JP5004459B2 - 半導体装置の作製方法 - Google Patents
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Description
したがって、容量値の確保をするためには、容量素子の面積を広くする必要があり、微細化ができない。
(第1の構成)
本発明は、絶縁表面上に、互いに間隔をあけて配置された複数の電極よりなる第1の電極と、第1の電極上の誘電層と、誘電層を挟んで第1の電極と対向する凹凸形状の第2の電極とからなる容量素子を有し、第2の電極の凸部は複数の電極の間に位置し、第2の電極の凹部は複数の電極の上方に位置し、第2の電極の上面は平坦であることを特徴とする半導体装置である。
本発明は、絶縁表面上に、互いに間隔をあけて配置された複数の電極よりなる第1の電極と、第1の電極上の第1の誘電層と、第1の誘電層を挟んで第1の電極と対向する凹凸形状の第2の電極とからなる第1の容量素子と、第2の電極と、第2の電極上の第2の誘電層と、第2の誘電層を挟んで第2の電極と対向する第3の電極とからなる第2の容量素子とを有し、第2の電極の凸部は複数の電極の間に位置し、第2の電極の凹部は複数の電極の上方に位置し、第2の電極の上面は平坦であることを特徴とする半導体装置である。
本発明は、上記第1の構成の容量素子や第2の構成の第1の容量素子が、TFTを構成する電極を形成するための導電層と同じ導電層を容量素子の電極に使用し、また、TFTを構成する絶縁膜と同じ絶縁膜を誘電体として使用していることを特徴とする半導体装置である。
本発明は、上記第1の構成乃至第3の構成で示した容量素子を各画素に配置した表示装置である。
本発明は、上記第2の構成で示した第2の容量素子を各画素に配置し、第3の電極を表示素子の一対の電極のうち一方と同じ導電層を用いて構成されることを特徴とする半導体装置である。
(第6の構成)
(第7の構成)
(第8の構成)
(第9の構成)
本発明は、絶縁表面上に、第1の導電層を形成し、第1の導電層をリソグラフィによりマスクパターンを転写し、エッチングすることによって、互いに間隔をあけて配置された複数の電極を形成し、複数の電極上に誘電層を形成し、第1の導電層の膜厚と同じ膜厚で誘電層上に第2の導電層を形成し、第2の導電層をエッチングすることによって、複数の電極と重なる領域の第2の導電層を除去した後、第2の導電層上に第3の導電層を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法である。
本発明は、絶縁表面上に、第1の導電層を形成し、第1の導電層をリソグラフィによりマスクパターンを転写し、エッチングすることによって、互いに間隔をあけて配置された複数の電極を形成し、複数の電極上に第1の誘電層を形成し、第1の導電層の膜厚よりも厚い膜厚で誘電層上に第2の導電層を形成し、前記第2の導電層の上面を平坦化することを特徴とする半導体装置の作製方法である。
本発明は、絶縁表面上に、第1の導電層を形成し、第1の導電層をリソグラフィによりマスクパターンを転写し、エッチングすることによって、互いに間隔をあけて配置された複数の電極を形成し、複数の電極上に第1の誘電層を形成し、第1の導電層の膜厚と同じ膜厚で第1の誘電層上に第2の導電層を形成し、第2の導電層をエッチングすることによって、複数の電極と重なる領域の第2の導電層を除去した後、第2の導電層上に第3の導電層を形成し、第3の導電層上に第2の誘電層を形成し、前記第2の誘電層上に第4の導電層を形成し、第4の導電層をエッチングすることによって第3の電極を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法である。
本発明は、絶縁表面上に、第1の導電層を形成し、第1の導電層をリソグラフィによりマスクパターンを転写し、エッチングすることによって、互いに間隔をあけて配置された複数の電極を形成し、複数の電極上に第1の誘電層を形成し、第1の導電層の膜厚よりも厚い膜厚で第1の誘電層上に第2の導電層を形成し、前記第2の導電層の上面を平坦化し、平坦化された第2の導電層上に第2の誘電層を形成し、前記第2の誘電層上に第3の導電層を形成し、第3の導電層をエッチングすることによって第3の電極を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法である。
本発明は、絶縁表面上に、第1の導電層を形成し、第1の導電層をリソグラフィによりマスクパターンを転写し、エッチングすることによって、互いに間隔をあけて配置された複数の電極を形成し、複数の電極上に第1の誘電層を形成し、第1の導電層の膜厚よりも厚い膜厚で第1の誘電層上に第2の導電層を形成し、前記第2の導電層の上面を平坦化し、平坦化された第2の導電層上に第3の導電層を形成し、前記第2の導電層の上に第2の誘電層を形成し、前記第2の誘電層上に第4の導電層を形成し、第4の導電層をリソグラフィによりマスクパターンを転写し、エッチングすることによって第4の電極を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法である。
更に、前記オーバーエッチングの問題を解決できる為、第2の電極の汚染による第2の電極と第3の電極の接触抵抗の増加に伴う熱発生による信頼性の低下、及び消費電力の上昇の問題を解消することができる。
3つ以上の電極を設けることにより、第1の容量素子の下部電極として働く第1の電極の表面積が増える為、容量値を更に稼ぐことができる。
また、電極17Aと電極17Bとは、ストライプ状に配置される構成を示した。しかし、これに限定されず、様々な形状とすることができる。例えば、電極17Aと電極17Bとを、編目状に設けることができる。編目状に設けることによって、第1の容量素子の下部電極として働く第1の電極の表面積が増える為、容量値を更にかせぐことができる。
(実施の形態2)
または積層により構成することができる。第1の誘電層15として、もちろん有機系材料を用いてもよいし、無機系材料と有機系材料の積層を用いても良い。第1の誘電層15の厚さは、絶縁性を有する限り自由に設定可能であり、当該厚さを調整することにより容量値を制御することができる。
(実施の形態3)
なお、リソグラフィ等によりマスクパターンを転写する、とは、リソグラフィの他にインクジェット法を用いたマスクパターン転写技術、ナノインプリント法を用いたマスクパターン転写技術等も含むものとして定義し、以下も同様に記載する。
(実施の形態4)
(実施の形態5)
(実施の形態6)
なお、図3(A)に示す実施の形態3においては、第2の電極第3の導電層18Cの膜厚を厚く成膜することによって18Dを積層する工程を省略することが可能である。
したがって、凸部に該当する第2の電極18の膜厚を増やせば、平坦化膜の第2の誘電層35の膜厚を薄くすることができ、第2の誘電層35の膜厚が薄くなることによって、容量素子の容量は増加することになる。
(実施の形態7)
また、並列接続の方法は本実施例に限られるものではなく、適宜変更が可能である。
なお、図16(A)において、第1の誘電層15及び第2の誘電層35は省略している。
(実施の形態8)
(実施の形態9)
料の単層または積層により構成することができる。
(実施の形態10)
籍等)、記録媒体を備えた画像再生装置(具体的にはDigital Versatile Disc(DVD)等の記録媒体を再生し、その画像を表示しうるディスプレイを備えた装置)などが挙げられる。特に、斜め方向から画面を見る機会が多い携帯情報端末は、視野角の広さが重要視されるため、自発光型の表示装置を用いることが望ましい。
15 第1の誘電層
17 第1の電極
17A 電極
17B 電極
18 第2の電極
18A 第2の電極の一部
35 第2の誘電層
36 第3の電極
18B 第2の導電層
18C 第3の導電層
18D 第4の導電層
611 絶縁表面
612 半導体層
613 ゲート絶縁層
614 ゲート電極
616A 電極
616B 電極
624 TFT
625 容量素子
635 層間絶縁膜
636 第3の電極
645 容量素子
900 表示パネル
901 表示部
902 ソース信号線駆動回路
903 ゲート信号線駆動回路
904 回路基板
905 コントロール回路
906 信号分割回路
907 接続配線
1301 基板
1302 表示部
1306 シール材
1307 シーリング材
1308 密閉空間
1309 吸湿剤
1310 カバー材
1311 入力端子部
1312 FPC
1320 カラーフィルタ
1321 対向基板
1322 密閉空間
1323 保護膜
1324 シーリング材
2001 筐体
2002 支持台
2003 表示部
2004 スピーカー部
2005 ビデオ入力端子
2101 本体
2102 表示部
2103 受像部
2104 操作キー
2105 外部接続ポート
2106 シャッター
2201 本体
2202 筐体
2203 表示部
2204 キーボード
2205 外部接続ポート
2206 ポインティングパッド
2301 本体
2302 表示部
2303 スイッチ
2304 操作キー
2305 赤外線ポート
2401 本体
2402 筐体
2403 表示部A
2404 表示部B
2405 読み込み部
2406 操作キー
2407 スピーカー部
2501 本体
2502 表示部
2503 アーム部
2601 本体
2602 表示部
2603 筐体
2604 外部接続ポート
2605 リモコン受信部
2606 受像部
2607 バッテリー
2608 音声入力部
2609 操作キー
2701 本体
2702 筐体
2703 表示部
2704 音声入力部
2705 音声出力部
2706 操作キー
2707 外部接続ポート
2708 アンテナ
3000 基板
3001 ゲート信号線
3002 ソース信号線
3003 電源線
3004 EL素子
3005 TFT
3006 TFT
3007 保持容量
3008 下部電極
3009 誘電層
3010 上部電極
3101 ソース信号線駆動回路
3102 ゲート信号線駆動回路
3110 電極
4019 電極
4020 層間絶縁膜
4021 発光層
4022 電極
4026 発光素子
5037 層間絶縁膜
5021 発光層
5022 電極
5043 発光素子
Claims (3)
- 絶縁表面上に、互いに間隔をあけて配置された複数の電極よりなる第1の電極を形成し、
前記絶縁表面上及び前記第1の電極上に、第1の誘電体層を形成し、
前記第1の誘電体層上に、凸部が前記複数の電極の間に配置され、且つ、凹部が前記複数の電極と重なる位置に配置された凹凸形状を有し、上面が平坦な第2の電極を形成し、
前記第2の電極を、
前記第1の誘電体層上であって前記複数の電極の間に、第1の導電層を形成し、
前記第1の導電層上及び前記第1の誘電体層上の前記複数の電極と重なる位置に、第2の導電層を形成することによって形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 半導体層を形成し、
前記半導体層上にゲート絶縁層を形成し、
前記ゲート絶縁層上に、ゲート電極と、互いに間隔をあけて配置された複数の電極よりなる第1の電極と、を形成し、
前記ゲート絶縁層上及び前記第1の電極上に、第1の誘電体層を形成し、
前記第1の誘電体層上に、凸部が前記複数の電極の間に配置され、且つ、凹部が前記複数の電極と重なる位置に配置された凹凸形状を有し、上面が平坦な第2の電極を形成し、
前記第2の電極を、
前記第1の誘電体層上であって前記複数の電極の間に、第1の導電層を形成し、
前記第1の導電層上及び前記第1の誘電体層上の前記複数の電極と重なる位置に、第2の導電層を形成することによって形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1又は請求項2において、
前記第2の電極上に第2の誘電体層を形成し、
前記第2の誘電体層上に第3の電極を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。
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