JP5004636B2 - 電子部品圧着装置および電子部品圧着装置の平行度調整方法 - Google Patents
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Description
流量Q=120×S(P1+0.1)SQRT[293/(273+t)]‥‥(1)
式(1)において、Q:流量(dm3/min)、S:断面積(mm2)、P1:圧力(MPa)、t:温度(℃)である。
1a ツールの下面(電子部品保持面)
2 加圧ステージ
2a 加圧ステージの上面(基板保持面)
4 高圧エアー配管
5 荷重測定器
6 傾き調整部
7,8 テーパブロック
9,16 ボールネジ
10 電子部品圧着装置
11,12 モータ
13 傾き検出部
14 流量検出部
15 コントローラ部
17 流量センサー
18 電子部品
19 基板
Claims (4)
- 電子部品を基板に圧着する電子部品圧着装置であって、
前記基板を保持するステージと、
前記電子部品を前記基板に押し付け圧着するツールと、
前記ステージの基板保持面に設けられた3個以上の貫通穴と、
前記貫通穴に流体を供給する流体制御部と、
前記3個以上の貫通穴に流す流体の流量を個別に測定する流量センサーと、
前記ステージを傾けて前記ステージと前記ツールとの平行度を調整する傾き調整部と、
前記流量センサーの流量差を演算できる流量検出部と、
前記ツールを前記ステージの基板保持面に設けられた前記貫通穴の上に密着させて前記流量検出部の演算した流量差により前記ステージと前記ツールとの平行度を計算し、この計算結果に基づいて前記傾き調整部を動作させ前記ツールと前記ステージとの平行度を調整するコントローラ部と
を備えたことを特徴とする電子部品圧着装置。 - 前記ステージに流体を送る供給口を、前記ステージの前記加圧方向に対し直角方向の面に設けることを特徴とする請求項1記載の電子部品圧着装置。
- 電子部品を基板に圧着する電子部品圧着装置の平行度調整方法であって、
基板を保持するステージの電子部品保持面と、電子部品を基板に押し付けるツールの電子部品保持面とを密着させ、
前記電子部品を前記基板に押し付けるツールと前記基板を保持するステージの基板保持面とを密着させ、
前記ステージの基板保持面に設けた3個以上の貫通穴より流体を吐出させ、
3個以上の前記貫通穴より吐出した流体の流量を流量センサーにて測定し、
前記流量センサーにて測定した流量から前記ステージと前記ツール間の隙間を算出し、
前記算出した隙間の値に基づいて傾き調整部を動作して前記ステージを傾けて前記ツールと前記ステージとの平行度を調整することを特徴とする
電子部品圧着装置の平行度調整方法。 - 前記ステージで保持した基板に前記ツールで保持した電子部品を圧着する際に、
前記ステージに取り付けた荷重測定器にて、前記電子部品の加圧方向に垂直でかつ互いに直交する2方向の荷重と、加圧方向に平行な1方向との3方向の荷重を検出し、
前記傾き検出部にて、前記荷重測定器で測定した前記3方向に発生する荷重値と、予め設定されている3方向の荷重値の許容値とを比較して、前記電子部品の加圧傾き量を演算した結果から傾き異常が検出された場合には、圧着作業を停止し、前記請求項1記載の電子部品圧着装置の前記ステージと前記ツールとの平行度調整を実施することを特徴とする
電子部品圧着装置の平行度調整方法。
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