JP4775343B2 - 石英ルツボ及び多結晶シリコンの回収方法およびその装置 - Google Patents
石英ルツボ及び多結晶シリコンの回収方法およびその装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4775343B2 JP4775343B2 JP2007209196A JP2007209196A JP4775343B2 JP 4775343 B2 JP4775343 B2 JP 4775343B2 JP 2007209196 A JP2007209196 A JP 2007209196A JP 2007209196 A JP2007209196 A JP 2007209196A JP 4775343 B2 JP4775343 B2 JP 4775343B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz crucible
- crucible
- polycrystalline silicon
- graphite crucible
- graphite
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000010453 quartz Substances 0.000 title claims description 100
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 100
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 title claims description 53
- 238000011084 recovery Methods 0.000 title claims description 46
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 22
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 84
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 82
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 82
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 33
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 19
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 9
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 16
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
ここで、単結晶を引上げた後、原料融液を保持していた石英ルツボおよび残湯が固まった多結晶シリコンは再使用することができないため、廃棄される。しかし、それを支持していた黒鉛ルツボは再使用することが可能であるため、黒鉛ルツボの内部に支持されている石英ルツボと、石英ルツボ内に残留している多結晶シリコンのみを、黒鉛ルツボ内部より回収・廃棄する必要がある。
従来のような、石英ルツボを破砕し、中の多結晶シリコンごと作業者の手作業によって回収する方法に比べ、本発明の回収方法は、石英ルツボを破砕する必要が無く、非常に安全であり、また黒鉛ルツボ内から破片を取り出す手間を無くすことができ、作業者の負担を大幅に軽減することができる回収方法となっている。
さらに、黒鉛ルツボを破壊する危険性を大幅に低減させることができるため、容易に再利用することが可能である。
2分割可能な黒鉛ルツボの隙間に、このような立て爪が挿入されるように黒鉛ルツボをテーブル上に載置することで、黒鉛ルツボを容易に2分割することが可能となり、石英ルツボ及び多結晶シリコンをより容易に回収することができる。
このように、テーブルを開閉する機構の駆動源は、手動式または電動式とすることができ、いずれでもテーブルの開閉を容易に行うことができ、つまり黒鉛ルツボを容易に2分割することができ、石英ルツボ及び多結晶シリコンを容易に回収することができる。
石英ルツボ及び多結晶シリコンを回収した後の回収容器は、非常に重量がある物となり得るため、このように、これを移送するための機構を備えることが好ましい。
このように、回収容器を移送するための機構として、少なくともリフター及び/またはコンベアを備えることで、回収容器の移送をスムーズにかつ効率的に行うことができる。
前述のように、シリコン単結晶引上げ後の石英ルツボおよび石英ルツボ内に残留した多結晶シリコンを、該ルツボを支持した黒鉛ルツボを破壊せず、その内から安全かつ効率的に回収する方法及び回収装置の開発が待たれていた。
図1は、本発明の石英ルツボ及び多結晶シリコンの回収装置の一例を示す図である。そして図2は、黒鉛ルツボを載置するテーブルを左右に開いた際の状態の一例を示した図である。
図1、図2に例示した本発明の回収装置は、少なくとも、黒鉛ルツボ1を載置するための開閉テーブル9と、そのテーブル9を開閉する機構11と、石英ルツボ2及び多結晶シリコン3を回収するための回収容器4とを備えるものである。
このようにテーブルの開閉部のエッジを立て爪形状にして、2分割可能な黒鉛ルツボの隙間に立て爪が挿入されるように黒鉛ルツボを載置することで、黒鉛ルツボを容易に左右に開くことが可能となる。つまり、石英ルツボ及び多結晶シリコンをより容易に黒鉛ルツボより落下・回収することができる。
そしてこの立て爪形状の高さは、爪を黒鉛ルツボの隙間に挿入したときに、黒鉛ルツボから石英ルツボを浮かすために、黒鉛ルツボの底部厚みより+5〜10mm程度高くすることが望ましい。
また、立て爪の形状は、図3に示したように、石英ルツボの底部の楕円形状に合わせた半径を有するものとすることが望ましい。図3は本発明におけるテーブルの開閉部のエッジの形状の一例を示した図である。このような形状とすることで、黒鉛ルツボの隙間に立て爪を挿入した時に石英ルツボを楽に浮かすことができる。
すなわち、開閉テーブル9を、閉から開にスライドさせることで黒鉛ルツボを機械的に開かせる駆動源として、例えば手動でハンドルを回すことにより、テーブルを左右にスライドさせるようにしてもよいし、モーターを用いて電動でテーブルをスライドするようにしてもよい。手動式であれば、簡単でありコストも低い。電動式であれば、作業性がよいという利点がある。
このようにテーブルを開閉する機構11を、手動式または電動式で駆動することで、テーブルの開閉を容易に行うことができ、つまり黒鉛ルツボを容易に機械的に開き、石英ルツボ及び多結晶シリコンを容易に回収することができる。
石英ルツボ及び多結晶シリコンを回収した後の回収容器は、非常な重量物となり得るため、このように、回収容器を移送するための機構を備えることで、回収容器の移動を容易にすることがでる。また、空の回収容器もこのような移送手段によって容易に移送することができるため、回収後の容器を元の位置に移送することも容易となる。
このリフター5は、回収容器4を上下動させることが出来るようになっており、回収済みの容器を2階から1階に移送し、あるいは、空の容器を1階から2階の回収位置に移送することができる。また、1階にある容器4は、コンベア7で搬送、搬入することで、所定の位置に移送できるようになっている。別途搬入専用コンベア6を設けてもよい。
このように、少なくともリフター及び/またはコンベアを備えることで、回収容器の移送をスムーズにかつ容易に行うことができる。
CZ法によって、単結晶を引上げ後、原料融液を保持していた石英ルツボ2及び石英ルツボ内に残留した残湯は、黒鉛ルツボ1内に支持されている。
シリコン単結晶の引上げが終了した後、石英ルツボ2及び原料融液の残湯(黒鉛ルツボ1も同様)は、非常に高温であるため、放置冷却する。
このとき、ルツボ吊り上げ治具として、例えば特開平5−286685号公報に記載されたものと同じものを用いることができる。
ここで、テーブル9に黒鉛ルツボ1を載置する際、黒鉛ルツボ1の2分割される隙間に、テーブル開閉部の立て爪10を挿入するようにセットすることができる。
ここで、テーブルを開閉する機構の駆動は、前述のように手動でハンドル等で歯車を回す構造、モーター等を用いて電動で開閉する構造等、手動式や電動式とすることができる。
石英ルツボ及び多結晶シリコンを回収した後の回収容器は、非常な重量物であるため、このように、回収容器を移送するための機構を備えることで、回収容器の移動を容易にすることができる。また、空の回収容器もこのような移送手段によって容易に搬入して移送することができる。
また、空の回収容器や回収済みの回収容器をコンベア等に複数個ストックすることが望ましい。これによって回収の度に回収容器をコンベア等の移送機構にセットする必要がなくなり、作業効率をより一層改善することができる。
これによって、従来のような、石英ルツボを破砕し中の多結晶シリコンもろとも作業者の手作業によって回収する方法に比べ、石英ルツボを破砕する必要を無くしたため、非常に安全なものとすることができる。また黒鉛ルツボ内から破片を取り出す手間を省くことができ、作業者の負担を大幅に軽減することができ、回収効率を大幅に向上させることができる。
さらに、黒鉛ルツボを破壊する危険性を大幅に低減させることができるため、容易に再利用することが可能である。
21…メインチャンバー、 22…引上げチャンバー、 23…単結晶、 24…原料融液、 25…石英ルツボ、 26…黒鉛ルツボ、 27…ヒーター、 28…断熱部材、 29…ガス流出口、 30…ガス導入口、 31…ガス整流筒、 32…遮熱部材、 33…ワイヤー、 34…種ホルダー、 35…種結晶、 36…シャフト。
Claims (6)
- チョクラルスキー法において、2分割可能な黒鉛ルツボに支持された石英ルツボ内のシリコン融液からシリコン単結晶の引上げを終了した後、前記石英ルツボおよび前記シリコン融液の残湯が冷却して固まった多結晶シリコンを前記黒鉛ルツボから回収するための回収方法であって、
前記シリコン単結晶の引上げを終了した後、前記石英ルツボおよび前記多結晶シリコンを支持する前記黒鉛ルツボを左右開閉式のテーブルの上に載置し、前記テーブルを左右に機械的に開くことで前記2分割可能な黒鉛ルツボを左右に開かせ、該黒鉛ルツボ内に支持されていた石英ルツボおよび該石英ルツボ内に残留した多結晶シリコンを前記テーブルの下に設置した回収容器内に落下させることで、前記石英ルツボ及び前記多結晶シリコンを回収することを特徴とする石英ルツボ及び多結晶シリコンの回収方法。 - チョクラルスキー法によって、2分割可能な黒鉛ルツボに支持された石英ルツボ内のシリコン融液からシリコン単結晶を引上げた後に、前記石英ルツボおよび前記シリコン融液の残湯が冷却し固まった多結晶シリコンを前記黒鉛ルツボ内から回収するための回収装置であって、
少なくとも、左右開閉式のテーブルと、該テーブルを開閉する機構と、前記石英ルツボおよび前記多結晶シリコンを回収する回収容器とを備えるものであって、
前記テーブルは前記2分割可能な黒鉛ルツボを載置するものであって、
前記開閉する機構によって前記テーブルが左右に機械的に開かれると、前記黒鉛ルツボも左右に開かれるものであり、
前記黒鉛ルツボを左右に開かせることで、該黒鉛ルツボに支持されていた前記石英ルツボおよび該石英ルツボ内に残留している前記多結晶シリコンを、前記テーブルの下に設置した前記回収容器内に落下させて回収するものであることを特徴とする石英ルツボ及び多結晶シリコンの回収装置。 - 前記左右開閉式のテーブルは、開閉部のエッジが立て爪形状になっていることを特徴とする請求項2に記載の石英ルツボ及び多結晶シリコンの回収装置。
- 前記テーブルを開閉する機構は、手動開閉式または電動開閉式であることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の石英ルツボ及び多結晶シリコンの回収装置。
- 前記回収する容器を移送するための機構を備えたものであることを特徴とする請求項2ないし請求項4のいずれか1項に記載の石英ルツボ及び多結晶シリコンの回収装置。
- 前記移送するための機構は、少なくともリフター及び/またはコンベアを備えたものであることを特徴とする請求項5に記載の石英ルツボ及び多結晶シリコンの回収装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007209196A JP4775343B2 (ja) | 2007-08-10 | 2007-08-10 | 石英ルツボ及び多結晶シリコンの回収方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007209196A JP4775343B2 (ja) | 2007-08-10 | 2007-08-10 | 石英ルツボ及び多結晶シリコンの回収方法およびその装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009040654A JP2009040654A (ja) | 2009-02-26 |
JP4775343B2 true JP4775343B2 (ja) | 2011-09-21 |
Family
ID=40441805
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007209196A Active JP4775343B2 (ja) | 2007-08-10 | 2007-08-10 | 石英ルツボ及び多結晶シリコンの回収方法およびその装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4775343B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114032617B (zh) * | 2021-11-09 | 2023-12-26 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 一种碳化硅晶体生长炉装料取晶体的动作*** |
CN115595654B (zh) * | 2022-09-08 | 2023-05-05 | 吉林龙昌新能源有限责任公司 | 一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09165290A (ja) * | 1995-12-15 | 1997-06-24 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | 半導体単結晶引き上げ装置の黒鉛るつぼおよびるつぼのハンドリング方法 |
JP3250138B2 (ja) * | 1996-01-12 | 2002-01-28 | 三菱マテリアル株式会社 | 引上げ装置用黒鉛るつぼ |
JPH09208400A (ja) * | 1996-02-06 | 1997-08-12 | Sumitomo Sitix Corp | 坩堝搬送台車 |
JP3023788B1 (ja) * | 1999-05-10 | 2000-03-21 | 株式会社藤森技術研究所 | 単結晶半導体の製造装置における内槽ルツボの分離方法及びその分離部材 |
JP4994527B2 (ja) * | 2000-07-13 | 2012-08-08 | Sumco Techxiv株式会社 | 坩堝ハンドリング装置および坩堝ハンドリングキット |
JP2005179153A (ja) * | 2003-12-22 | 2005-07-07 | Kyocera Corp | 黒鉛坩堝吊り下げ治具 |
-
2007
- 2007-08-10 JP JP2007209196A patent/JP4775343B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009040654A (ja) | 2009-02-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4689373B2 (ja) | シリコンの再利用方法 | |
US20200407874A1 (en) | Method for purification of silicon | |
JP6165994B2 (ja) | シリコンロッドの受け取りおよび運搬のための装置、ならびに多結晶シリコンを作製するための方法 | |
EP2324148A1 (en) | Apparatus and method of use for casting system with independent melting and solidification | |
JP2008503427A (ja) | 結晶製造装置に溶融ソース材料を装入する方法および溶融装置アッセンブリ | |
US20110104036A1 (en) | Method and apparatus for purifying metallurgical grade silicon by directional solidification and for obtaining silicon ingots for photovoltaic use | |
US20130219967A1 (en) | Method and device for producing polycrystalline silicon blocks | |
JP4775343B2 (ja) | 石英ルツボ及び多結晶シリコンの回収方法およびその装置 | |
JP2010083685A (ja) | 原料供給装置、単結晶製造装置および単結晶の製造方法 | |
JP4187892B2 (ja) | 金属の精製装置及び精製方法 | |
JP4562139B2 (ja) | 単結晶引上装置及び原料シリコン充填方法 | |
US4461671A (en) | Process for the manufacture of semiconductor wafers | |
JP4957731B2 (ja) | ルツボハンドリング装置 | |
JP3158328B2 (ja) | 単結晶引上装置用原料組み込み方法及び装置 | |
CN112048763B (zh) | 多晶硅二次加料装置、多晶硅铸锭设备 | |
JP2008087995A (ja) | 単結晶引上装置 | |
JP2005231969A (ja) | シリコン単結晶の育成装置 | |
US4485072A (en) | Apparatus and method of growing and discharging single crystals | |
JP2001226190A (ja) | 石英ルツボ回収方法 | |
KR100977614B1 (ko) | 잉곳 성장 공정 후 발생한 잔류물 분리 장치 | |
US20240208829A1 (en) | Method for obtaining purified silicon metal | |
JPH0640592Y2 (ja) | シリコン単結晶の成長装置 | |
JP2005200279A (ja) | シリコンインゴットの製造方法、太陽電池 | |
KR20130006815A (ko) | 실리콘 시드를 이용한 실리콘 잉곳 제조방법 | |
JP5849932B2 (ja) | チャージ方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100114 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110524 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110531 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110613 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4775343 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140708 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |