JP4990327B2 - リソグラフィ装置及びリソグラフィ装置を操作する方法 - Google Patents
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Description
[0029] − 放射ビームB(例えばUV放射又はDUV放射)を調節するように構成された照明システム(イルミネータ)ILと、
[0030] − パターニングデバイス(例えばマスク)MAを支持するように構成され、特定のパラメータに従ってパターニングデバイスを正確に位置決めするように構成された第一ポジショナPMに接続された支持構造(例えばマスクテーブル)MTと、
[0031] − 基板(例えばレジストコートウェーハ)Wを保持するように構成され、特定のパラメータに従って基板を正確に位置決めするように構成された第二ポジショナPWに接続された基板テーブル(例えばウェーハテーブル)WTと、
[0032] − パターニングデバイスMAによって放射ビームBに与えられたパターンを基板Wのターゲット部分C(例えば1つ又は複数のダイを含む)に投影するように構成された投影システム(例えば屈折投影レンズシステム)PSとを含む。
1.ステップモードにおいては、パターニングデバイス支持構造MT及び基板テーブルWTは、基本的に静止状態に維持される一方、放射ビームに与えたパターン全体が1回でターゲット部分Cに投影される(すなわち1回の静止露光)。次に、別のターゲット部分Cを露光できるように、基板テーブルWTがX方向及び/又はY方向に移動される。ステップモードでは、露光フィールドの最大サイズによって、1回の静止露光で像が形成されるターゲット部分Cのサイズが制限される。
2.スキャンモードにおいては、パターニングデバイス支持構造MT及び基板テーブルWTは同期的にスキャンされる一方、放射ビームに与えられたパターンをターゲット部分Cに投影する(つまり1回の動的露光)。パターニングデバイス支持構造MTに対する基板テーブルWTの速度及び方向は、投影システムPSの拡大(縮小)及び像反転特性によって求めることができる。スキャンモードでは、露光フィールドの最大サイズによって、1回の動的露光におけるターゲット部分の(非スキャン方向における)幅が制限され、スキャン動作の長さによってターゲット部分の(スキャン方向における)高さが決まる。
3.別のモードでは、パターニングデバイス支持構造MTはプログラマブルパターニングデバイスを保持して基本的に静止状態に維持され、基板テーブルWTを移動又はスキャンさせながら、放射ビームに与えられたパターンをターゲット部分Cに投影する。このモードでは、一般にパルス状放射源を使用して、基板テーブルWTを移動させる毎に、又はスキャン中に連続する放射パルスの間で、プログラマブルパターニングデバイスを必要に応じて更新する。この動作モードは、以上で言及したようなタイプのプログラマブルミラーアレイなどのプログラマブルパターニングデバイスを使用するマスクレスリソグラフィに容易に利用できる。
Claims (14)
- リソグラフィ装置を操作する方法であって、
エッジフィーチャを有する基板を、前記エッジフィーチャの感知された位置に応答して角変位によって前記基板を回転させることにより、前記エッジフィーチャが、液浸液の流れの中で前記基板よりも下流側となるように、基板テーブル上に位置決めするステップと、
前記基板の表面に前記液浸液の流れを提供するステップと
を含む、方法。 - 前記基板を位置決めするステップが、基板の縁部のエッジフィーチャの位置を感知するステップを含む、
請求項1に記載の方法。 - 前記液浸液の流れを提供する際、前記エッジフィーチャで形成された気泡を液体の流れの中で抽出するステップを含み、前記気泡を前記液浸液の流れの中で抽出するステップが、前記流体処理構造に提供された流体排出口又は前記基板テーブルの表面に提供された流体抽出装置の排出口を介して実行される、
請求項1又は2に記載の方法。 - エッジフィーチャを有する基板を保持するように構成され配置された基板テーブルと、
前記基板上にパターン付放射ビームを投影するように構成された投影システムと、
前記投影システムと前記基板テーブルとの間の空間に液体の流れを供給し、少なくとも前記液体の一部を前記空間に閉じ込めるように構成し配置された流体処理システムと、
前記エッジフィーチャの感知された位置に応答して角変位によって前記基板を回転させることにより、前記エッジフィーチャが前記液体の流れの中で前記基板よりも下流側に位置するように、前記基板を前記基板テーブル上に位置決めするように構成されたポジショナと、
を備える液浸リソグラフィ装置。 - 前記ポジショナが、基板を処理するように構成され配置された基板処理装置を備える、
請求項4に記載の液浸リソグラフィ装置。 - 前記基板処理装置が、前記基板を回転させるように構成され、前記基板の角変位が前記ポジショナを作動させる信号に応答して制御される、
請求項5に記載の液浸リソグラフィ装置。 - 前記流体処理構造が、前記エッジフィーチャで形成された気泡を前記液体の流れの中で抽出するように構成され配置された流体排出口を備える、
請求項4から6のいずれか1項に記載の液浸リソグラフィ装置。 - 前記基板テーブルの表面が、前記エッジフィーチャで形成された気泡を使用時に前記液体の流れの中で抽出するように構成され配置された流体抽出装置の排出口を備える、
請求項4から7のいずれか1項に記載の液浸リソグラフィ装置。 - 前記基板テーブルが、基板を収容するように構成された基板ホルダを備え、前記流体抽出装置の排出口が、前記基板ホルダの縁部又はその付近にある、
請求項4から8のいずれか1項に記載の液浸リソグラフィ装置。 - 前記基板テーブルの表面にくぼみが形成され、前記くぼみが前記基板の上面が前記基板テーブルと面一になるように前記基板を収容するような形状である、
請求項8又は9に記載の液浸リソグラフィ装置。 - 位置決めフィーチャを有する基板を保持するように構成された基板テーブルと、
液浸液の流れを前記基板テーブル上に供給するように構成された流体処理システムと、
前記位置決めフィーチャの感知された位置に応答して角変位によって前記基板を回転させることにより、使用時に、前記位置決めフィーチャが前記液浸液の流れの中で前記基板に対して下流側に位置するように、前記基板を前記基板テーブル上に位置決めするように構成されたポジショナと、
を備える液浸リソグラフィ投影装置。 - リソグラフィ装置又はメトロロジーデバイスを操作する方法であって、
位置決めフィーチャの感知された位置に応答して角変位によって前記基板を回転させることにより、前記位置決めフィーチャが、液浸液の流れの中で基板に対して下流側に位置するように、前記位置決めフィーチャを有する基板を基板テーブル上に位置決めするステップと、
前記液浸液の流れを前記基板の表面に供給するステップと、
を含む方法。 - 位置決めフィーチャを有する基板を保持するように構成された基板テーブルと、
液浸液の流れを前記基板テーブル上に供給するように構成された流体処理システムと、
前記位置決めフィーチャの感知された位置に応答して角変位によって前記基板を回転させることにより、使用時に、前記位置決めフィーチャが、前記液浸液の流れの中で前記基板に対して下流側に位置するように、前記基板を前記基板テーブル上に位置決めするように構成されたポジショナと
を備えるメトロロジーツール。 - リソグラフィ装置と信号通信を行うコンピュータ上で実行されると、コンピュータに前記リソグラフィ装置を作動させて、
請求項1から3のいずれか1項、又は請求項12に記載の方法を実行させるコンピュータプログラム。
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