JP3192759B2 - 板状材のクリーニング装置及びクリーニング方法 - Google Patents
板状材のクリーニング装置及びクリーニング方法Info
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- JP3192759B2 JP3192759B2 JP17618292A JP17618292A JP3192759B2 JP 3192759 B2 JP3192759 B2 JP 3192759B2 JP 17618292 A JP17618292 A JP 17618292A JP 17618292 A JP17618292 A JP 17618292A JP 3192759 B2 JP3192759 B2 JP 3192759B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は板状材のクリーニング装
置及び方法に関する。
置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示素子に用いられるガラス基板等
の板状材をクリーニングする方法として、従来より、板
状材をベルト又はコロにより搬送する際にクリーンエア
を吹き付け、舞い上がったゴミを吸引するという、いわ
ゆるブローアンドバキュームの技術は広く利用されてい
る。
の板状材をクリーニングする方法として、従来より、板
状材をベルト又はコロにより搬送する際にクリーンエア
を吹き付け、舞い上がったゴミを吸引するという、いわ
ゆるブローアンドバキュームの技術は広く利用されてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ベルト、コロ
等による搬送ではブローによって板状材自身が浮き上が
り、バキュームにより吸い付けられてしまうという欠点
があることから、板状材の搬送には強固な真空吸着テー
ブル（以下、単にテーブルと呼ぶ。）で板状材を吸着
し、テーブルごと走行させるという方法が採用される。
このため、板状材の下面（テーブルに吸着される面）に
付着しているゴミは除去することができなかった。
等による搬送ではブローによって板状材自身が浮き上が
り、バキュームにより吸い付けられてしまうという欠点
があることから、板状材の搬送には強固な真空吸着テー
ブル（以下、単にテーブルと呼ぶ。）で板状材を吸着
し、テーブルごと走行させるという方法が採用される。
このため、板状材の下面（テーブルに吸着される面）に
付着しているゴミは除去することができなかった。
【０００４】また、従来法ではブローによって舞い上が
ったゴミをバキュームで完全に吸い取れず、板状材に再
付着するという欠点があった。すなわち、吹き出された
空気の一部はテーブルの搬送具（ボールねじ等）に吹き
付けられ、ここで発生したゴミ及び吸引しきれなかった
ゴミを舞い上がらせて板状材に再付着させることにな
る。これを回避するためには板状材の３倍程度の大きさ
のテーブルとし、吹き出し口下部をテーブルでさえぎる
構造にしておく必要があり、装置が大型化になる欠点も
あった。
ったゴミをバキュームで完全に吸い取れず、板状材に再
付着するという欠点があった。すなわち、吹き出された
空気の一部はテーブルの搬送具（ボールねじ等）に吹き
付けられ、ここで発生したゴミ及び吸引しきれなかった
ゴミを舞い上がらせて板状材に再付着させることにな
る。これを回避するためには板状材の３倍程度の大きさ
のテーブルとし、吹き出し口下部をテーブルでさえぎる
構造にしておく必要があり、装置が大型化になる欠点も
あった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、前述の問題点
を解決すべくなされたものであり、請求項１は、上部が
開口された箱体とその上部開口面近傍に配設された粘着
ローラーとを備えた板状材のクリーニング装置であっ
て、箱体内を負圧に保持する手段と、粘着ローラー上で
板状材が搬送され得るように粘着ローラーを駆動する手
段とを備え、箱体の内部に負圧が発生せしめられ、板状
材が粘着ローラーに押し付けられるようにされた板状材
のクリーニング装置である。請求項２は、粘着ローラー
の下方に粘着ローラーと接するようにクリーニングロー
ラーが配設された請求項１に記載の クリーニング装置で
ある。請求項３は、粘着ローラーが導電性の材料から作
製され、粘着ローラーの間をあけるように中間ローラー
が配設された請求項１又は２に記載のクリーニング装置
である。また、請求項４は、上部が開口された箱体の上
部開口面近傍に粘着ローラーを配設し、箱体の内部に負
圧を発生させ、板状材の下方から板状材を吸引して板状
材を粘着ローラーに押し付けるとともに、板状材を粘着
ローラー上で搬送することを特徴とする板状材のクリー
ニング方法である。さらに、請求項５は、板状材が電極
付ガラス基板である請求項４に記載のクリーニング方法
である。
を解決すべくなされたものであり、請求項１は、上部が
開口された箱体とその上部開口面近傍に配設された粘着
ローラーとを備えた板状材のクリーニング装置であっ
て、箱体内を負圧に保持する手段と、粘着ローラー上で
板状材が搬送され得るように粘着ローラーを駆動する手
段とを備え、箱体の内部に負圧が発生せしめられ、板状
材が粘着ローラーに押し付けられるようにされた板状材
のクリーニング装置である。請求項２は、粘着ローラー
の下方に粘着ローラーと接するようにクリーニングロー
ラーが配設された請求項１に記載の クリーニング装置で
ある。請求項３は、粘着ローラーが導電性の材料から作
製され、粘着ローラーの間をあけるように中間ローラー
が配設された請求項１又は２に記載のクリーニング装置
である。また、請求項４は、上部が開口された箱体の上
部開口面近傍に粘着ローラーを配設し、箱体の内部に負
圧を発生させ、板状材の下方から板状材を吸引して板状
材を粘着ローラーに押し付けるとともに、板状材を粘着
ローラー上で搬送することを特徴とする板状材のクリー
ニング方法である。さらに、請求項５は、板状材が電極
付ガラス基板である請求項４に記載のクリーニング方法
である。
【０００６】請求項１に記載のクリーニング装置及び請
求項４に記載のクリーニング方法の構成を採用すること
により以下のような効果がもたらされる。 （１）負圧を発生させたことにより板状材を粘着ローラ
ーに均一に一定圧力で押し付けながら搬送でき、単に板
状材の自重によって粘着ローラーに押し付けるよりゴミ
の除去効率が高い。 （２）負圧を発生させることにより、ブローアンドバキ
ュームによるクリーニングを行っても板状材が浮き上が
ることが防止できる。 （３）搬送に吸着テーブルを必要とせず、省スペースで
ある。 （４）板状材の上下面を同時にクリーニングすることが
できる。また、請求項２に記載のクリーニング装置の構
成を採用することにより、粘着ローラーに付着したゴミ
をクリーニングローラーに転写させ、板状材下面には常
にクリーンな粘着ロール面が接触するようになる。さら
に、請求項３に記載のクリーニング装置の構成を採用す
ることにより、静電気によるゴミの再付着を防止でき
る。そして、請求項５に記載のクリーニング方法の構成
を採用することにより、液晶表示素子等に用いられる電
極付ガラス基板の裏面のゴミを効率よく除去できる。
求項４に記載のクリーニング方法の構成を採用すること
により以下のような効果がもたらされる。 （１）負圧を発生させたことにより板状材を粘着ローラ
ーに均一に一定圧力で押し付けながら搬送でき、単に板
状材の自重によって粘着ローラーに押し付けるよりゴミ
の除去効率が高い。 （２）負圧を発生させることにより、ブローアンドバキ
ュームによるクリーニングを行っても板状材が浮き上が
ることが防止できる。 （３）搬送に吸着テーブルを必要とせず、省スペースで
ある。 （４）板状材の上下面を同時にクリーニングすることが
できる。また、請求項２に記載のクリーニング装置の構
成を採用することにより、粘着ローラーに付着したゴミ
をクリーニングローラーに転写させ、板状材下面には常
にクリーンな粘着ロール面が接触するようになる。さら
に、請求項３に記載のクリーニング装置の構成を採用す
ることにより、静電気によるゴミの再付着を防止でき
る。そして、請求項５に記載のクリーニング方法の構成
を採用することにより、液晶表示素子等に用いられる電
極付ガラス基板の裏面のゴミを効率よく除去できる。
【０００７】
【実施例】以下本発明の実施例について図１〜図３に基
づき説明する。図１、図２において１はブローアンドバ
キュームのユニットであり従来より使用されているもの
である。２はクリーニングの対象となるワークで、本例
においてはガラス板を使用した。３は箱体、４はスペー
サ、５は中間ローラー、６は粘着ローラー、７はクリー
ニングローラーを示している。
づき説明する。図１、図２において１はブローアンドバ
キュームのユニットであり従来より使用されているもの
である。２はクリーニングの対象となるワークで、本例
においてはガラス板を使用した。３は箱体、４はスペー
サ、５は中間ローラー、６は粘着ローラー、７はクリー
ニングローラーを示している。
【０００８】箱体３の下部からブロワ装置等により吸引
を行うと、箱体内が負圧になり、中間ローラー５と粘着
ローラー６の間隙ａ及びローラーと箱体の間隙ｂから大
量の空気が箱体内に流入する。その状態にある時にガラ
ス板２が搬送されてくると、中間ローラー５と粘着ロー
ラー６に囲まれた部分８が外気に対して負圧になり、ガ
ラス板２が粘着ローラー６に押し付けられる力が作用す
る。
を行うと、箱体内が負圧になり、中間ローラー５と粘着
ローラー６の間隙ａ及びローラーと箱体の間隙ｂから大
量の空気が箱体内に流入する。その状態にある時にガラ
ス板２が搬送されてくると、中間ローラー５と粘着ロー
ラー６に囲まれた部分８が外気に対して負圧になり、ガ
ラス板２が粘着ローラー６に押し付けられる力が作用す
る。
【０００９】これによりガラス板２の下面のゴミが粘着
ローラー６によって除去される。スぺーサ４はガラス板
の端部と箱体の間に形成される大きな空間を埋めて、箱
体３内の負圧保持を容易にするもので、ガラス板２の幅
より小さい箱体を使用する場合には必要ない。
ローラー６によって除去される。スぺーサ４はガラス板
の端部と箱体の間に形成される大きな空間を埋めて、箱
体３内の負圧保持を容易にするもので、ガラス板２の幅
より小さい箱体を使用する場合には必要ない。
【００１０】クリーニングローラー７は粘着ローラーよ
りさらに強い粘着力を有する材料で製作し、粘着ローラ
ー６に付着したゴミを転写し、ガラス板の下面には常に
クリーンな粘着ロール面が接触するようにしたものであ
る。
りさらに強い粘着力を有する材料で製作し、粘着ローラ
ー６に付着したゴミを転写し、ガラス板の下面には常に
クリーンな粘着ロール面が接触するようにしたものであ
る。
【００１１】なお、本装置を通過させたガラス板には静
電気の帯電が認められることがあるため、装置通過直後
に静電気除去を行うために、静電気除去装置（図示せ
ず）を取り付けるか又は粘着ローラー６及び中間ローラ
ー５を導電性の材料で製作し、静電気によるゴミの再付
着を防止することが望ましい。
電気の帯電が認められることがあるため、装置通過直後
に静電気除去を行うために、静電気除去装置（図示せ
ず）を取り付けるか又は粘着ローラー６及び中間ローラ
ー５を導電性の材料で製作し、静電気によるゴミの再付
着を防止することが望ましい。
【００１２】また、中間ローラー５は、粘着ローラー６
の間隔をあけることによりクリーニングローラー７の設
置、交換等を容易とするために使用されるものであっ
て、必ずしも用いなくともよい。ただし、中間ローラー
の存在する部分にローラーをなくしてしまうと、板状体
に対するローラーによる支持点数が減るため、板状体の
たわみ、両端のそりなどが生ずるおそれがある。また、
中間ローラーをすべて粘着ローラーにおきかえると、ク
リーニングローラーの脱着が困難になるなどの問題点が
生じることもあり、図２に示したように配設することが
最も好ましい。
の間隔をあけることによりクリーニングローラー７の設
置、交換等を容易とするために使用されるものであっ
て、必ずしも用いなくともよい。ただし、中間ローラー
の存在する部分にローラーをなくしてしまうと、板状体
に対するローラーによる支持点数が減るため、板状体の
たわみ、両端のそりなどが生ずるおそれがある。また、
中間ローラーをすべて粘着ローラーにおきかえると、ク
リーニングローラーの脱着が困難になるなどの問題点が
生じることもあり、図２に示したように配設することが
最も好ましい。
【００１３】図３における間隔ａ、ｂ、ｃをそれぞれ
０．５ｍｍとし、静圧７００ｍｍＡｑのブロワで箱体内
の空気を吸引した場合３０ｃｍ×４０ｃｍ（１２００ｃ
ｍ2）のガラス板に生じる押し付け力は５ｋｇｆであっ
た。この装置を液晶表示素子製造工程中にガラス板に付
着するラビング布の除去に適用した。その結果、ガラス
板裏表全体で９０％の除去率を示した。
０．５ｍｍとし、静圧７００ｍｍＡｑのブロワで箱体内
の空気を吸引した場合３０ｃｍ×４０ｃｍ（１２００ｃ
ｍ2）のガラス板に生じる押し付け力は５ｋｇｆであっ
た。この装置を液晶表示素子製造工程中にガラス板に付
着するラビング布の除去に適用した。その結果、ガラス
板裏表全体で９０％の除去率を示した。
【００１４】
【発明の効果】本発明は省スペースを達成できるだけで
なく、板状材の表裏両面を同時にクリーニングできると
いう優れた効果を有し、特に前述のラビング布の除去に
関して、従来は液中洗浄を用いていたが、本発明によれ
ば乾式化できるという効果も認められる。
なく、板状材の表裏両面を同時にクリーニングできると
いう優れた効果を有し、特に前述のラビング布の除去に
関して、従来は液中洗浄を用いていたが、本発明によれ
ば乾式化できるという効果も認められる。
【００１５】また、下方から板状材を吸引するので、板
状材の浮き上がりを防止するとともに、板状材が粘着ロ
ーラーに効果的に押し付けられるので、ゴミの除去効率
が高いという効果もある。
状材の浮き上がりを防止するとともに、板状材が粘着ロ
ーラーに効果的に押し付けられるので、ゴミの除去効率
が高いという効果もある。
【図１】本発明のクリーニング装置の平面図である。
【図２】本発明のクリーニング装置の断面図である。
【図３】本発明のクリーニング装置の部分拡大断面図で
ある。
ある。
１：ブローアンドバキュームユニット ２：ガラス板 ３：箱体 ４：スペーサ ５：中間ローラー ６：粘着ローラー ７：クリーニングローラー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02F 1/1333 500 B08B 11/04 G02F 1/13 101
Claims (5)
- 【請求項１】上部が開口された箱体とその上部開口面近
傍に配設された粘着ローラーとを備えた板状材のクリー
ニング装置であって、箱体内を負圧に保持する手段と、
粘着ローラー上で板状材が搬送され得るように粘着ロー
ラーを駆動する手段とを備え、箱体の内部に負圧が発生
せしめられ、板状材が粘着ローラーに押し付けられるよ
うにされた板状材のクリーニング装置。 - 【請求項２】粘着ローラーの下方に粘着ローラーと接す
るようにクリーニングローラーが配設された請求項１に
記載の板状材のクリーニング装置。 - 【請求項３】粘着ローラーが導電性の材料から作製さ
れ、粘着ローラーの間をあけるように中間ローラーが配
設された請求項１又は２に記載の板状材のクリーニング
装置。 - 【請求項４】上部が開口された箱体の上部開口面近傍に
粘着ローラーを配設し、箱体の内部に負圧を発生させ、
板状材を下方から吸引して板状材を粘着ローラーに押し
付けるとともに、板状材を粘着ローラー上で搬送するこ
とを特徴とする板状材のクリーニング方法。 - 【請求項５】板状材が電極付ガラス基板である請求項４
に記載の板状材のクリーニング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17618292A JP3192759B2 (ja) | 1992-06-10 | 1992-06-10 | 板状材のクリーニング装置及びクリーニング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17618292A JP3192759B2 (ja) | 1992-06-10 | 1992-06-10 | 板状材のクリーニング装置及びクリーニング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05341278A JPH05341278A (ja) | 1993-12-24 |
| JP3192759B2 true JP3192759B2 (ja) | 2001-07-30 |
Family
ID=16009090
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17618292A Expired - Fee Related JP3192759B2 (ja) | 1992-06-10 | 1992-06-10 | 板状材のクリーニング装置及びクリーニング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3192759B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106773166A (zh) * | 2016-12-27 | 2017-05-31 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种用于清洗液晶面板的清洗设备 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4987352B2 (ja) * | 2006-05-17 | 2012-07-25 | ゲットナー・ファンデーション・エルエルシー | 基板搬送装置 |
| JP4753920B2 (ja) * | 2007-08-30 | 2011-08-24 | Ｓｄフューチャーテクノロジー株式会社 | 基板用除塵装置 |
| CN102989732A (zh) * | 2012-11-12 | 2013-03-27 | 彩虹（张家港）平板显示有限公司 | 一种离子风幕除尘方法 |
| JP6408269B2 (ja) * | 2014-07-07 | 2018-10-17 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 半導体チップの実装装置 |
| JP6657275B2 (ja) * | 2018-02-13 | 2020-03-04 | シャープ株式会社 | 液晶パネル用基板の製造方法 |
| CN114195406B (zh) * | 2021-12-28 | 2023-07-11 | 安徽鸿玻玻璃科技有限公司 | 一种防辐射型钢化玻璃钢化冷却后用烘干设备 |
-
1992
- 1992-06-10 JP JP17618292A patent/JP3192759B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106773166A (zh) * | 2016-12-27 | 2017-05-31 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种用于清洗液晶面板的清洗设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05341278A (ja) | 1993-12-24 |
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