JP4987352B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4987352B2 JP4987352B2 JP2006137412A JP2006137412A JP4987352B2 JP 4987352 B2 JP4987352 B2 JP 4987352B2 JP 2006137412 A JP2006137412 A JP 2006137412A JP 2006137412 A JP2006137412 A JP 2006137412A JP 4987352 B2 JP4987352 B2 JP 4987352B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- transport
- conveyance
- rollers
- substrate transfer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67784—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations using air tracks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Description
前記各搬送コロ内にノズルを設け、前記回転中の相互に隣の搬送コロの前記ノズルから交互に気体を吹き付けおよび吸引する基板搬送装置。
(2)前記各搬送コロは、長手方向に直径が連続的に変化する中空の略筒状部材であり、前記ノズルは前記筒状部材の外周面の複数のスリットにより形成される上記(1)の基板搬送装置。
(3)前記各搬送コロは、長手方向に複数の狭い最大直径部を有し、該最大直径部において前記基板の幅方向の複数箇所と接触する上記(2)の基板搬送装置。
(4)前記基板の搬送方向に配置された複数個の搬送コロには、ブロアファンの吸気および排気配管が交互に接続される上記(1)、(2)又は(3)の基板搬送装置。
(5)所定の幅および長さを有する基板を予め決められた一方向へ搬送する基板搬送装置において、
前記基板の搬送方向に所定間隔で配置され、外周面に複数のスリットが形成され所定速度で回転する複数個の略筒状の搬送コロを含む基板搬送部と、
該複数個の搬送コロに接続され、前記スリットから前記基板に対して気体を交互に吹き付けおよび吸引する気体吹付/吸引部と、
を備える基板搬送装置。
(6)前記各搬送コロの外周面のスリットは、千鳥配置されている上記(5)の基板搬送装置。
(7)前記気体吹付/吸引部は、共通ブロアファンの吸気および排気を利用する上記(5)又は(6)の基板搬送装置。
(8)前記気体吹付/吸引部の排気配管に設けられたフィルタを備え、前記ブロアファンにより吸い込まれたエアー中の異物を前記基板面に吹き付けられる前に除去する上記(5)、(6)又は(7)の基板搬送装置。
(9)前記複数個の搬送コロの下面および側面を覆うフレームを備える上記(5)、(6)、(7)又は(8)の基板搬送装置。
20 基板搬送部
21 フレーム
22 搬送コロ
23 回転軸
24 スリットノズル
25 搬送モータ
30 気体吹付/吸引部
31 ブロアファン
32、33、36 配管
34 バルブ
35 フィルタ(HEPAフィルタ)
40 基板
Claims (9)
- 所定幅および長さを有する基板を複数個の搬送コロの回転により搬送する基板搬送装置において、
前記各搬送コロ内にノズルを設け、前記基板にエアーを吹き付ける第1の搬送コロのセットと、前記基板からエアーを吸引する第2の搬送コロのセットが、前記基板の搬送方向に所定間隔で交互に配置された
ことを特徴とする基板搬送装置。 - 前記各搬送コロは、長手方向に直径が連続的に変化する中空の略筒状部材であり、前記ノズルは前記筒状部材の外周面の複数のスリットにより形成されることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
- 前記各搬送コロは、長手方向に複数の狭い最大直径部を有し、該最大直径部において前記基板の幅方向の複数箇所と接触することを特徴とする請求項2に記載の基板搬送装置。
- 前記基板の搬送方向に配置された複数個の搬送コロには、ブロアファンの吸気および排気配管が交互に接続されることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の基板搬送装置。
- 所定の幅および長さを有する基板を予め決められた一方向へ搬送する基板搬送装置において、外周面に複数のスリットが形成され所定速度で回転する複数個の略筒状の搬送コロを含む基板搬送部と、
該複数個の搬送コロに接続され、前記基板にエアーを吹き付ける第1の搬送コロのセットと、前記基板からエアーを吸引する第2の搬送コロのセットが、前記基板の搬送方向に所定間隔で交互に配置された気体吹付/吸引部と、
を備えることを特徴とする基板搬送装置。 - 前記各搬送コロの外周面のスリットは、千鳥配置されていることを特徴とする請求項5に記載の基板搬送装置。
- 前記気体吹付/吸引部は、共通ブロアファンの吸気および排気を利用することを特徴とする請求項5又は6に記載の基板搬送装置。
- 前記気体吹付/吸引部の排気配管に設けられたフィルタを備え、前記ブロアファンにより吸い込まれたエアー中の異物を前記基板面に吹き付けられる前に除去することを特徴とする請求項5ないし7のいずれか1項に記載の基板搬送装置。
- 前記複数個の搬送コロの下面および側面を覆うフレームを備えることを特徴とする請求項5ないし8のいずれか1項に記載の基板搬送装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006137412A JP4987352B2 (ja) | 2006-05-17 | 2006-05-17 | 基板搬送装置 |
US11/798,090 US7568574B2 (en) | 2006-05-17 | 2007-05-10 | Substrate transportation method and apparatus |
CNA2007101041225A CN101074069A (zh) | 2006-05-17 | 2007-05-16 | 基板搬送方法和装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006137412A JP4987352B2 (ja) | 2006-05-17 | 2006-05-17 | 基板搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007308232A JP2007308232A (ja) | 2007-11-29 |
JP4987352B2 true JP4987352B2 (ja) | 2012-07-25 |
Family
ID=38790778
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006137412A Expired - Fee Related JP4987352B2 (ja) | 2006-05-17 | 2006-05-17 | 基板搬送装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7568574B2 (ja) |
JP (1) | JP4987352B2 (ja) |
CN (1) | CN101074069A (ja) |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101284604B (zh) * | 2008-05-21 | 2011-06-15 | 友达光电股份有限公司 | 除尘输送装置 |
EP2131243B1 (en) * | 2008-06-02 | 2015-07-01 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and method for calibrating a stage position |
JP4675401B2 (ja) * | 2008-08-29 | 2011-04-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置 |
US8800753B2 (en) * | 2009-09-10 | 2014-08-12 | Bdt Media Automation Gmbh | System for conveying an article using vortex suction units |
KR20140011776A (ko) * | 2012-07-19 | 2014-01-29 | 삼성전기주식회사 | 비접촉 멀티 이송 장치 및 이를 이용한 이물질 제거 방법 |
US9776809B1 (en) * | 2016-03-31 | 2017-10-03 | Core Flow Ltd. | Conveying system with vacuum wheel |
CN106697822B (zh) * | 2016-12-27 | 2019-05-31 | 佛山市顺德区颖川家具有限公司 | 一种新型防止板材粘黏装置 |
CN106743297B (zh) * | 2017-02-24 | 2019-05-28 | 重庆渝泰玻璃有限公司 | 玻璃输送辊 |
CN106950730A (zh) * | 2017-04-24 | 2017-07-14 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种吸气吹气装置及*** |
EP3665105B1 (en) * | 2017-08-09 | 2023-01-04 | Laitram, L.L.C. | Roller with nonlinear bore hole in a conveyor system |
JP2019042694A (ja) * | 2017-09-05 | 2019-03-22 | シャープ株式会社 | 基板処理装置 |
CN109550738A (zh) * | 2017-09-27 | 2019-04-02 | 深圳市泰利创斯科技有限公司 | 一种应用于产品清洁处理的旋转风刀结构及作业方法 |
CN108362115A (zh) * | 2018-04-16 | 2018-08-03 | 吴江市莘塔前进五金厂 | 一种输送式烘干装置 |
CN108861389B (zh) * | 2018-05-18 | 2020-06-12 | 京东方科技集团股份有限公司 | 传送机构 |
CN110508579A (zh) * | 2019-08-30 | 2019-11-29 | 湖南三德科技股份有限公司 | 一种升降旋转喷吹清扫装置 |
CN110803448B (zh) * | 2019-11-07 | 2021-07-13 | 安徽嘉禾整木家居有限公司 | 一种家具生产加工用下料机 |
KR20220015654A (ko) * | 2020-07-31 | 2022-02-08 | 로체 시스템즈(주) | 스토커의 랙 마스터 |
CN112059901B (zh) * | 2020-09-22 | 2021-09-07 | 苏州浩耐特磨具有限公司 | 一种交替除尘排尘打磨装置及方法 |
CN112371678A (zh) * | 2020-10-16 | 2021-02-19 | 河北光兴半导体技术有限公司 | 基板玻璃清洁装置 |
CN113003222A (zh) * | 2021-03-31 | 2021-06-22 | 无锡市江松科技有限公司 | 一种硅片夹取装置 |
CN113428582B (zh) * | 2021-08-27 | 2021-11-19 | 江苏德励达新材料股份有限公司 | 一种输料稳定的裁切机 |
CN115031515B (zh) * | 2022-05-10 | 2024-02-02 | 济宁海富光学科技有限公司 | 玻璃盖板烘干装置 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2773433A (en) * | 1951-12-13 | 1956-12-11 | Alfred Robertson | Suction box having roller face |
US3701412A (en) * | 1969-09-10 | 1972-10-31 | Alfred Wriedt | Device for the movement of articles with a flat,rigid,holding surface |
AU1709483A (en) * | 1982-07-16 | 1984-02-08 | Benisti Julien | Systeme antiglissant pour une bande d'entrainement deformableet son application aux pneumatiques, bandes transporteuses ouanalogues |
US5111930A (en) * | 1991-03-18 | 1992-05-12 | International Rolling Mill Consultants, Inc. | Non-warping table rolls |
JP3192759B2 (ja) * | 1992-06-10 | 2001-07-30 | オプトレックス株式会社 | 板状材のクリーニング装置及びクリーニング方法 |
JP3242484B2 (ja) * | 1993-03-29 | 2001-12-25 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | ガラス基板の乾燥装置 |
JP2581396B2 (ja) | 1993-06-23 | 1997-02-12 | 日本電気株式会社 | 基板乾燥装置 |
JPH08120468A (ja) * | 1994-10-24 | 1996-05-14 | Toppan Printing Co Ltd | 水平搬送型ウェット処理方法 |
US5781943A (en) * | 1997-03-13 | 1998-07-21 | Moenning; Stephen P. | Medical table and method for moving a patient from a first position to a second position |
JP2000015187A (ja) | 1998-07-07 | 2000-01-18 | Optrex Corp | 異物除去装置 |
US6363753B1 (en) * | 1998-12-03 | 2002-04-02 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Curved glass manufacturing apparatus with improved bending and conveyor units |
JP2002022359A (ja) | 2000-07-07 | 2002-01-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板の乾燥装置 |
JP3868223B2 (ja) * | 2001-04-27 | 2007-01-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置 |
JP3763125B2 (ja) * | 2001-07-03 | 2006-04-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
JP4056858B2 (ja) | 2001-11-12 | 2008-03-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
JP4349102B2 (ja) * | 2003-11-21 | 2009-10-21 | 株式会社Ihi | 基板搬送装置 |
-
2006
- 2006-05-17 JP JP2006137412A patent/JP4987352B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-05-10 US US11/798,090 patent/US7568574B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-05-16 CN CNA2007101041225A patent/CN101074069A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7568574B2 (en) | 2009-08-04 |
CN101074069A (zh) | 2007-11-21 |
US20070281449A1 (en) | 2007-12-06 |
JP2007308232A (ja) | 2007-11-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4987352B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
JP6420967B2 (ja) | 異物除去装置 | |
KR100854466B1 (ko) | 기판건조방법 및 기판건조장치 | |
JP2002274642A (ja) | 基板処理装置 | |
WO2011099222A1 (ja) | 基板処理装置 | |
JPH05253550A (ja) | 物品清浄装置 | |
TWI283441B (en) | Substrate treating device | |
US20080282500A1 (en) | Nozzle and dust removing apparatus | |
WO2005049238A1 (ja) | ダスト除去装置及びダスト除去方法 | |
JPH11115157A (ja) | プリント機械に供給される被プリント物をクリーニングする装置を備えているプリント装置 | |
TWI379375B (ja) | ||
JP2002361191A (ja) | 枚葉ワークの異物除去装置 | |
JP7055839B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP4509613B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP3763696B2 (ja) | フィルム基板の製造方法 | |
JP3388988B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JPS5843979Y2 (ja) | 附着異物吸引除去装置 | |
JP4663919B2 (ja) | 基板乾燥装置 | |
JP2004148764A (ja) | 段ボール箱等用の紙製品の製造処理装置 | |
KR100523039B1 (ko) | 기판이송장치 | |
JP2004074104A (ja) | 搬送除塵装置 | |
JPH08338686A (ja) | 基板乾燥方法及びその装置 | |
JP2005262088A (ja) | 支持体表面の防塵方法及び装置 | |
KR20190000865U (ko) | 기판세정장치 | |
JP2005194060A (ja) | 基板搬送装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20080226 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090310 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20091211 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20091215 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20100305 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110330 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20110531 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110805 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20111102 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20111108 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111111 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120330 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120425 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150511 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |