JP4975265B2 - 圧力センサ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
構成を有している。
11 半導体基板
11a 振動板(振動電極板)
12 背面板(固定電極板)
13 絶縁膜
14 酸化膜
15 貫通穴
15a 長方形状の開口部
15b 長方形状の開口部
15c テーパ状の内壁面
16 空隙部
17、18 電極
20 仮開口部
20a 正方形状の開口部
20b 正方形状の開口部
20c テーパ状の内壁面
21、22、23 長方形ユニット
24 正方形状ユニット
Claims (7)
- 印加された圧力に応じて振動する振動電極板と、この振動電極板から所定の間隔をおいて対向配置された固定電極板とを備え、前記固定電極板は、前記振動電極板に対向する第1の面と、この第1の面と平行な第2の面と、前記第1の面から前記第2の面まで貫通する貫通穴とを有し、前記第1及び前記第2の面は、それぞれ、前記貫通穴の第1及び第2の開口部を有し、前記貫通穴は、前記第1の開口部から前記第2の開口部に向かって広がる複数のテーパ状の内壁面を有し、前記第1の開口部の形状は、所定の開口率を有するよう前記固定電極板に網目状に仮配置された仮開口部の正方形と、複数の前記仮開口部の内のいくつかを結合することによって設定された長方形が混在していることを特徴とする圧力センサ。
- 前記第1の開口部の形状の一部は、少なくとも2つの前記仮開口部を含む形状であり、前記仮開口部の形状は、正方形であることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記第1の開口部の一部は、同一の長方形が繰り返されてなることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の圧力センサ。
- 前記第1の開口部の一部は、互いに異なる長方形が繰り返されてなることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の圧力センサ。
- 前記振動電極板及び前記固定電極板の少なくとも一方は、単結晶シリコンからなり、アルカリ系溶液の異方性エッチングによって形成されることを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載の圧力センサ。
- 振動電極板を形成する工程と、前記振動電極板に対向する第1の面及び前記第1の面と平行な第2の面を有する固定電極板を前記振動電極板から所定の間隔をおいて形成する工程と、前記第1及び前記第2の面にそれぞれ形成される第1及び第2の開口部と前記第1の開口部から前記第2の開口部に向かって広がる複数のテーパ状の内壁面とを有する貫通穴をウェットエッチングによって形成する工程と、所定の開口率を有するよう前記固定電極板に網目状に仮配置された複数の仮開口部の内のいくつかを結合することによって前記第1の開口部の形状を設定する工程とを含むことを特徴とする圧力センサの製造方法。
- 前記固定電極板は、同一ウェハ上に一括して複数形成され、前記第1の開口部は、前記固定電極板毎に互いに異なる形状で形成されることを特徴とする請求項6に記載の圧力センサの製造方法。
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