JP4982766B2 - 熱電特性計測用センサ - Google Patents
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Description
(イ)測定試料の製作に時間を要する
(ロ)異種金属の混入に伴う熱起電力測定に不確かさが存在する
(ハ)銀ペーストの温度応答遅延に伴う熱拡散率測定の不確かさが存在する
といった問題がある。
10 基材
12,14,16,18,20 配線(リード)
22,24,26,28 コンタクト部
30 ヒータ
40 開口部
50 試料ホルダ
52 試料
541〜544 バネ接触プローブ
561〜564 アクリルねじ
60 ロックインアンプ
62 温度測定用マルチメータ
64 ナノボルトメータ
66 マルチメータ
68,74 スイッチボックス
76 パーソナルコンピュータ
Claims (9)
- 試料の複数の熱電特性を計測するための熱電特性計測用センサであって、
フィルム状の基材と、
前記基材の内部に所定間隔で直線状に配置された少なくとも4つの電極と、
前記基材の内部に設けられ、前記各電極をリードに電気的に接続する配線と、
前記基材の表裏の一方の側の各電極位置に、当該電極が試料に露出するよう設けられた開口部とを含み、
前記電極のうち少なくとも1つは、複数の配線を有する熱電対で構成されていることを特徴とする熱電特性計測用センサ。 - さらに、前記基材内部の前記少なくとも4つの電極の近傍に設けられ前記試料を加熱するようにされたヒータと、前記基材内部に設けられ当該ヒータに電気的に接続する配線とが設けられた、請求項1に記載の熱電特性測定用センサ。
- 前記基材は、第1層及び第2層からなり、前記各電極及び各配線は、第1層と第2層の間に形成されたものである、請求項1又は2に記載の熱電特性測定用センサ。
- 前記各電極及び各配線は、前記基材の第1層に蒸着により形成されたものである、請求項3に記載の熱電特性測定用センサ。
- 前記基材の材質はポリイミドである、請求項1乃至4のうちいずれか一項に記載の熱電特性測定用センサ。
- 前記熱電特性には、ゼーベック係数、熱伝導率、および比抵抗が含まれる、請求項1乃至5のうちいずれか一項に記載の熱電特性測定用センサ。
- 請求項1乃至6のうちいずれか一項に記載の熱電特性測定用センサと共に試料を保持する試料ホルダであって、
前記各電極に対応する位置にそれぞれ設けられ、対応する電極と試料とを挟んで保持する保持手段を有することを特徴とする試料ホルダ。 - 試料の複数の熱電特性を計測するための熱電特性計測用センサを作成する方法であって、
基材の第1層に、所定間隔で直線状に配置された少なくとも4つの電極及び各電極に対応した配線を、蒸着により形成する工程と、
基材の第2層において、前記各電極に対応する位置に開口部を穿設する工程と、
第1層の前記電極及び配線が形成された側に、対応する電極と開口部とを位置合わせして、基材の第2層を貼り合わせる工程と、
を含み、前記電極のうち少なくとも1つは、複数の配線を有する熱電対で構成されていることを特徴とする方法。 - 前記基材の材質はポリイミドである、請求項8に記載の方法。
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