JP4986921B2 - ルツボリフト装置 - Google Patents
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Description
〔1〕ルツボの開口部に密着する蓋材と、該蓋材によって密封されたルツボの内部空間を減圧する手段と、上記蓋材の上下動手段を有し、内部空間が減圧されたルツボを蓋材と一体化に持上げることを特徴とするルツボリフト装置。
〔2〕シリコン結晶の引上げに用いる石英ガラスルツボについて、モールドに装着された石英ガラスルツボの開口部に蓋材を密閉し、該ルツボの内部空間を減圧して該ルツボをモールドから取り出す上記[1]のルツボリフト装置。
〔3〕スタンドと、該スタンド上端の梁部から上下動する手段を有するクレーン装置により連結された蓋材と、該蓋材を通過してルツボ内部空間に開口する吸引ダクトと、該吸引ダクトに接続した減圧装置を有する上記[1]または上記[2]に記載するルツボリフト装置。
〔4〕ルツボ開口部に密着する緩衝材が蓋材の周縁に設けられている上記[1]〜上記[3]の何れかに記載するルツボリフト装置
〔5〕モールド上端部に係合するアームが連結プレートに装着されており、ルツボの上下動とは独立に、上記アームをモールド上端部に係合してモールドの持上げが可能な上記[1]〜上記[4]の何れかに記載するルツボリフト装置。
〔6〕ルツボの開口部に密着する蓋材と、該蓋材によって密封されたルツボの内部空間を減圧する手段と、上記蓋材の昇降動手段を有し、内部空間が減圧されたルツボを蓋材と一体化に持上げるルツボリフト装置を用い、ルツボ開口部に蓋材を密着して内部空間を減圧し、一方、ルツボが装着されているモールドの通気孔を通じてモールドとルツボの間に圧縮空気を導入して、ルツボを蓋材と一体にモールドから引き上げることを特徴とするルツボの取り出し方法。
本発明のルツボリフト装置は、ルツボの開口部に密着する蓋材と、該蓋材によって密封されたルツボの内部空間を減圧する手段と、上記蓋材の上下動手段を有し、内部空間が減圧されたルツボを蓋材と一体化に持上げることを特徴とするルツボリフト装置である。本発明のルツボリフト装置は、シリコン結晶の引上げに用いる石英ガラスルツボについて、モールドに装着された石英ガラスルツボをモールドから取り出す装置として好適である。
Claims (1)
- シリコン結晶の引上げに用いる石英ガラスルツボが装着されるモールドと、該モールドに装着されたルツボの開口部を密閉する蓋材と、該蓋材の周縁に設けられてルツボの開口部に密着する緩衝材と、該蓋材によって密封されたルツボの内部空間を減圧する減圧手段と、上記蓋材の上下動手段を有するクレーン装置と、該クレーン装置を固定するスタンドと、上記蓋材と共に上下動する連結プレートと、該連結プレートに装着されたアームとを備え、
前記減圧手段は、該蓋材を通過してルツボ内部空間に開口する吸引ダクトと、該吸引ダクトに接続した減圧装置とを有し、
内部空間が減圧されたルツボを蓋材と一体的に持上げて該ルツボをモールドから取り出すとともに、上記アームをモールド上端部に係合した状態で上記連結プレートを引き上げることにより、ルツボの取り出しとは独立に、モールドの持上げが可能であることを特徴とするルツボリフト装置。
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