けることが可能である。例えば、薄型のデジタルカメラ、ＰＨＳ、ＰＤＡ、バーコードリーダ、監視カメラ、車の背後確認用カメラ、光学的認証機能を有するドア等に用いることができる。   The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings. The lens driving device described below can be attached to various electronic devices in addition to the camera-equipped mobile phone. For example, it can be used for a thin digital camera, PHS, PDA, bar code reader, surveillance camera, camera for checking the back of a car, a door having an optical authentication function, and the like.

（レンズ駆動装置の全体構成）
図１（ａ）、（ｂ）は各々、本発明を適用したレンズ駆動装置を斜め上方からみた外観図、および分解斜視図である。 (Entire configuration of lens driving device)
1A and 1B are an external view and an exploded perspective view, respectively, of a lens driving device to which the present invention is applied as viewed obliquely from above.

図１（ａ）、（ｂ）において、本形態のレンズ駆動装置１は、カメラ付き携帯電話機などに用いられる薄型カメラにおいて、例えば３枚のレンズ１２１を光軸方向に沿って被写体（物体側）に近づくＡ方向（前側）、および被写体とは反対側（像側）に近づくＢ方向（後側）の双方向に移動させるためのものであり、略直方体形状を有している。レンズ駆動装置１は、概ね、３枚のレンズ１２１および固定絞りを内側に備えた円筒状のレンズホルダ１２を保持した移動体３と、この移動体３を光軸方向に沿って移動させるレンズ駆動機構５と、レンズ駆動機構５および移動体３などが搭載された支持体２とを有している。移動体３は、円筒状のスリーブ１３を備えており、その内側に円筒状のレンズホルダ１２が固着されている。従って、移動体３の外形形状はスリーブ１３によって規定され、略円柱形状を備えている。   1A and 1B, a lens driving device 1 according to the present embodiment is a thin camera used for a camera-equipped mobile phone or the like. For example, three lenses 121 are placed along a subject (object side) along the optical axis direction. For moving in both directions, A direction (front side) approaching and B direction (rear side) approaching the opposite side (image side) to the subject, and has a substantially rectangular parallelepiped shape. The lens driving device 1 generally includes a moving body 3 that holds a cylindrical lens holder 12 that includes three lenses 121 and a fixed stop inside, and a lens drive that moves the moving body 3 along the optical axis direction. It has a mechanism 5 and a support 2 on which a lens driving mechanism 5 and a moving body 3 are mounted. The moving body 3 includes a cylindrical sleeve 13, and a cylindrical lens holder 12 is fixed to the inside thereof. Therefore, the outer shape of the moving body 3 is defined by the sleeve 13 and has a substantially cylindrical shape.

支持体２は、像側で撮像素子（図示せず）を保持するための矩形のホルダ１９と、被写体側に位置する箱状のヨーク１８とスペーサ１１とを備えており、ヨーク１８およびスペーサ１１の中央には、被写体からの光をレンズ１２１に取り込むための円形の入射窓１１０、１８０が各々形成されている。ヨーク１８は、鋼板などの強磁性板からなり、後述するように、マグネット１７とともに、スリーブ１３に保持された駆動コイル３０に鎖交磁界を発生させる鎖交磁界発生体４を構成している。なお、ヨーク１８の側板部１８１は、ホルダ１９の上面に被さっている。   The support 2 includes a rectangular holder 19 for holding an image pickup device (not shown) on the image side, a box-shaped yoke 18 and a spacer 11 located on the subject side, and the yoke 18 and the spacer 11. Are formed with circular incident windows 110 and 180 for taking light from the subject into the lens 121. The yoke 18 is made of a ferromagnetic plate such as a steel plate, and constitutes a linkage magnetic field generator 4 that generates a linkage magnetic field in the drive coil 30 held by the sleeve 13 together with the magnet 17 as will be described later. Note that the side plate portion 181 of the yoke 18 covers the upper surface of the holder 19.

レンズ駆動機構５は、スリーブ１３の外周面に巻回された駆動コイル３０と、駆動コイル３０に鎖交磁界を発生させる鎖交磁界発生体４とを備え、駆動コイル３０および鎖交磁界発生体４により磁気駆動機構５ａが構成されている。鎖交磁界発生体４は、駆動コイル３０に対して外周側で対向する４つのマグネット１７を備えている。また、ヨーク１８もレンズ駆動機構の構成要素として用いられている。   The lens driving mechanism 5 includes a drive coil 30 wound around the outer peripheral surface of the sleeve 13 and a linkage magnetic field generator 4 that generates a linkage magnetic field in the drive coil 30. The drive coil 30 and the linkage magnetic field generator 4 constitutes a magnetic drive mechanism 5a. The interlinkage magnetic field generator 4 includes four magnets 17 that face the drive coil 30 on the outer peripheral side. The yoke 18 is also used as a component of the lens driving mechanism.

ヨーク１８は、駆動コイル３０の側面側および上面側を覆うような箱形状を有しており、マグネット１７と駆動コイル３０との間に構成される磁路からの漏れ磁束を少なくすることができ、スリーブ１３の移動量と、駆動コイル３０に流す電流との間のリニアリティを向上させることができる。ヨーク１８において、対向する一対の側面部１８１は平面状に形成され、他方の対向する一対の側面部１８２は、両端部１８２ａが内側に凹んでいる分、中央には外側に段差状に突出する凸部１８２ｂが形成されている。   The yoke 18 has a box shape that covers the side surface and the upper surface of the drive coil 30, and can reduce leakage magnetic flux from a magnetic path formed between the magnet 17 and the drive coil 30. The linearity between the amount of movement of the sleeve 13 and the current passed through the drive coil 30 can be improved. In the yoke 18, the pair of side surfaces 181 facing each other is formed in a flat shape, and the other pair of side surfaces 182 facing each other protrudes outwardly in a stepped manner at the center because both ends 182 a are recessed inward. A convex portion 182b is formed.

本形態において、４つのマグネット１７は各々、略三角柱形状を備えており、ヨーク１８の内周面のうち、４つの角部分に周方向で離間した状態で固定されている。４つのマグネット１７はいずれも光軸方向において２分割されており、いずれにおいても内面と外面とが異なる極に着磁されている。また、４つのマグネット１７では、例えば、上半分では内面がＮ極に着磁され、外面がＳ極に着磁され、下半分では、内面がＳ極に着磁され、外面がＮ極に着磁されている。従って、駆動コイル３０は、マグネット１７の上半分と下半分に対応して２分割されており、２分割された駆動コイルの巻回方向は反対である。このように、マグネット１７を四隅に分割して配置すれば、ヨーク１８の辺部の中央部分において、ヨーク１８とスリーブ１３との隙間が狭くなっている場合でも、マグネット１７に薄い部分が発生することを防止でき、マグネット１７の強度を高めることができるとともに、移動体３に搭載された駆動コイル３０に対して、効率よくマグネット１７の磁気力を作用させることができる。また、移動体３とヨーク１８との間の四隅の空間を、マグネット１７の配置スペースとして有効利用することにより、レンズ駆動装置１全体の小型化を図ることができる。   In this embodiment, each of the four magnets 17 has a substantially triangular prism shape, and is fixed to the four corners of the inner peripheral surface of the yoke 18 in a state of being separated in the circumferential direction. Each of the four magnets 17 is divided into two in the optical axis direction, and in any case, the inner surface and the outer surface are magnetized to different poles. In the four magnets 17, for example, the inner surface is magnetized to the N pole in the upper half, the outer surface is magnetized to the S pole, and the inner surface is magnetized to the S pole in the lower half, and the outer surface is magnetized to the N pole. It is magnetized. Therefore, the drive coil 30 is divided into two corresponding to the upper half and the lower half of the magnet 17, and the winding direction of the divided drive coil is opposite. As described above, if the magnet 17 is divided into four corners, a thin portion is generated in the magnet 17 even when the gap between the yoke 18 and the sleeve 13 is narrow in the central portion of the side portion of the yoke 18. This can be prevented, the strength of the magnet 17 can be increased, and the magnetic force of the magnet 17 can be efficiently applied to the drive coil 30 mounted on the moving body 3. In addition, by effectively using the four corner spaces between the moving body 3 and the yoke 18 as the arrangement space for the magnets 17, the entire lens driving device 1 can be reduced in size.

レンズ駆動機構５は、さらに、ホルダ１９とスリーブ１３との間、およびスペーサ１１とスリーブ１３との間の各々にバネ部材１４ｘ、１４ｙを備えている。２つのバネ部材１４ｘ、１４ｙはいずれも、ベリリウム銅やＳＵＳ系鋼材などといった金属製であり、所定厚の薄板に対するプレス加工、あるいはフォトリドグラフィ技術を用いたエッチング加工により形成したものである。   The lens driving mechanism 5 further includes spring members 14x and 14y between the holder 19 and the sleeve 13 and between the spacer 11 and the sleeve 13, respectively. The two spring members 14x and 14y are both made of metal such as beryllium copper or SUS steel, and are formed by pressing a thin plate having a predetermined thickness or etching using a photolithography technique.

バネ部材１４ｘ、１４ｙの詳細な構成は後述するが、バネ部材１４ｘは、ホルダ１９およびスリーブ１３に連結されており、移動体３をレンズ光軸に沿って移動可能に支持体２に支持された状態とする。また、バネ部材１４ｙは、スペーサ１１およびスリーブ１３に連結されており、移動体３をレンズ光軸に沿って移動可能に支持体２に支持された状態とする。   Although the detailed configuration of the spring members 14x and 14y will be described later, the spring member 14x is connected to the holder 19 and the sleeve 13, and is supported by the support 2 so that the movable body 3 is movable along the lens optical axis. State. The spring member 14y is connected to the spacer 11 and the sleeve 13, and the movable body 3 is supported by the support body 2 so as to be movable along the lens optical axis.

また、バネ部材１４ｘ、１４ｙのうち、ホルダ１９側に配置されたバネ部材１４ｘは、バネ片１４ａ、１４ｂに２分割されており、駆動コイル３０の２本の端末、巻き始め端部および巻き終わり端部は各々、バネ片１４ａ、１４ｂに接続される。その際、駆動コイル３０の２本の端末のうち、被写体側の端末は、スリーブ１３の外周面に形成された溝（図示せず）を通ることにより、駆動コイル３０の下を潜ってバネ片１４ａまで引き回されている。また、バネ部材１４ｘにおいて、バネ片１４ａ、１４ｂには各々、端子１２ｃが形成されており、バネ部材１４ｘ（バネ片１４ａ、１４ｂ）は駆動コイル３０に対する給電部材としても機能する。   Further, of the spring members 14x and 14y, the spring member 14x disposed on the holder 19 side is divided into two spring pieces 14a and 14b, and two ends of the drive coil 30, a winding start end and a winding end. The end portions are respectively connected to the spring pieces 14a and 14b. At that time, of the two terminals of the drive coil 30, the object-side terminal passes under a groove (not shown) formed on the outer peripheral surface of the sleeve 13, and then dive under the drive coil 30 and spring pieces. It is routed to 14a. In the spring member 14x, the spring pieces 14a and 14b are each formed with a terminal 12c, and the spring member 14x (spring pieces 14a and 14b) also functions as a power supply member for the drive coil 30.

本形態において、レンズ駆動機構５は、さらに、スリーブ１３の上端に保持されたリング状の磁性片１３０を備えており、このような磁性片１３０は、マグネット１７との間に作用する吸引力により移動体３に対して光軸方向の付勢力を印加する。このため、移動体３が無通電時に自重で変位することを防止することができるため、移動体３に所望の姿勢を維持させ、さらに耐衝撃性を向上させることが可能である。また、磁性片１３０は、一種のバックヨークとして作用し、マグネット１７と駆動コイル３０との間に構成される磁路からの漏れ磁束を少なくすることができる。なお、磁性片としては、棒状の磁性体が用いられることもある。   In this embodiment, the lens driving mechanism 5 further includes a ring-shaped magnetic piece 130 held at the upper end of the sleeve 13, and the magnetic piece 130 is attracted by the attractive force acting between the magnet 17. An urging force in the optical axis direction is applied to the moving body 3. For this reason, since it is possible to prevent the mobile body 3 from being displaced by its own weight when no current is applied, it is possible to maintain the mobile body 3 in a desired posture and to further improve the impact resistance. Further, the magnetic piece 130 acts as a kind of back yoke, and can reduce the leakage magnetic flux from the magnetic path formed between the magnet 17 and the drive coil 30. In addition, as a magnetic piece, a rod-shaped magnetic body may be used.

スペーサ１１は、ヨーク１８の天板部１８５の内面に取り付けられるとともに、中央には入射窓１１０が形成された板部１１５を有している。板部１１５の四隅には、撮像素子側に突き出た小突起１１２が形成されている。   The spacer 11 is attached to the inner surface of the top plate portion 185 of the yoke 18 and has a plate portion 115 in which an incident window 110 is formed at the center. At the four corners of the plate portion 115, small protrusions 112 protruding toward the image sensor are formed.

また、ホルダ１９には、その四隅に、被写体側に延びる小突起１９２が形成されている。ホルダ１９の小突起１９２およびスペーサ１１の小突起１１２は、２つのバネ部材１４ｘ、１４ｙを各々、支持体２に接続する際に用いられる。   In addition, the holder 19 has small protrusions 192 extending toward the subject at the four corners. The small protrusion 192 of the holder 19 and the small protrusion 112 of the spacer 11 are used when connecting the two spring members 14x and 14y to the support body 2, respectively.

スリーブ１３の外周面には、外周側に向けて突出する突起１３ａ、１３ｂが形成されており、突起１３ａ、１３ｂは、レンズ１２１（レンズホルダ１２）を挟む両側位置において、光軸Ｘに対して直交する方向に突出している。このように構成したスリーブ１３（移動体３）を支持体２内に配置すると、突起１３ａ、１３ｂは、隣接するマグネット１７の間において、ヨーク１８の凸部１８２ｂの内側に配置される。ここで、凸部１８２ｂは、光軸方向に延びており、凸部１８２ｂは、移動体３が光軸方向に移動した際、突起１３ａ、１３ｂの光軸方向への移動を許容する移動路１８２ｅとして機能する。また、衝撃等で移動体３が光軸方向と直交する方向（左右方向や周方向）に変位した場合、突起１３ａ、１３ｂがヨーク１８の凸部１８２ｂの内壁に当接するため、それ以上の移動体３の光軸方向と直交する左右方向における変位や、周方向への回転変位を防ぐことができる。   Protrusions 13a and 13b projecting toward the outer peripheral side are formed on the outer peripheral surface of the sleeve 13, and the protrusions 13a and 13b are located on both sides of the lens 121 (lens holder 12) with respect to the optical axis X. It protrudes in the orthogonal direction. When the sleeve 13 (moving body 3) configured as described above is arranged in the support body 2, the projections 13a and 13b are arranged inside the convex portion 182b of the yoke 18 between the adjacent magnets 17. Here, the convex portion 182b extends in the optical axis direction, and the convex portion 182b allows the movement of the protrusions 13a and 13b in the optical axis direction when the moving body 3 moves in the optical axis direction. Function as. Further, when the moving body 3 is displaced in a direction (right and left direction or circumferential direction) perpendicular to the optical axis direction due to an impact or the like, the protrusions 13a and 13b come into contact with the inner wall of the convex portion 182b of the yoke 18, so that the movement further takes place. Displacement in the left-right direction orthogonal to the optical axis direction of the body 3 and rotational displacement in the circumferential direction can be prevented.

また、スリーブ１３の上端面（被写体側の端面）には、バネ部材１４ｙを連結するための小突起１３ｙが周方向に複数形成されており、スリーブ１３の下端面（撮像素子側の端面）には、バネ部材１４ｘを連結するための小突起１３ｘが周方向に複数形成されている。   A plurality of small protrusions 13y for connecting the spring member 14y are formed in the circumferential direction on the upper end surface (the subject-side end surface) of the sleeve 13, and on the lower end surface (the end surface on the image sensor side) of the sleeve 13. Has a plurality of small protrusions 13x for connecting the spring member 14x in the circumferential direction.

（基本的な動作）
図２は、図１に示すレンズ駆動装置１の動作を模式的に示す説明図である。なお、図２の左半分は、スリーブ１３が無限遠の位置（通常撮影位置）にあるときの図を示しており、図２の右半分は、スリーブ１３がマクロ位置（接写撮影位置）にあるときの図を示している。 (Basic operation)
FIG. 2 is an explanatory diagram schematically showing the operation of the lens driving device 1 shown in FIG. The left half of FIG. 2 shows a view when the sleeve 13 is at an infinite position (normal photographing position), and the right half of FIG. 2 is that the sleeve 13 is at a macro position (close-up photographing position). Figure shows when.

本形態のレンズ駆動装置１において、移動体３は、通常は撮像素子側（像側）に位置しており、このような状態において、駆動コイル３０に所定方向の電流を流すと、駆動コイル３０は、それぞれ上向き（前側）の電磁力を受けることになる。これにより、駆動コイル３０が固着されたスリーブ１３は、被写体側（前側）に移動し始めることになる。このとき、バネ部材１４ｙとスリーブ１３の前端との間、およびバネ部材１４ｘとスリーブ１３の後端との間には、それぞれスリーブ１３の移動を規制する弾性力が発生する。このため、スリーブ１３を前側に移動させようとする電磁力と、スリーブ１３の移動を規制する弾性力とが釣り合ったとき、スリーブ１３は停止する。その際、バネ部材１４ｘ、１４ｙによってスリーブ１３に働く弾性力に応じて、駆動コイル３０に流す電流量を調整することで、スリーブ１３（移動体３）を所望の位置に停止させることができる。本形態では、弾性力（応力）と変位量（歪み量）との間に線形関係が成立するバネ部材１４ｘ、１４ｙを用いていることから、スリーブ１３の移動量と駆動コイル３０に流す電流との間のリニアリティを向上させることができる。また、２つのバネ部材１４ｘ、１４ｙを用いていることから、スリーブ１３が停止したときに光軸Ｘの方向に大きな釣り合いの力が加わることになり、光軸Ｘの方向に遠心力や衝撃力等の他の力が働いたとしても、より安定にスリーブ１３を停止させることができる。さらに、レンズ駆動装置１では、スリーブ１３を停止させるのに、衝突材（緩衝材）等に衝突させて停止させるのではなく、電磁力と弾性力との釣り合いを利用して停止させることとしているので、衝突音の発生を防ぐことも可能である。   In the lens driving device 1 of the present embodiment, the moving body 3 is normally located on the imaging element side (image side). When a current in a predetermined direction is passed through the driving coil 30 in such a state, the driving coil 30 is moved. Each receive an upward (front) electromagnetic force. Thereby, the sleeve 13 to which the drive coil 30 is fixed starts to move toward the subject side (front side). At this time, elastic forces that restrict the movement of the sleeve 13 are generated between the spring member 14y and the front end of the sleeve 13 and between the spring member 14x and the rear end of the sleeve 13, respectively. For this reason, when the electromagnetic force that attempts to move the sleeve 13 to the front side and the elastic force that restricts the movement of the sleeve 13 are balanced, the sleeve 13 stops. At that time, the sleeve 13 (moving body 3) can be stopped at a desired position by adjusting the amount of current flowing through the drive coil 30 according to the elastic force acting on the sleeve 13 by the spring members 14x and 14y. In this embodiment, since the spring members 14x and 14y in which a linear relationship is established between the elastic force (stress) and the displacement amount (strain amount) are used, the amount of movement of the sleeve 13 and the current flowing through the drive coil 30 are Linearity can be improved. In addition, since the two spring members 14x and 14y are used, a large balance force is applied in the direction of the optical axis X when the sleeve 13 is stopped, and centrifugal force and impact force are applied in the direction of the optical axis X. Even if other forces such as these work, the sleeve 13 can be stopped more stably. Further, in the lens driving device 1, the sleeve 13 is not stopped by colliding with a collision material (buffer material) or the like, but is stopped using a balance between electromagnetic force and elastic force. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of a collision sound.

（バネ部材１４ｙの詳細な構成）
図１および図３を参照して、バネ部材１４ｙの構成を説明する。図３（ａ）、（ｂ）は、本発明を適用したレンズ駆動装置に用いたバネ部材１４ｙの平面図、およびバネ部材１４ｙのレーザトリミング前の構成を示す平面図である。 (Detailed configuration of the spring member 14y)
The configuration of the spring member 14y will be described with reference to FIGS. FIGS. 3A and 3B are a plan view of the spring member 14y used in the lens driving device to which the present invention is applied, and a plan view showing the configuration of the spring member 14y before laser trimming.

図１および図３（ａ）に示すように、バネ部材１４ｙは、支持体２（スペーサ１１）に固定される矩形枠状の支持体側固定部１４９と、移動体３（スリーブ１３）に固定される円環状の移動体側固定部１４８と、支持体側固定部１４９と移動体側固定部１４８とを連結する４本の板バネ状のアーム部１４０とを備えている。支持体側固定部１４９には、４つの角部分の各々にスペーサ１１の小突起１１２が嵌る***１４９ａが形成されており、小突起１１２を***１４９ａに嵌めて支持体側固定部１４９とスペーサ１１との位置決めを行なった後、***１４９ａに接着剤を塗布、硬化させるなどの方法で支持体側固定部１４９とスペーサ１１との固定が行なわれている。また、移動体側固定部１４８において、支持体側固定部１４９の４つの角部分に対向する部分には、半径方向内側に凹んだ矩形凹部１４８ｂが形成されているとともに、矩形凹部１４８ｂを周方向の両側で挟むように、***１４８ａが形成されている。従って、小突起１３ｙを矩形凹部１４８ｂに嵌めて移動体側固定部１４８とスリーブ１３との位置決めを行なった後、***１４８ａに接着剤を塗布、硬化させるなどの方法で移動体側固定部１４８とスリーブ１３との固定が行なわれている。   As shown in FIG. 1 and FIG. 3A, the spring member 14y is fixed to the support body side fixing portion 149 having a rectangular frame shape fixed to the support body 2 (spacer 11) and the movable body 3 (sleeve 13). An annular moving body side fixing portion 148, and four leaf spring-like arm portions 140 that connect the supporting body side fixing portion 149 and the moving body side fixing portion 148. The support-side fixing portion 149 is formed with small holes 149a into which the small protrusions 112 of the spacer 11 are fitted in each of the four corners. The small protrusion 112 is fitted into the small hole 149a so that the support-side fixing portion 149 and the spacer 11 are After the positioning, the support-side fixing portion 149 and the spacer 11 are fixed by a method such as applying and curing an adhesive in the small hole 149a. Further, in the movable body side fixing portion 148, rectangular concave portions 148b recessed inward in the radial direction are formed in portions facing the four corner portions of the supporting body side fixing portion 149, and the rectangular concave portions 148b are disposed on both sides in the circumferential direction. A small hole 148a is formed so as to be sandwiched between the two. Therefore, after the small protrusion 13y is fitted in the rectangular recess 148b and the movable body side fixing portion 148 and the sleeve 13 are positioned, the moving body side fixing portion 148 and the sleeve 13 are applied by a method such as applying and curing an adhesive in the small hole 148a. And fixing.

かかるバネ部材１４ｙは、金属製の薄板に対するプレス加工、あるいはフォトリソグラフィ技術を用いたエッチング加工により形成したものであり、その際、移動体側固定部１４８と支持体側固定部１４９との間には、周方向に延在する４つの切り欠き１４３が形成され、かかる切り欠き１４３によって、周方向に延在する４本のアーム部１４０が形成されている。   The spring member 14y is formed by pressing a thin metal plate or etching using a photolithography technique. At that time, between the movable body side fixing portion 148 and the supporting body side fixing portion 149, Four notches 143 extending in the circumferential direction are formed, and the four arm portions 140 extending in the circumferential direction are formed by the notches 143.

すなわち、４つの切り欠き１４３は各々、周方向に延在しているが、図３（ａ）に示す例では、時計周りＣＷの方向の途中位置で内周側から外周側にずれるように延在し、周方向で隣接する切り欠き１４３同士は、長さ方向の約１／２に相当する部分が半径方向で重なっている。このため、周方向で隣接する切り欠き１４３同士が重なっている部分には、切り欠き１４３において反時計周りＣＣＷ側の位置する部分によって内周縁部分が規定された細幅のアーム部１４０が形成され、かかるアーム部１４０の外周縁部分は、当該切り欠き１４３に対して反時計周りＣＣＷの方向で隣接する切り欠き１４３において時計周りＣＷ側の位置する部分によって規定されている。   That is, each of the four notches 143 extends in the circumferential direction. However, in the example shown in FIG. 3A, the notches 143 extend so as to be shifted from the inner circumferential side to the outer circumferential side at a midway position in the clockwise CW direction. The notches 143 that are adjacent to each other in the circumferential direction overlap with each other in a portion corresponding to about ½ of the length direction in the radial direction. For this reason, a narrow arm portion 140 whose inner peripheral edge portion is defined by a portion located on the counterclockwise CCW side in the notch 143 is formed in a portion where the notches 143 adjacent in the circumferential direction overlap each other. The outer peripheral edge portion of the arm portion 140 is defined by a portion located on the clockwise CW side in the notch 143 adjacent to the notch 143 in the counterclockwise CCW direction.

このように構成したバネ部材１４ｙでは、４つの切り欠き１４３がいずれも、スリット状に延在しているため、バネ部材１４ｙでは、アーム部１４０より内側にはアーム部１４０と移動体側固定部１４８との連結部分に向けて第１スリット部１４１が切り込まれ、アーム部１４０より外側にはアーム部１４０と支持体側固定部１４９との連結部分に向けて第２スリット部１４２が切り込まれた構造になっており、かかる第１スリット部１４１および第２スリット部１４２の切込み深さによって、アーム部１４０の長さ寸法が規定されている。言い換えれば、４つのアーム部１４０のいずれにおいても、アーム部１４０の内側に位置する第１スリット部１４１と、このアーム部１４０に対して周方向で隣接する位置に形成されたアーム部１４０の外側に位置する第２スリット部１４２とは、周方向で繋がった切り欠き１４３を構成しており、かかる切り欠き１４３の長さによって、アーム部１４０の長さ寸法が規定されている。本形態において、アーム部１４０の長さ寸法は３〜５ｍｍである。   In the spring member 14y configured as described above, all of the four notches 143 extend in a slit shape. Therefore, in the spring member 14y, the arm part 140 and the movable body side fixing part 148 are located inside the arm part 140. The first slit portion 141 is cut toward the connecting portion with the arm portion 140, and the second slit portion 142 is cut outside the arm portion 140 toward the connecting portion between the arm portion 140 and the support side fixing portion 149. The length dimension of the arm part 140 is prescribed | regulated by the cut depth of this 1st slit part 141 and the 2nd slit part 142. In other words, in any of the four arm portions 140, the first slit portion 141 located inside the arm portion 140 and the outside of the arm portion 140 formed at a position adjacent to the arm portion 140 in the circumferential direction. The second slit portion 142 located at a portion constitutes a cutout 143 connected in the circumferential direction, and the length of the cutout 143 defines the length dimension of the arm portion 140. In this embodiment, the length dimension of the arm part 140 is 3 to 5 mm.

（バネ部材１４ｙの製造方法）
図４（ａ）、（ｂ）は、バネ部材１４ｙを製造する際のレーザトリミング工程の説明図、およびレーザによる切断部分の説明図である。 (Manufacturing method of the spring member 14y)
FIGS. 4A and 4B are an explanatory view of a laser trimming process when the spring member 14y is manufactured, and an explanatory view of a laser cut portion.

本形態のレンズ駆動装置１において、バネ部材１４ｙは、図２を参照して説明したように、付勢力によって移動体３の位置を規制する。このため、アーム部１４０のバネ定数に対しては高い精度が要求される。そこで、本形態では、以下の製造方法により、バネ部材１４ｙを製造する。   In the lens driving device 1 of the present embodiment, the spring member 14y restricts the position of the moving body 3 by the urging force as described with reference to FIG. For this reason, high accuracy is required for the spring constant of the arm portion 140. Therefore, in this embodiment, the spring member 14y is manufactured by the following manufacturing method.

まず、切断工程では、図３（ｂ）に示すように、ベリリウム銅やＳＵＳ系鋼材などといった金属製の薄板に対するプレス加工、あるいはフォトリソグラフィ技術を用いたエッチング加工により、薄板に切り欠き１４３などを形成して、支持体側固定部１４９、移動体側固定部１４８、およびアーム部１４０を形成する。   First, in the cutting process, as shown in FIG. 3 (b), a notch 143 or the like is formed in the thin plate by pressing a metal thin plate such as beryllium copper or SUS steel, or by etching using a photolithographic technique. Then, the support body side fixing portion 149, the moving body side fixing portion 148, and the arm portion 140 are formed.

次に、レーザトリミング工程では、切断工程により形成したアーム部１４０のバネ定数を計測し、このバネ定数の計測結果に基づいて、レーザによりアーム部１４０の形状および寸法を変えてバネ定数を補正する。具体的には、図３（ｂ）に示すバネ部材１４ｙにおいて、４つの切り欠き１４３のいずれにおいても、その両端（第１スリット部１４１および第２スリット部１４２）のうち、第２スリット部１４２の端部にレーザスポットを照射して、第２スリット部１４２を延長するようにアーム部１４０と支持体側固定部１４９との連結部分に部分的な切断を行なう。   Next, in the laser trimming process, the spring constant of the arm part 140 formed by the cutting process is measured, and the spring constant is corrected by changing the shape and dimensions of the arm part 140 with a laser based on the measurement result of the spring constant. . Specifically, in the spring member 14y shown in FIG. 3B, the second slit portion 142 of both ends (the first slit portion 141 and the second slit portion 142) of any of the four notches 143. A laser spot is irradiated to the end of the arm portion, and a partial cut is made at the connecting portion between the arm portion 140 and the support side fixing portion 149 so as to extend the second slit portion 142.

より具体的には、図４（ａ）に示すように、アーム部１４０と支持体側固定部１４９との連結部分に対して、レーザ光（例えば、ＹＡＧレーザ／波長１０６４ｎｍ）を照射するとともに、レーザスポットＰの位置をずらしていく。その際の条件は、例えば、スキャンスピードが５０ｍｍ／ｓ、Ｑスイッチ周波数（レーザのオン−オフの周波数）が１００ｋＨｚ、繰り返し数が５０回である。その結果、例えば、図４（ｂ）に示すように、第２スリット部１４２を延ばすように、レーザによる切断部分１４５が形成される。従って、アーム部１４０の縁部は、大部分が薄板に対するプレス加工、あるいはフォトリソグラフィ技術を用いたエッチング加工による直線的あるいは曲線的な切断部分であるが、アーム部１４０と支持体側固定部１４９との連結部分には、レーザトリミング工程でのレーザによる切断部分１４５が形成される。かかる切断部分１４５では、微細な凹凸１４５ａが形成されることになる。すなわち、レーザによる切断を行なうと、カーフと称せられる溝が形成され、切断部分１４５には溝が連続して形成されるが、溝形状の痕跡が残るので、プレス加工、あるいはフォトリソグラフィ技術を用いたエッチング加工により切断された部分と、レーザによる切断部分１４５とでは、切り口の形状が相違する、また、凹凸１４５ａがほとんど残らない場合でも、レーザによる切断では発熱が起こり、熱により変色することがあるので、プレス加工、あるいはフォトリソグラフィ技術を用いたエッチング加工により切断された部分と、レーザによる切断部分１４５とでは、色合いが相違する。よって、プレス加工、あるいはフォトリソグラフィ技術を用いたエッチング加工により切断された部分と、レーザによる切断部分１４５とは識別可能である。   More specifically, as shown in FIG. 4A, a laser beam (for example, YAG laser / wavelength 1064 nm) is applied to the connecting portion between the arm portion 140 and the support-side fixing portion 149, and the laser beam is emitted. The position of the spot P is shifted. The conditions at that time are, for example, a scanning speed of 50 mm / s, a Q switch frequency (laser on-off frequency) of 100 kHz, and a repetition number of 50 times. As a result, for example, as shown in FIG. 4B, a laser cut portion 145 is formed so as to extend the second slit portion 142. Therefore, most of the edge of the arm portion 140 is a linear or curved cut portion by press processing on a thin plate or etching processing using a photolithography technique, but the arm portion 140 and the support-side fixing portion 149 A cut portion 145 by a laser in the laser trimming process is formed in the connecting portion. In the cut portion 145, fine irregularities 145a are formed. That is, when cutting with a laser, a groove called a kerf is formed, and a groove is continuously formed in the cut portion 145, but a trace of the groove shape remains, so that press working or photolithography technology is used. The portion cut by the etching process and the cut portion 145 by the laser are different in the shape of the cut edge, and even when the unevenness 145a is hardly left, the laser cut generates heat and can be discolored by heat. Therefore, there is a difference in color between the portion cut by the press processing or the etching processing using the photolithography technique and the cut portion 145 by the laser. Therefore, it is possible to distinguish a portion cut by an etching process using a press process or a photolithography technique and a cut part 145 by a laser.

ここで、レーザの照射は、バネ部材１４ｙの一方の面側から、あるいは両面から行なう場合のいずれでもよいが、レーザを照射した際の熱でアーム部１４０が一方の面側に反るという事態を回避するという観点からすると、レーザの照射はバネ部材１４ｙの両面から行なうことが好ましい。   Here, the laser irradiation may be performed from one side of the spring member 14y or from both sides, but the situation where the arm part 140 warps to one side by the heat when the laser is irradiated. From the viewpoint of avoiding this, it is preferable to perform laser irradiation from both surfaces of the spring member 14y.

本形態では、４つのアーム部１４０のいずれに対してもレーザによるトリミングを行なう。従って、図３（ａ）に示すように、４つのアーム部１４０のいずれにおいても、アーム部１４０と支持体側固定部１４９との連結部分には、レーザによる切断部分１４５が形成され、アーム部１４０の長さ寸法は、レーザによって切断された寸法分だけ伸びる。かかるレーザによる切断を行なう際、アーム部１４０のバネ定数を計測した結果に基づいて切断寸法を設定する。すなわち、アーム部１４０のバネ定数、縦弾性係数、板厚、長さ寸法を各々、ｋ、Ｅ、ｂ、ｔ、ａとすると、これらは以下の関係
ｋ＝Ｅ・ｂ・ｔ3／４・ａ3
を満たすので、アーム部１４０の長さ寸法ａを補正すれば、バネ定数ｋを補正することができる。 In this embodiment, trimming by laser is performed on any of the four arm portions 140. Therefore, as shown in FIG. 3A, in any of the four arm portions 140, a laser cut portion 145 is formed at the connecting portion between the arm portion 140 and the support-side fixing portion 149, and the arm portion 140 is formed. The length dimension of is extended by the dimension cut by the laser. When cutting with such a laser, the cutting dimension is set based on the result of measuring the spring constant of the arm portion 140. That is, the spring constant of the arm portion 140, longitudinal elastic modulus, thickness, respectively the length, k, E, b, t, When a, which are the following relation k = E · b · t 3 /4 · a 3
Therefore, if the length dimension a of the arm part 140 is corrected, the spring constant k can be corrected.

なお、レーザトリミング工程では、１つのバネ部材１４ｘについて、アーム部１４０のバネ定数を計測した後、レーザによるトリミングを行なってもよいし、複数のバネ部材１４ｘの全てについてアーム部１４０のバネ定数を計測した後、複数のバネ部材１４ｘの各々に対してレーザによるトリミングを行なってもよい。いずれの場合も、バネ定数が最終目標値より大きくなるようにアーム部１４０を設計した後、すべてのバネ部材１４ｘについてレーザによるトリミングを行なう方法を採用してもよいし、バネ定数が最終目標値になるようにアーム部１４０を設計した後、最終目標値からずれたバネ部材１４ｘのみについてレーザによるトリミングを行なう方法を採用してもよい。   In the laser trimming step, the spring constant of the arm part 140 may be measured for one spring member 14x and then trimmed by laser may be performed, or the spring constant of the arm part 140 may be set for all of the plurality of spring members 14x. After the measurement, each of the plurality of spring members 14x may be trimmed with a laser. In any case, after the arm portion 140 is designed so that the spring constant becomes larger than the final target value, a method of performing trimming by laser for all the spring members 14x may be employed, or the spring constant may be the final target value. After the arm unit 140 is designed so that only the spring member 14x deviated from the final target value is trimmed by laser, a method of performing trimming by laser may be employed.

（本形態の主な効果）
図５は、本発明を適用したバネ部材におけるレーザによる切断部形状の説明図である。図６は、本発明を適用したバネ部材においてレーザトリミング前後でのバネ定数の変化を示す説明図である。 (Main effects of this form)
FIG. 5 is an explanatory diagram of the shape of a cut portion by a laser in a spring member to which the present invention is applied. FIG. 6 is an explanatory diagram showing changes in the spring constant before and after laser trimming in the spring member to which the present invention is applied.

本発明を適用したバネ部材１４ｙは、レーザトリミング工程でのレーザによる切断部分１４５の形成によって、アーム部１４０のバネ定数が最適な値に補正されている。従って、バネ定数の精度が高いバネ部材１４ｙを製造することができ、かかるバネ部材１４ｙを用いたレンズ駆動装置１では、移動体３の位置を高い精度で制御することができる。   In the spring member 14y to which the present invention is applied, the spring constant of the arm portion 140 is corrected to an optimal value by forming the cut portion 145 by the laser in the laser trimming process. Therefore, the spring member 14y with high accuracy of the spring constant can be manufactured, and in the lens driving device 1 using the spring member 14y, the position of the moving body 3 can be controlled with high accuracy.

また、本形態では、レーザトリミング工程によって、アーム部１４０の長さ寸法を伸ばしたので、アーム部１４０の形状を変更する場合と違って、アーム部１４０の幅寸法が狭い場合でも、容易にトリミングを行なうことができる。   In this embodiment, since the length of the arm portion 140 is increased by the laser trimming process, unlike the case where the shape of the arm portion 140 is changed, the trimming can be easily performed even when the width of the arm portion 140 is narrow. Can be performed.

また、本形態では、レーザトリミング工程でアーム部１４０の長さ寸法を伸ばすにあたって、第１スリット部１４１および第２スリット部１４２のうち、第２スリット部１４２を延長してアーム部１４０の長さ寸法を伸ばしている。このため、レーザトリミングによる弊害の発生を抑えてある。すなわち、アーム部１４０と移動体側固定部１４８との連結部は、その強度などを考慮して形状や幅寸法が設定されていることが多いので、レーザによって第１スリット部１４１を延長すると、アーム部１４０と移動体側固定部１４８との連結部の強度などが損なわれるおそれがあるが、レーザによって第２スリット部１４２を延長した場合にはかかる問題を回避することができる。   In this embodiment, when extending the length of the arm part 140 in the laser trimming step, the length of the arm part 140 is increased by extending the second slit part 142 of the first slit part 141 and the second slit part 142. The dimensions are extended. For this reason, generation | occurrence | production of the bad effect by laser trimming is suppressed. That is, since the connecting portion between the arm portion 140 and the movable body side fixing portion 148 is often set in shape and width in consideration of its strength and the like, when the first slit portion 141 is extended by a laser, the arm The strength of the connecting portion between the portion 140 and the movable body side fixing portion 148 may be impaired, but such a problem can be avoided when the second slit portion 142 is extended by a laser.

ここで、レーザによる切断部分１４５の形状は、図５（ａ）に示す第２スリット部１４２の端部に対するレーザの照射条件によって任意に設定できる。例えば、図５（ｂ）に示すように、第２スリット部１４２の幅方向の略中央部分から第２スリット部１４２の幅寸法（例えば、０．１５５ｍｍ）より狭い幅寸法（例えば、０．０５ｍｍ）の切断部分１４５を短い長さ寸法（例えば、０．３ｍｍ）で形成した形態を採用することができる。また、図５（ｃ）に示すように、第２スリット部１４２の幅方向の略中央部分から、例えば、幅寸法が０．０５ｍｍの切断部分１４５を０．３ｍｍの長さ寸法で形成した形態を採用することができる。さらに、図５（ｄ）に示すように、第２スリット部１４２の幅方向の略中央部分から、例えば、幅寸法が０．１ｍｍの切断部分１４５を０．５ｍｍの長さ寸法で形成した形態を採用することができる。   Here, the shape of the cut portion 145 by the laser can be arbitrarily set according to the irradiation condition of the laser to the end portion of the second slit portion 142 shown in FIG. For example, as shown in FIG. 5B, the width dimension (for example, 0.05 mm) narrower than the width dimension (for example, 0.155 mm) of the second slit section 142 from the substantially central portion of the second slit section 142 in the width direction. ) Of the cut portion 145 having a short length (for example, 0.3 mm) can be employed. Further, as shown in FIG. 5C, for example, a cut portion 145 having a width dimension of 0.05 mm is formed with a length dimension of 0.3 mm from a substantially central portion in the width direction of the second slit portion 142. Can be adopted. Further, as shown in FIG. 5 (d), for example, a cut portion 145 having a width dimension of 0.1 mm is formed from a substantially central portion in the width direction of the second slit portion 142 with a length dimension of 0.5 mm. Can be adopted.

このような形態を採用すると、図６に示すように、図５（ａ）に示すレーザ加工無しのバネ部材１４ｙではバネ定数が５．５５であったものが、図５（ｂ）に示すバネ部材１４ｙではバネ定数を５．１１に補正でき、図５（ｃ）に示すバネ部材１４ｙではバネ定数を４．６８に補正でき、図５（ｄ）に示すバネ部材１４ｙではバネ定数を４．５４に補正できる。   When such a configuration is adopted, as shown in FIG. 6, the spring member 14y without laser processing shown in FIG. 5A has a spring constant of 5.55, but the spring shown in FIG. The member 14y can correct the spring constant to 5.11, the spring member 14y shown in FIG. 5C can correct the spring constant to 4.68, and the spring member 14y shown in FIG. 54 can be corrected.

なお、レーザによる切断部分１４５の形状は、図５（ｂ）〜（ｄ）に示す態の他、例えば、図５（ｅ）に示すように、第２スリット部１４２の端部のうち、アーム部１４０側に位置する部分からレーザによる切断部分１４５を延ばした形態、図５（ｆ）に示すように、第２スリット部１４２の端部のうち、アーム部１４０とは反対側に位置する部分からレーザによる切断部分１４５を延ばした形態、図５（ｇ）に示すように、第２スリット部１４２より幅広にレーザによる切断部分１４５を延ばした形態などを採用してもよい。   In addition, the shape of the cutting part 145 by the laser is not limited to the state shown in FIGS. 5B to 5D, for example, as shown in FIG. As shown in FIG. 5 (f), a portion in which the laser cut portion 145 is extended from a portion located on the portion 140 side, a portion located on the opposite side of the arm portion 140 from the end portion of the second slit portion 142. Alternatively, a configuration in which the cut portion 145 by the laser is extended, or a shape in which the cut portion 145 by the laser is extended wider than the second slit portion 142 as shown in FIG.

（バネ部材１４ｘの詳細な構成）
図１および図７を参照して、バネ部材１４ｘの構成を説明する。図７（ａ）、（ｂ）は、本発明を適用したレンズ駆動装置１に用いたバネ部材１４ｙの平面図、およびバネ部材１４ｙをフレームから切り離す前の状態を示す平面図である。なお、バネ部材１４ｘは、基本的な構成がバネ部材１４ｙと同一であるため、可能な限り、共通する部分には同一の符号を付してそれらの説明を省略する。 (Detailed configuration of the spring member 14x)
The configuration of the spring member 14x will be described with reference to FIGS. 7A and 7B are a plan view of the spring member 14y used in the lens driving device 1 to which the present invention is applied, and a plan view showing a state before the spring member 14y is separated from the frame. In addition, since the basic structure of the spring member 14x is the same as that of the spring member 14y, as much as possible, common portions are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

図１および図７（ａ）に示すように、バネ部材１４ｘは、支持体２（ホルダ１９）に固定される支持体側固定部１４９と、移動体３（スリーブ１３）に固定される円環状の移動体側固定部１４８と、支持体側固定部１４９と移動体側固定部１４８とを連結する４本の板バネ状のアーム部１４０とを備えている。バネ部材１４ｙと違って、バネ部材１４ｘは、駆動コイル３０に対する給電部材として用いられるため、２つのバネ片１４ａ、１４ｂに分割されている。すなわち、バネ部材１４ｘにおいて、支持体側固定部１４９は４つ分割されており、支持体側固定部１４９も、スリット１４７ａで２等分割されている。但し、バネ部材１４ｘは、レンズ駆動装置１に組み込まれるまでは、図７（ｂ）に示すように、フレーム１４７および連結板部１４７ｄによって、２つのバネ片１４ａ、１４ｂが連結されており、レンズ駆動装置１に組み込んだ後、括れ部１４７ｂ、１４７ｃで切断され、２つのバネ片１４ａ、１４ｂに分割される。   As shown in FIGS. 1 and 7A, the spring member 14x includes a support-side fixing portion 149 that is fixed to the support 2 (holder 19) and an annular shape that is fixed to the moving body 3 (sleeve 13). The movable body side fixing portion 148, and four leaf spring-like arm portions 140 that connect the supporting body side fixing portion 149 and the moving body side fixing portion 148 are provided. Unlike the spring member 14y, the spring member 14x is used as a power feeding member for the drive coil 30, and thus is divided into two spring pieces 14a and 14b. That is, in the spring member 14x, the support-side fixing portion 149 is divided into four, and the support-side fixing portion 149 is also equally divided into two by the slit 147a. However, until the spring member 14x is incorporated in the lens driving device 1, as shown in FIG. 7B, the two spring pieces 14a and 14b are connected by the frame 147 and the connecting plate portion 147d, and the lens After being incorporated in the drive device 1, the cut portions 147b and 147c are cut and divided into two spring pieces 14a and 14b.

バネ部材１４ｘも、バネ部材１４ｙと同様、金属製の薄板に対するプレス加工、あるいはフォトリソグラフィ技術を用いたエッチング加工により形成したものであり、その際、移動体側固定部１４８と支持体側固定部１４９との間には、周方向に延在する４つの切り欠き１４３が形成され、かかる切り欠き１４３によって、周方向に延在する４本のアーム部１４０が形成されている。ここで、４つの切り欠き１４３は各々、周方向に延在しているが、図７（ａ）、（ｂ）に示す例では、時計周りＣＷの方向の途中位置で内周側から外周側にずれるように延在している。このため、周方向で隣接する切り欠き１４３同士が重なっている部分には、切り欠き１４３において反時計周りＣＣＷ側の位置する部分によって内周縁部分が規定されたアーム部１４０が形成され、かかるアーム部１４０の外周縁部分は、当該切り欠き１４３に対して反時計周りＣＣＷの方向で隣接する切り欠き１４３において時計周りＣＷ側の位置する部分によって規定されている。   Similarly to the spring member 14y, the spring member 14x is formed by pressing a thin metal plate or etching using a photolithography technique. At that time, the movable body side fixing portion 148 and the supporting body side fixing portion 149 Between the two, four notches 143 extending in the circumferential direction are formed, and by the notches 143, four arm portions 140 extending in the circumferential direction are formed. Here, each of the four notches 143 extends in the circumferential direction, but in the example shown in FIGS. 7A and 7B, the inner circumferential side to the outer circumferential side at a midway position in the clockwise CW direction. It extends so as to slip. For this reason, an arm portion 140 whose inner peripheral edge portion is defined by a portion located on the counterclockwise CCW side in the notch 143 is formed in a portion where the notches 143 adjacent in the circumferential direction overlap each other. The outer peripheral edge portion of the portion 140 is defined by a portion located on the clockwise CW side in the notch 143 adjacent to the notch 143 in the counterclockwise CCW direction.

このように構成したバネ部材１４ｙでは、４つの切り欠き１４３がいずれも、スリット状に延在しているため、バネ部材１４ｙでは、アーム部１４０より内側にはアーム部１４０と移動体側固定部１４８との連結部分に向けて第１スリット部１４１が切り込まれ、アーム部１４０より外側にはアーム部１４０と支持体側固定部１４９との連結部分に向けて第２スリット部１４２が切り込まれた構造になっており、かかる第１スリット部１４１および第２スリット部１４２の切込み深さによって、アーム部１４０の長さ寸法が、例えば、３〜５ｍｍに規定されている。   In the spring member 14y configured as described above, all of the four notches 143 extend in a slit shape. Therefore, in the spring member 14y, the arm part 140 and the movable body side fixing part 148 are located inside the arm part 140. The first slit portion 141 is cut toward the connecting portion with the arm portion 140, and the second slit portion 142 is cut outside the arm portion 140 toward the connecting portion between the arm portion 140 and the support side fixing portion 149. According to the structure, the length dimension of the arm part 140 is regulated to 3 to 5 mm, for example, by the depth of cut of the first slit part 141 and the second slit part 142.

本形態のレンズ駆動装置１において、バネ部材１４ｘでも、アーム部１４０のバネ定数に対しては高い精度が要求される。そこで、本形態では、まず、切断工程では、図７（ｂ）に示すように、薄板に対するプレス加工、あるいはフォトリソグラフィ技術を用いたエッチング加工により、薄板に切り欠き１４３などを形成して、支持体側固定部１４９、移動体側固定部１４８、アーム部１４０、フレーム１４７、および連結板部１４７ｄを形成する。   In the lens driving device 1 of the present embodiment, high accuracy is required for the spring constant of the arm unit 140 even in the spring member 14x. Therefore, in the present embodiment, first, in the cutting process, as shown in FIG. 7B, a notch 143 or the like is formed on the thin plate by pressing the thin plate or etching using a photolithography technique to support the thin plate. The body side fixing portion 149, the moving body side fixing portion 148, the arm portion 140, the frame 147, and the connecting plate portion 147d are formed.

次に、レーザトリミング工程では、切断工程により形成したアーム部１４０のバネ定数を計測し、このバネ定数の計測結果に基づいて、レーザによりアーム部１４０の形状および寸法を変えてバネ定数を補正する。具体的には、図７（ｂ）に示す４つの切り欠き１４３のいずれにおいても、その両端（第１スリット部１４１および第２スリット部１４２）のうち、第２スリット部１４２の端部にレーザスポットを照射して、第２スリット部１４２を延長するようにアーム部１４０と支持体側固定部１４９との連結部分に部分的な切断を行なう。その結果、４つのアーム部１４０のいずれにおいても、アーム部１４０と支持体側固定部１４９との連結部分には、レーザによる切断部分１４５が形成され、アーム部１４０の長さ寸法は、レーザによって切断された寸法分だけ伸びる。かかるレーザによる切断を行なう際、アーム部１４０のバネ定数を計測した結果に基づいて切断寸法を設定する。   Next, in the laser trimming process, the spring constant of the arm part 140 formed by the cutting process is measured, and the spring constant is corrected by changing the shape and dimensions of the arm part 140 with a laser based on the measurement result of the spring constant. . Specifically, in any of the four cutouts 143 shown in FIG. 7B, the laser is applied to the end of the second slit portion 142 among the both ends (the first slit portion 141 and the second slit portion 142). By irradiating the spot, a partial cut is made at the connecting portion between the arm part 140 and the support-side fixing part 149 so as to extend the second slit part 142. As a result, in any of the four arm portions 140, a laser cut portion 145 is formed at the connecting portion between the arm portion 140 and the support side fixing portion 149, and the length of the arm portion 140 is cut by the laser. Stretched by the specified dimension. When cutting with such a laser, the cutting dimension is set based on the result of measuring the spring constant of the arm portion 140.

その他の構成は、バネ部材１４ｙと同様であるため、説明を省略するが、バネ部材１４ｘは、レーザトリミング工程でのレーザによる切断部分１４５の形成によって、アーム部１４０のバネ定数が最適な値に補正されているので、バネ定数の精度が高いなど、バネ部材１４ｙと同様な効果を奏する。   Since the other configuration is the same as that of the spring member 14y, the description thereof will be omitted. However, the spring constant of the arm member 140 is set to an optimum value by forming the cut portion 145 by the laser in the laser trimming process. Since the correction is made, the same effect as that of the spring member 14y is obtained, for example, the accuracy of the spring constant is high.

（他の実施の形態）
２つのバネ部材１４ｘ、１４ｙにおいては、板厚やアーム部１４０の長さ、延在している方向が同一でもよいが、これらの構成が相違していてもよい。また、上記形態では、バネ部材１４ｘ、１４ｙに形成されている４つのアーム部１４０の全てにレーザトリミングを行なったが、４つのアーム部１４０の一部のみにレーザトリミングを施してもよい。また、アーム部１４０が途中で湾曲あるいは屈曲しているバネ部材に本発明を適用してもよい。 (Other embodiments)
In the two spring members 14x and 14y, the plate thickness, the length of the arm portion 140, and the extending direction may be the same, but these configurations may be different. In the above embodiment, laser trimming is performed on all of the four arm portions 140 formed on the spring members 14x and 14y. However, laser trimming may be performed on only a part of the four arm portions 140. Further, the present invention may be applied to a spring member in which the arm part 140 is bent or bent halfway.

（ａ）、（ｂ）は各々、本発明を適用したレンズ駆動装置を斜め上方からみた外観図、および分解斜視図である。(A), (b) is the external view which looked at the lens drive device to which this invention is applied from diagonally upward, and an exploded perspective view, respectively. 図１に示すレンズ駆動装置１の動作を模式的に示す説明図である。It is explanatory drawing which shows typically operation | movement of the lens drive device 1 shown in FIG. （ａ）、（ｂ）は、本発明を適用したレンズ駆動装置に用いた一方のバネ部材の平面図、および当該バネ部材のレーザトリミング前の構成を示す平面図である。(A), (b) is a top view which shows the structure before laser trimming of one spring member used for the lens drive device to which this invention is applied, and the said spring member. （ａ）、（ｂ）は、本発明を適用したバネ部材を製造する際のレーザトリミング工程の説明図、およびレーザによる切断部分の説明図である。(A), (b) is explanatory drawing of the laser trimming process at the time of manufacturing the spring member to which this invention is applied, and explanatory drawing of the cutting part by a laser. 本発明を適用したバネ部材におけるレーザによる切断形状の説明図である。It is explanatory drawing of the cutting shape by the laser in the spring member to which this invention is applied. 本発明を適用したバネ部材においてレーザトリミング前後でのバネ定数の変化を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the change of the spring constant before and behind laser trimming in the spring member to which this invention is applied. （ａ）、（ｂ）は、本発明を適用したレンズ駆動装置に用いた他方のバネ部材の平面図、および当該バネ部材をフレームから切り離す前の状態を示す平面図である。(A), (b) is the top view of the other spring member used for the lens drive device to which this invention is applied, and the top view which shows the state before isolate | separating the said spring member from a flame | frame.

符号の説明Explanation of symbols

１ レンズ駆動装置
２ 支持体
３ 移動体
１１ スペーサ
１３ スリーブ
１４ｘ、１４ｙ バネ部材
１７ マグネット
１８ ヨーク
１９ ホルダ
３０ 駆動コイル
１４０ アーム部
１４１ 第１スリット部
１４２ 第２スリット部
１４３ 切り欠き
１４５ レーザによる切断部分
１４８ 移動体側固定部
１４９ 支持体側固定部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Lens drive device 2 Support body 3 Moving body 11 Spacer 13 Sleeve 14x, 14y Spring member 17 Magnet 18 Yoke 19 Holder 30 Drive coil 140 Arm part 141 First slit part 142 Second slit part 143 Notch 145 Laser cutting part 148 Moving body side fixing portion 149 Supporting body side fixing portion

Claims (6)

支持体、レンズを備えた移動体、前記支持体と前記移動体との間に構成された磁気駆動機構、および、前記磁気駆動機構によりレンズ光軸方向に駆動される前記移動体を当該レンズ光軸に沿って移動可能に支持するとともに、前記移動体の移動を規制して当該移動体の停止位置を規定するバネ部材を有するレンズ駆動装置において、
前記バネ部材は、前記支持体側に固定される支持体側固定部と、前記移動体側に固定される移動体側固定部と、前記支持体側固定部と前記移動体側固定部とを連結する複数の板バネ状のアーム部とを備え、
前記複数のアーム部のうちの少なくとも１つは、縁部の一部にレーザによる切断部分を備えており、
前記アーム部において前記レーザによる切断部分以外の縁部は、プレス加工、あるいはフォトリソグラフィ技術を用いたエッチング加工による切断部分であり、
前記バネ部材において、前記レーザによる切断部分は、前記アーム部を形成する切り欠きを延長して前記アーム部の長さ寸法を伸ばすことにより当該アーム部のバネ定数を補正するものであることを特徴とするレンズ駆動装置。 A support body, a movable body including a lens, a magnetic drive mechanism configured between the support body and the movable body, and the movable body driven in the lens optical axis direction by the magnetic drive mechanism. In the lens driving device having a spring member that supports the movable body along the axis and regulates the movement of the movable body to define a stop position of the movable body.
The spring member includes a support body-side fixing portion that is fixed to the support body side, a moving body-side fixing portion that is fixed to the moving body side, and a plurality of leaf springs that connect the support body-side fixing portion and the moving body-side fixing portion. Arm-shaped part,
At least one of the plurality of arm portions includes a laser cutting portion at a part of the edge portion,
The edge part other than the cutting part by the laser in the arm part is a cutting part by press processing or etching processing using photolithography technology,
In the spring member, the laser cut portion is a portion that corrects a spring constant of the arm portion by extending a notch forming the arm portion and extending a length dimension of the arm portion. A lens driving device. 前記アーム部は周方向に延在しており、
前記バネ部材は、前記アーム部より内側で前記アーム部と前記移動体側固定部との連結部分に向けて切り込まれた第１スリット部と、前記アーム部より外側で前記アーム部と前記支持体側固定部との連結部分に向けて切り込まれた第２スリット部とを備え、
前記レーザによる切断部分は前記第１スリット部または／および前記第２スリット部を延長して前記アーム部の長さ寸法を伸ばすように形成されていることを特徴とする請求項１に記載のレンズ駆動装置。 The arm portion extends in the circumferential direction,
The spring member includes a first slit portion cut toward a connecting portion between the arm portion and the movable body side fixed portion inside the arm portion, and the arm portion and the support body side outside the arm portion. A second slit portion cut toward the connecting portion with the fixed portion,
2. The lens according to claim 1, wherein the laser cut portion is formed to extend the length of the arm portion by extending the first slit portion and / or the second slit portion. Drive device. 前記複数のアーム部のいずれにおいても、アーム部の内側に位置する前記第１スリット部と、当該アーム部に対して周方向で隣接する位置に形成されたアーム部の外側に位置する前記第２スリット部とは、周方向で繋がった切り欠きを構成していることを特徴とする請求項２に記載のレンズ駆動装置。   In any of the plurality of arm portions, the first slit portion positioned inside the arm portion and the second slit positioned outside the arm portion formed at a position adjacent to the arm portion in the circumferential direction. The lens driving device according to claim 2, wherein the slit portion forms a notch connected in the circumferential direction. 前記レーザによる切断部分は前記第２スリット部を延長して前記アーム部の長さ寸法を伸ばすように形成されていることを特徴とする請求項２または３に記載のレンズ駆動装置。   4. The lens driving device according to claim 2, wherein the laser cut portion is formed so as to extend the length of the arm portion by extending the second slit portion. 前記移動体側固定部は、前記複数のアーム部が連結された環状枠体状に形成され、
前記アーム部は、前記移動体側固定部に沿って湾曲していることを特徴とする請求項２乃至４の何れか一項に記載のレンズ駆動装置。 The movable body side fixed portion is formed in an annular frame shape in which the plurality of arm portions are connected,
5. The lens driving device according to claim 2, wherein the arm portion is curved along the movable body side fixed portion. 6. 支持体、レンズを備えた移動体、前記支持体と前記移動体との間に構成された磁気駆動機構、および、前記磁気駆動機構によりレンズ光軸方向に駆動される前記移動体を当該レンズ光軸に沿って移動可能に支持するとともに、前記移動体の移動を規制して当該移動体の停止位置を規定するバネ部材を有するレンズ駆動装置の製造方法において、
前記バネ部材は、前記支持体側に固定される支持体側固定部と、前記移動体側に固定される移動体側固定部と、前記支持体側固定部と前記移動体側固定部とを連結する複数の板バネ状のアーム部とを備え、
当該バネ部材を製造するにあたっては、
薄板を切断して前記支持体側固定部、前記移動体側固定部、および前記アーム部を形成する切断工程と、
該切断工程により形成した前記アーム部のバネ定数を計測し、当該バネ定数の計測結果に基づいて、前記アーム部の縁部の一部にレーザによる切断部分を設けて前記バネ定数を補正するレーザトリミング工程と、を行い、
前記切断工程では、前記薄板に対するプレス加工、あるいはフォトリソグラフィ技術を用いたエッチング加工により前記支持体側固定部、前記移動体側固定部、および前記アーム部を形成し、
前記レーザトリミング工程では、前記バネ部材において、前記アーム部を形成する切り欠きを延長して前記アーム部の長さ寸法を伸ばすことを特徴とするレンズ駆動装置の製造方法。 A support body, a movable body including a lens, a magnetic drive mechanism configured between the support body and the movable body, and the movable body driven in the lens optical axis direction by the magnetic drive mechanism. In the manufacturing method of the lens driving device having a spring member that supports the movable body along the axis and regulates the movement of the movable body to define the stop position of the movable body.
The spring member includes a support body-side fixing portion that is fixed to the support body side, a moving body-side fixing portion that is fixed to the moving body side, and a plurality of leaf springs that connect the support body-side fixing portion and the moving body-side fixing portion. Arm-shaped part,
In manufacturing the spring member,
A cutting step of cutting a thin plate to form the support side fixing portion, the moving body side fixing portion, and the arm portion;
A laser that measures the spring constant of the arm portion formed by the cutting step, and corrects the spring constant by providing a cutting portion by a laser at a part of the edge of the arm portion based on the measurement result of the spring constant Trimming process,
In the cutting step, the supporting body side fixing portion, the moving body side fixing portion, and the arm portion are formed by press processing on the thin plate or etching processing using a photolithography technique,
In the laser trimming step, a method of manufacturing a lens driving device, wherein a notch forming the arm portion is extended in the spring member to extend a length dimension of the arm portion.
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