JP4982213B2 - 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 - Google Patents
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Description
前記撮影手段により撮影された被検査対象の画像を入力画像とし、前記欠陥パターン付き部分画像をテンプレートとして、テンプレートマッチングを行うテンプレートマッチング手段と、前記テンプレートマッチング手段から出力された評価値を元に欠陥の有無を判定する欠陥の有無判定手段とを有することにより達成される。
式(1)は、相関による評価式であり、この式(1)において、
val は求まる評価値、
T(i,j)は、テンプレートのi行j列にある画素の輝度値、
G(i,j)は、検査対象を撮影した画像の中から着目したテンプレートと同じサイズの部分画像を切り出した部分画像のi行j列にある画素の輝度値、
htは、テンプレートの平均輝度値、すなわち、ht=ΣT(i,j)/(Nx・Ny)、
hgは、着目した部分画像の平均輝度値、すなわち、hg=ΣG(i,j)/(Nx・Ny)、
Nxは、テンプレートの行サイズ、Nyは、テンプレートの列サイズ、
|T-ht|は、テンプレート全体の平均輝度からの差の大きさ、すなわち、
|T-ht|=sqrt(Σ(T(i,j)-ht)*(T(i,j)-ht))、
|G-hg|は、部分画像全体の平均輝度からの差の大きさ、すなわち、
|G-hg|=sqrt(Σ(G(i,j)-hg)*(G(i,j)-hg))、
sqrtは、ルート、
Σは、i行j列について全ての組み合わせの総和を意味する。
式(2)は積和による評価式であり、前述した非特許文献では「距離」である。この式(2)における各項の意味は、式(1)の場合と同一である。
式(3)は差の2乗和による評価式であり、この式(3)における各項の意味は、式(1)の場合と同一である。
式(4)は平均からの差の2乗和による評価式であり、この式(4)における各項の意味は、式(1)の場合と同一である。
式(5)において、
A(i,j)は、検査部位102のi行j列にある画素の輝度値、
B(i,j)は、発生しやすい欠陥パターン103のi行j列にある画素の輝度値、
C(i,j)は、単純加算してできた画素値、
(i,j)は、画像の着目する画素の位置である。
式(6)において、αは、重み係数であり、α=1の場合が、式(5)の単純加算に相当することになる。
102 検査部位
103 欠陥パターン
104 欠陥パターン付きテンプレート
105 形状設定パネル
106 数値入力ボックス
110 表示画面
201 ステージ
202 検査対象
203 撮影装置
204 計算装置
205 表示装置
210 CPU
211 HDD
212 入力装置
213 メインメモリ
214 製造所望画像作成処理部
215 検査部位設定処理部
216 パターン上乗せ処理部
217 テンプレートマッチング処理部
218 欠陥の有無判定処理部
Claims (10)
- 製造物が正しく製造できているか否かを検査する欠陥検査装置において、
設計により派生する製造所望画像の原画像から製造所望画像を作成する製造所望画像作成手段と、
前記製造所望画像の中で欠陥が発生しやすい部位の設定を行う検査部位設定手段と、
前記製造所望画像の前記検査部位を切り出した部分画像に欠陥が発生しやすい欠陥パターンを上乗せして欠陥パターン付き部分画像を作成する欠陥パターン付き部分画像作成手段と、
製造された被検査対象の製造物を撮影する撮影手段と、
前記撮影手段により撮影された被検査対象の画像を入力画像とし、前記欠陥パターン付き部分画像をテンプレートとして、テンプレートマッチングを行うテンプレートマッチング手段と、
前記テンプレートマッチング手段から出力された評価値を元に欠陥の有無を判定する欠陥の有無判定手段とを有することを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記欠陥パターン付き部分画像作成手段は、前記上乗せする欠陥パターンを、本来の構造パターンの製造誤差として許容される範囲を除外した位置に上乗せすることを特徴とする請求項1記載の欠陥検査装置。
- 製造物が正しく製造できているか否かを検査する欠陥検査装置において、
製造物のサンプルを撮影してサンプル画像を作成する撮影手段と、
前記サンプル画像の中で欠陥が発生しやすい部位の設定を行う検査部位設定手段と、
前記サンプル画像の前記検査部位を切り出した部分画像に欠陥が発生しやすい欠陥パターンを上乗せして欠陥パターン付き部分画像を作成する欠陥パターン付き部分画像作成手段と、
製造された被検査対象の製造物を撮影する撮影手段と、
前記撮影手段により撮影された被検査対象の画像を入力画像とし、前記欠陥パターン付き部分画像をテンプレートとして、テンプレートマッチングを行うテンプレートマッチング手段と、
前記テンプレートマッチング手段から出力された評価値を元に欠陥の有無を判定する欠陥の有無判定手段とを有することを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記欠陥パターン付き部分画像作成手段は、前記上乗せする欠陥パターンを、本来の構造パターンの製造誤差として許容される範囲を除外した位置に上乗せすることを特徴とする請求項3記載の欠陥検査装置。
- 製造物が正しく製造できているか否かを検査する欠陥検査方法において、
製造所望画像作成ステップと、検査部位設定ステップと、欠陥パターン付き部分画像作成ステップと、撮影ステップと、テンプレートマッチングステップと、欠陥の有無判定ステップとを有し、
前記製造所望画像作成ステップは、設計により派生する製造所望画像の原画像から製造所望画像を作成し、
前記検査部位設定ステップは、前記製造所望画像の中で欠陥が発生しやすい部位の設定を行い、
欠陥パターン付き部分画像作成ステップは、前記製造所望画像の前記検査部位を切り出した部分画像に欠陥が発生しやすい欠陥パターンを上乗せして欠陥パターン付き部分画像を作成し、
前記撮影ステップは、製造された被検査対象の製造物を撮影し、
前記テンプレートマッチングステップは、前記撮影ステップにより撮影された被検査対象の画像を入力画像とし、前記欠陥パターン付き部分画像をテンプレートとして、テンプレートマッチングを行い、
前記欠陥の有無判定ステップは、前記テンプレートマッチングステップから出力された評価値を元に欠陥の有無を判定することを特徴とする欠陥検査方法。 - 前記欠陥パターン付き部分画像作成ステップは、前記上乗せする欠陥パターンを、本来の構造パターンの製造誤差として許容される範囲を除外した位置に上乗せすることを特徴とする請求項5記載の欠陥検査方法。
- 製造物が正しく製造できているか否かを検査する欠陥検査方法において、
撮影ステップと、検査部位設定ステップと、欠陥パターン付き部分画像作成ステップと、テンプレートマッチングステップと、欠陥の有無判定ステップとを有し、
前記撮影ステップは、製造物のサンプルを撮影してサンプル画像を作成し、
前記検査部位設定ステップは、サンプル画像の中で欠陥が発生しやすい部位の設定を行い、
前記欠陥パターン付き部分画像作成ステップは、前記サンプル画像の前記検査部位を切り出した部分画像に欠陥が発生しやすい欠陥パターンを上乗せして欠陥パターン付き部分画像を作成し、
前記撮影ステップは、製造された被検査対象の製造物を撮影し、
前記テンプレートマッチングステップは、前記撮影ステップにより撮影された被検査対象の画像を入力画像とし、前記欠陥パターン付き部分画像をテンプレートとして、テンプレートマッチングを行い、
前記欠陥の有無判定ステップは、前記テンプレートマッチングステップから出力された評価値を元に欠陥の有無を判定することを特徴とする欠陥検査方法。 - 前記欠陥パターン付き部分画像作成ステップは、前記上乗せする欠陥パターンを、本来の構造パターンの製造誤差として許容される範囲を除外した位置に上乗せすることを特徴とする請求項7記載の欠陥検査方法。
- 製造物が正しく製造できているか否かを検査する欠陥検査プログラムにおいて、
設計により派生する製造所望画像の原画像から製造所望画像を作成する製造所望画像作成ステップと、
前記製造所望画像の中で欠陥が発生しやすい部位の設定を行う検査部位設定ステップと、
前記製造所望画像の前記検査部位を切り出した部分画像に欠陥が発生しやすい欠陥パターンを上乗せして欠陥パターン付き部分画像を作成する欠陥パターン付き部分画像作成ステップと、
製造された被検査対象の製造物を撮影する撮影ステップと、
前記撮影手段により撮影された被検査対象の画像を入力画像とし、前記欠陥パターン付き部分画像をテンプレートとして、テンプレートマッチングを行うテンプレートマッチングステップと、
前記テンプレートマッチング手段から出力された評価値を元に欠陥の有無を判定する欠陥の有無判定ステップとを計算装置に実行させることを特徴とする欠陥検査プログラム。 - 製造物が正しく製造できているか否かを検査する欠陥検査プログラムにおいて、
製造物のサンプルを撮影してサンプル画像を作成する撮影ステップと、
前記サンプル画像の中で欠陥が発生しやすい部位の設定を行う検査部位設定ステップと、
前記サンプル画像の前記検査部位を切り出した部分画像に欠陥が発生しやすい欠陥パターンを上乗せして欠陥パターン付き部分画像を作成する欠陥パターン付き部分画像作成ステップと、
製造された被検査対象の製造物を撮影する撮影ステップと、
前記撮影手段により撮影された被検査対象の画像を入力画像とし、前記欠陥パターン付き部分画像をテンプレートとして、テンプレートマッチングを行うテンプレートマッチングステップと、
前記テンプレートマッチング手段から出力された評価値を元に欠陥の有無を判定する欠陥の有無判定ステップとを計算装置に実行させることを特徴とする欠陥検査プログラム。
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