JP4970616B2 - 分光モジュール - Google Patents
分光モジュール Download PDFInfo
- Publication number
- JP4970616B2 JP4970616B2 JP2011252646A JP2011252646A JP4970616B2 JP 4970616 B2 JP4970616 B2 JP 4970616B2 JP 2011252646 A JP2011252646 A JP 2011252646A JP 2011252646 A JP2011252646 A JP 2011252646A JP 4970616 B2 JP4970616 B2 JP 4970616B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- spectroscopic
- wiring
- detection element
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 63
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 28
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 78
- 238000000034 method Methods 0.000 description 34
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 24
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 18
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 17
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 17
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 17
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 5
- 238000003848 UV Light-Curing Methods 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018885 Pt—Au Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
図1及び図2に示されるように、分光モジュール1は、長方形板状の本体部2と、本体部2の裏面2bに設けられたレンズ部(分光部)3と、レンズ部3の曲面に沿って形成された回折層(分光部)4と、回折層4の表面に形成された反射層(分光部)6と、本体部2の表面2a側の略中央部に設けられた光検出素子7と、表面2aの長手方向における端部に固定されたフレキシブル基板8とを備えている。この分光モジュール1は、表面2a側から入射した入射光L1を回折層4で回折して複数の回折光L2に分光し、反射層6で回折光L2を光検出素子7へ向けて反射し、光検出素子7で回折光L2を検出することによって、入射光L1の波長分布や特定波長成分の強度などを測定するものである。
更に、吸光層11の表面(配線12側の面)を粗面とすることで、吸光層11の表面上に形成される配線12の剥がれが防止される。
第2の実施形態に係る分光モジュール31は、レンズ部3と回折層4が一体型で形成されている点で、第1の実施形態に係る分光モジュール1と主に相違している。
第3の実施形態に係る分光モジュール41は、透光性板2cと透光性板2dとの間に吸光膜16が形成されていない点で、第1の実施形態に係る分光モジュール1と主に相違している。
第4の実施形態に係る分光モジュール51は、本体部52が一枚の透光性板で形成されている点で、第1の実施形態に係る分光モジュール1と主に相違している。
第5の実施形態に係る分光モジュール61は、配線63の上に吸光層64が形成されている点で、第4の実施形態と主に相違している。
Claims (9)
- 一方の面から入射した光を透過させる光透過部と、
前記光透過部の他方の面上に設けられ、前記光透過部を透過した光を分光して前記一方の面側に反射する分光部と、
前記一方の面側に設けられ、前記分光部によって分光されて反射された光を検出する光検出素子と、
を備え、
前記分光部は、前記光透過部の凸曲面に沿って形成された回折層と、前記回折層の表面に形成された反射層と、を含むことを特徴とする分光モジュール。 - 前記一方の面側には、前記光検出素子と電気的に接続された配線が設けられていることを特徴とする請求項1記載の分光モジュール。
- 前記一方の面と前記配線との間には、光を吸収する吸光層が設けられていることを特徴とする請求項2記載の分光モジュール。
- 前記吸光層の表面は粗面とされていることを特徴とする請求項3記載の分光モジュール。
- 前記一方の面側には、前記配線と電気的に接続されたフレキシブル基板が設けられていることを特徴とする請求項2〜4の何れか一項記載の分光モジュール。
- 前記光透過部は、前記一方の面と前記他方の面が対向する方向に積層された少なくとも2枚の透光性板を有していることを特徴とする請求項1〜5の何れか一項記載の分光モジュール。
- 隣り合う前記透光性板同士の間の所定の領域には、光を吸収する吸光膜が設けられていることを特徴とする請求項6記載の分光モジュール。
- 前記光透過部は、前記光検出素子が設けられた第1の光透過部材と、前記凸曲面を有して前記分光部が設けられた第2の光透過部材と、を含むことを特徴とする請求項1〜7の何れか一項記載の分光モジュール。
- 前記第2の光透過部材の曲率半径は、前記回折層の曲率半径より大きいことを特徴とする請求項8記載の分光モジュール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011252646A JP4970616B2 (ja) | 2011-11-18 | 2011-11-18 | 分光モジュール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011252646A JP4970616B2 (ja) | 2011-11-18 | 2011-11-18 | 分光モジュール |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007152966A Division JP4891840B2 (ja) | 2007-06-08 | 2007-06-08 | 分光モジュール |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012085071A Division JP4990420B1 (ja) | 2012-04-04 | 2012-04-04 | 分光モジュールの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012037533A JP2012037533A (ja) | 2012-02-23 |
JP4970616B2 true JP4970616B2 (ja) | 2012-07-11 |
Family
ID=45849632
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011252646A Active JP4970616B2 (ja) | 2011-11-18 | 2011-11-18 | 分光モジュール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4970616B2 (ja) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63229765A (ja) * | 1987-03-18 | 1988-09-26 | Fujitsu Ltd | 赤外線検知器 |
JPH06229829A (ja) * | 1993-02-04 | 1994-08-19 | Olympus Optical Co Ltd | 受光素子アレイ |
EP0942267B1 (de) * | 1998-03-11 | 2006-08-30 | Gretag-Macbeth AG | Spektrometer |
EP1041372B1 (de) * | 1999-04-01 | 2006-03-01 | Gretag-Macbeth AG | Spektrometer |
JP2003318478A (ja) * | 2002-04-26 | 2003-11-07 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光通信装置 |
JP4409860B2 (ja) * | 2003-05-28 | 2010-02-03 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出器を用いた分光器 |
-
2011
- 2011-11-18 JP JP2011252646A patent/JP4970616B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012037533A (ja) | 2012-02-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4891840B2 (ja) | 分光モジュール | |
US9797773B2 (en) | Spectroscopy module and manufacturing method therefor | |
JP5325829B2 (ja) | 分光モジュール | |
TWI470193B (zh) | Spectral module | |
JP4990420B1 (ja) | 分光モジュールの製造方法 | |
JP4970616B2 (ja) | 分光モジュール | |
JP4966428B2 (ja) | 分光モジュール | |
JP5113947B2 (ja) | 分光モジュール | |
JP2015007783A (ja) | 分光部及びその製造方法 | |
JP4980184B2 (ja) | 分光モジュール |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111118 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20111118 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20111226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120110 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120305 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120327 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120404 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150413 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4970616 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |