JP4995508B2 - 微小ボールをピックアップするための装置およびその制御方法 - Google Patents
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Description
(a1)保持部の先端部を、吸引口が、容器の開口を介し、浮遊空間に面するように前進させること。
(a2)気体供給手段により、容器の内部に気体を吹き出させることで、微小ボールを浮遊空間において浮遊させること。
(a3)吸引口に、微小ボールを吸引吸着させること。
(a4)浮遊空間における複数の微小ボールの浮遊を止めること。
(a5)保持部の先端部を後退させて、ピックアップされた微小ボールを搬送すること。
(b1)保持部の先端部を容器の開口にセットし、吸引口が浮遊空間に面するようにすること。
(b2)容器の内部に気体を吹き出させることにより、微小ボールを浮遊空間において浮遊させること。
(b3)吸引口を浮遊空間に対して負圧にすることにより、微小ボールを吸引口に吸着させること。
(b4)気体の吹き出しを止めること。
(b5)保持部の先端部を後退させて、ピックアップされた微小ボールを搬送すること。
D1>D3>R>D2 …(1)
R>2×C=Ctotal…(2)
11 上壁(上部)、 11a 上壁の内面(上部の露出面)
12 開口、 13 排出口(排気口)
15 丸孔(孔)、 16 ピン(部材)
20 保持部、 20a (保持部の)先端部
23 吸引口、 24 先端面
30 移動装置(移動手段)
40 ガス供給装置(気体供給手段)、 42 吹出ノズル
90a リペア装置(ボール搭載システム)
90b ボール搭載装置(ボール搭載システム)
91 半導体ウエハ(基板)
92 基板支持機構、 B 微小ボール
Claims (12)
- 少なくとも1つの微小ボールをピックアップするための保持部を有する装置であって、
複数の微小ボールを溜めるための貯留空間と、この貯留空間の上で、複数の微小ボールが浮遊可能な浮遊空間とを内部に含むための容器であって、さらに、前記浮遊空間に対して上方からアクセスするための開口を含む容器と、
前記容器の内部に側方から気体を供給することにより、前記浮遊空間に複数の微小ボールを浮遊させるための気体供給手段とをさらに有し、
前記保持部は、微小ボールを1個単位で吸引保持可能な吸引口を含む先端部を備え、前記開口に前記先端部をセットすることにより、前記吸引口が前記浮遊空間に面し、さらに、
前記容器は、前記浮遊空間に露出した面を含み、
前記先端部は、前記吸引口が配置された先端面を含み、
前記保持部は、前記先端面が、前記露出した面とほぼ一致するように、セット可能である、装置。 - 少なくとも1つの微小ボールをピックアップするための保持部と、
複数の微小ボールを溜めるための貯留空間と、この貯留空間の上で、複数の微小ボールが浮遊可能な浮遊空間とを内部に含むための容器であって、さらに、前記浮遊空間に対して上方からアクセスするための開口を含む容器と、
前記容器の内部に側方から気体を供給することにより、前記浮遊空間に複数の微小ボールを浮遊させるための気体供給手段とを有し、
前記保持部は、微小ボールを1個単位で吸引保持可能な吸引口を含む先端部を備え、前記開口に前記先端部をセットすることにより、前記吸引口が前記浮遊空間に面し、さらに、
前記容器の上部に設けられ、前記容器の内部から気体を排出する口をさらに有し、
前記排出する口は、
第1の直径となる部分を含む孔と、
前記第1の直径となる部分と対向する部分であって、前記第1の直径よりも小さい第2の直径となる部分を含む、前記孔に挿入された部材とを含んでおり、
前記第1の直径と前記第2の直径との差は、公差を含めて微小ボールの直径未満である、装置。 - 請求項1または2において、前記先端部は、先端面を含み、その先端面に、複数の前記吸引口が所定のパターンで配置されている、装置。
- 請求項3において、前記先端面に、前記複数の吸引口がグリッド状に配置されている、装置。
- 請求項3または4において、前記気体供給手段は、前記開口を介し、前記浮遊空間に面するようにセットされた前記先端面に沿った気体の流れを形成するように、前記容器の内部に気体を吹き出すための吹出ノズルを備えている、装置。
- 請求項1ないし5のいずれかにおいて、前記気体供給手段は、前記容器の側部の上半分部の範囲にセットされた吹出ノズルを備えている、装置。
- 請求項6において、前記容器の内部を部分的に上下に分割するように設けられた整流板をさらに有する、装置。
- 請求項1ないし7のいずれかにおいて、前記吸引口が、前記開口を介し、前記浮遊空間に面するように前記容器にセットされる第1のポジションと、前記吸引口が、前記容器から外れる第2のポジションとの間で、前記容器および前記保持部の少なくともいずれかを移動可能な移動手段をさらに有する、装置。
- 請求項1ないし8のいずれかにおいて、
前記吸引口の直径は微小ボールの直径より小さい、装置。 - 請求項1ないし9のいずれかに記載の装置と、
基板を支持する基板支持機構とを有し、
前記保持部に保持された微小ボールを前記基板に搭載可能なボール搭載システム。 - 微小ボールをピックアップするための装置の制御方法であって、
前記装置は、
複数の微小ボールを溜めるための貯留空間と、この貯留空間の上で、複数の微小ボールが浮遊可能な浮遊空間とを内部に含むための容器であって、さらに、前記浮遊空間に対して上方からアクセスするための開口を含む容器と、
微小ボールを1個単位で吸引保持可能な吸引口を含む先端部を有する保持部であって、前記開口に前記先端部をセットすることにより、前記吸引口が前記浮遊空間に面する保持部と、
前記容器の内部に側方から気体を供給することにより前記浮遊空間に複数の微小ボールを浮遊させるための気体供給手段とを有し、
当該制御方法は、
前記保持部の前記先端部を、前記吸引口が、前記開口を介し、前記浮遊空間に面するように前進させることと、
前記気体供給手段により、前記容器の内部に気体を吹き出させることで、微小ボールを前記浮遊空間において浮遊させることと、
前記吸引口に、微小ボールを吸引吸着させることと、
前記浮遊空間における複数の微小ボールの浮遊を止めることと、
前記保持部の前記先端部を後退させて、ピックアップされた微小ボールを搬送することとを含む、装置の制御方法。 - 複数の微小ボールを溜めるための貯留空間と、この貯留空間の上で、複数の微小ボールが浮遊可能な浮遊空間とを内部に含むための容器であって、さらに、前記浮遊空間に対して上方からアクセスするための開口を含む容器と、
微小ボールを1個単位で吸引保持可能な吸引口を含む先端部を有する保持部とを用いて、微小ボールをピックアップする方法であって、
この方法は、
前記保持部の前記先端部を前記開口にセットし、前記吸引口が前記浮遊空間に面するようにすることと、
前記容器の内部に気体を吹き出させることにより、微小ボールを前記浮遊空間において浮遊させることと、
前記吸引口を前記浮遊空間に対して負圧にすることにより、微小ボールを吸引口に吸着させることと、
前記気体の吹き出しを止めることと、
前記保持部の前記先端部を後退させて、ピックアップされた微小ボールを搬送することとを含む、方法。
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