JP4994276B2 - 被処理物の熱処理装置、その制御方法及び処理装置の制御方法 - Google Patents
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Description
3−1,3−2,3−3 切替器
4 熱処理炉
Claims (8)
- 被処理物を熱処理するための熱処理炉と、所定の設定値と前記熱処理炉からの制御量とに基づいて操作量を出力する複数の制御部と、該複数の制御部から出力される操作量のうち1つを選択する制御部選択信号に従って前記熱処理炉に出力する切替器と、前記複数の制御部のうちのいずれか一つの制御部に対する設定値と該設定値が所定の値まで変化する速さを示す傾きを設定する項目とを含む設定手段を有するシーケンサとを備え、
前記シーケンサは、各段に前記制御部の構成である制御構成及び前記各段の継続時間がそれぞれ設定されるとともに、前記各段に各ゾーンに対応する、前記設定値と前記傾きとがそれぞれ設定された制御切替テーブルを有し、該制御切替テーブルを順番に上段から下段へと実行していく熱処理装置。 - 被処理物を熱処理するための熱処理炉と、所定の設定値と前記熱処理炉からの制御量とに基づいて操作量を出力する複数の制御部と、該複数の制御部から出力される操作量のうち1つを選択する制御部選択信号に従って前記熱処理炉に出力する切替器と、前記複数の制御部のうちのいずれか一つの制御部に対する設定値と該設定値が所定の値まで変化する速さを示す傾きを設定する項目とを含む設定手段を有するシーケンサとを備え、
前記シーケンサは、各段に該各段の継続時間が設定されるとともに、前記各段に各ゾーンに対応する、前記制御部の構成である制御構成と前記設定値と前記傾きとがそれぞれ設定された制御切替テーブルを有し、該制御切替テーブルを順番に上段から下段へと実行していく熱処理装置。 - 被処理物を熱処理するための熱処理炉と、所定の設定値と前記熱処理炉からの制御量とに基づいて操作量を出力する複数の制御部と、該複数の制御部から出力される操作量のうち1つを選択する制御部選択信号に従って前記熱処理炉に出力する切替器と、前記複数の制御部のうちのいずれか一つの制御部に対する設定値と該設定値が所定の値まで変化する速さを示す傾きを設定する項目とを含む設定手段を有するシーケンサとを備え、
前記シーケンサは、各段に各ゾーンに対応する、前記制御部の構成である制御構成と前記設定値と前記傾きと前記各段の継続時間とがそれぞれ設定された制御切替テーブルを有し、該制御切替テーブルを順番に上段から下段へと実行していく熱処理装置。 - 前記複数の制御部は、追従性を重視した制御部と、定常特性を重視した制御部とを含む請求項1乃至請求項3のいずれか一つに記載の熱処理装置。
- 前記シーケンサは、各ゾーンに前記制御切替テーブルを有する請求項3に記載の熱処理装置。
- 前記シーケンサは、各ゾーンに制御切替信号を有し、前記制御構成の切替を独立して行う請求項2又は請求項3に記載の熱処理装置。
- 更に、前記複数の制御部と前記切替器とで構成される複数の制御系ループを有し、前記シーケンサは、前記複数の制御系ループの各々に前記制御構成の切替を独立して行う請求項1乃至請求項3のいずれか一つに記載の熱処理装置。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか一つに記載の前記シーケンサによる熱処理装置の制御方法。
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