JP5005272B2 - 半導体封止用樹脂組成物および半導体装置 - Google Patents
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Description
C60フラーレン(フロンティアカーボン(株)製 商品名 ナノムパープル;重量平均粒径20μm)、炭素粉末(フロンティアカーボン(株)製製 商品名 ナノムブラック;重量平均粒径20μm)、カーボンブラック(三菱化学(株)製 商品名 MA−600;平均粒径20nm)と、o‐クレゾールノボラック樹脂(住友化学工業(株)製 商品名 EOCN−195XL−70;エポキシ当量198)、フェノールノボラック樹脂(昭和高分子(株)製 商品名 BRG−557;水酸基当量105)、溶融球状シリカ粉末(電気化学工業(株)製 商品名 FB−60;平均粒径23μm)、カルナバワックス(東洋ペトロライト(株)製 商品名 カルナバワックス)、カップリング剤(日本ユニカー(株)製 商品名A−187)および硬化促進剤(北興化学工業(株)製 商品名 PP−200)を、表1に示す組成でミキサーを用いて常温で混合し、加圧型ニーダにより90〜95℃の温度で加熱混練した後、冷却固化させ、さらに、適当な粒度に粉砕して封止用樹脂組成物を製造した。
試験用成形品の外観の色を目視にて観測した。そして、次の基準で外観の評価を行った。
○:良好
△:やや良好(実用上問題のないもの)
×:不良(実用上問題のあるもの)
[レーザマーキング性]
キーエンス(株)製のYAGレーザマーキング装置を用い、出力14A、周波数5.0kHz、マーキング速度400mm/s、文字の線幅0.2mmの条件でマーキングを行い、マーキング文字のコントラストを目視により観察し、次の基準で評価した。
○:マーキング文字が白色のもの
△:マーキング文字の色が成形品外観と白色の中間色のもの
×:マーキング文字の色が成形品外観と同色のもの
また、マーキング文字の線幅を測定し、設定値(0.2mm)に対する比率(%)を求めた。そして、次の基準でレーザマーキング性の評価を行った。
○:良好
△:やや良好(実用上問題のないもの)
×:不良(実用上問題のあるもの)
[光透過率]
日本分光(株)製の分光光度計V−570を用い、波長300〜800nm領域で、厚み1mmの光透過率を測定した。
[絶縁信頼性]
導通試験を行い、パッド間のリークの有無を調べ、次の基準で評価した。
○:リークなし
×:リークあり
[成形性]
EMMI−1−66に準じたスパイラルフロー金型を用い、封止用樹脂組成物を175℃に加熱したスパイラルフロー金型にトランスファー注入し硬化させて、流動した長さを測定した。
Claims (6)
- (A)エポキシ樹脂、(B)フェノール樹脂硬化剤、(C)無機充填剤、(D)フラーレンおよび(E)有機溶媒に不溶であり、かつ、CuKα線を使用したX線回折測定分析における回折角が3〜30°の範囲内で最も強いピークが回折角10〜18°の範囲に存在する炭素材料を含有する半導体封止用樹脂組成物であって、
前記半導体封止用樹脂組成物全体に対して、前記(C)成分を70〜95重量%、前記(D)成分を0.01〜2.0重量%、前記(E)成分を0.01〜2.0重量%含有することを特徴とする半導体封止用樹脂組成物。 - 前記(D)成分のフラーレンは、C60フラーレンおよび/またはC70フラーレンを含むことを特徴とする請求項1記載の半導体封止用樹脂組成物。
- (E)成分の炭素材料が、励起波長514.5nmでのラマンスペクトルにおいて、バンドG(1590±20cm−1)およびバンドD(1340±40cm−1)にピークを有し、前記各バンドにおけるピーク強度をそれぞれI(G)およびI(D)としたとき、ピーク強度比I(D)/I(G)が0.4〜1.0であることを特徴とする請求項1または2記載の半導体封止用樹脂組成物。
- 前記(C)成分の無機充填剤は、シリカ粉末を含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の半導体封止用樹脂組成物。
- 前記(D)成分のフラーレンおよび前記(E)成分の炭素材料と、前記(A)成分のエポキシ樹脂および/または前記(B)フェノール樹脂硬化剤の少なくとも一部との予備混練物を含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載の半導体封止用樹脂組成物。
- 請求項1乃至5のいずれか1項記載の半導体封止用樹脂組成物の硬化物により封止された半導体素子を具備することを特徴とする半導体装置。
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