JP4976157B2 - 圧電ポンプ及び圧電振動子 - Google Patents
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Description
る中間シムとからなること、及び、中間シムは、メインシムよりも高い機械的復元性を有することを特徴としている。具体的には、中間シムとメインシムは同一の材料から形成し、中間シムの厚さをメインシムの厚さより厚くすることが好ましい。中間シムが高い機械的復元性を有していれば、複数の圧電体層の変位に伴って変形容易であり、高い機械的復元性により該複数の圧電体層の変位を向上させる。
11 メインシム
11a 配線突起
12 積層圧電体
12a 下部圧電体層
12b 上部圧電体層
13a 中間電極層
13b シム側電極層
13c 表面電極層
14 第1給電ライン
15 第2給電ライン
20 圧電ポンプ
21 ロアハウジング
22 ミドルハウジング
23 アッパハウジング
24 吸入ポート
25 吐出ポート
26 ドライバ回路基板
27 Oリング(環状狭着部材)
28 ガイド(環状狭着部材)
29 環状電極端子
30 吸入流路
31 吐出流路
32、33 逆止弁
40 中間シム
A 大気室
P ポンプ室
Claims (9)
- 周縁を液密に保持した圧電振動子の表裏に、ポンプ室と大気室を形成し、該圧電振動子を振動させてポンプ作用を得る圧電ポンプにおいて、
前記圧電振動子は、導電性金属薄板からなるメインシムと、このメインシム上に積層形成した複数層の圧電体層と、この複数層の圧電体層の間に形成した機械的復元性を有する金属弾性材料からなる中間シムとからなること、及び、
前記中間シムは、前記メインシムよりも高い機械的復元性を有することを特徴とする圧電ポンプ。 - 請求項1記載の圧電ポンプにおいて、前記中間シムと前記メインシムは同一の材料からなり、前記中間シムの厚さは前記メインシムの厚さより厚い圧電ポンプ。
- 請求項1または2記載の圧電ポンプにおいて、前記中間シムは、前記複数層の圧電体層の中間位置に介在している圧電ポンプ。
- 請求項1ないし3のいずれか一項に記載の圧電ポンプにおいて、前記圧電振動子は、前記メインシムの一方の面を前記ポンプ室に臨ませ、他方の面に、前記複数層の圧電体層と中間シムが形成されている圧電ポンプ。
- 請求項1ないし4のいずれか1項記載の圧電ポンプにおいて、複数層の圧電体層各層の分極方向及び配線接続は、圧電体が単層である場合に比して、圧電振動子の振幅が大きくなるように設定されている圧電ポンプ。
- 請求項1ないし4のいずれか1項記載の圧電ポンプにおいて、圧電振動子の中間シムは、該中間シム下の圧電体層より小径であり、この中間シム下の圧電体層の周縁部が一対の環状狭着部材によって狭着支持されている圧電ポンプ。
- 請求項1ないし4のいずれか1項記載の圧電ポンプにおいて、圧電振動子の中間シムは、該中間シム上の圧電体層より大径であり、この中間シムとメインシムの周縁及び両シムの間の圧電体層が、一対の環状挟着部材によって挟着支持されている圧電ポンプ。
- 機械的復元性を有する金属弾性材料からなるメインシムの面上に複数層の圧電体層を積層し、
この複数の圧電体層の間に、機械的復元性を有する金属弾性材料からなる中間シムを介在させたこと、及び、
前記中間シムは、前記メインシムよりも高い機械的復元性を有することを特徴とする圧電振動子。 - 請求項8記載の圧電振動子において、前記中間シムと前記メインシムは同一の材料からなり、前記中間シムの厚さは前記メインシムの厚さより厚い圧電振動子。
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