JP4961342B2 - 2つのウエハの相互接触のための方法および装置 - Google Patents
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- コヒーレンスを生ずるように実装される複数の同一部品から得られる2つのウエハ型部品複合コンフィギュレーション(12、14)を相互接触させて、ウエハレベルの電子組立体を製造するための方法であって、前記部品複合コンフィギュレーションの各々をレセプタクルユニット(11;13、50、51)上に位置させ、相互に接続されるべき前記部品複合コンフィギュレーションの接触メタライゼーション間の接触に必要な接触圧力を、前記部品複合コンフィギュレーションを受け入れ、そして、前記レセプタクルユニットによって特定されている接触室(41)内で生成し、真空ユニットを前記接触室(41)に接続するための接続ユニット(31)を介して、前記接触室内を真空状態にし、そして、前記接触メタライゼーションの接触を、部品複合コンフィギュレーションに背面エネルギー衝撃を与えることによって実行することを含む方法。
- 相互に対向する接触メタライゼーションを有する前記部品複合コンフィギュレーション(12、14)を受け入れる前記レセプタクルユニット(11;13、50、51)の間に真空気密接続部を形成することによって、前記接触室(41)を生成することを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記接触室(41)における真空衝撃によって実装される、前記部品複合コンフィギュレーション(12、14)の複合体(42)に、レセプタクルユニット(11;13、50、51)を介してエネルギー衝撃を与えて、前記接触を実施することを特徴とする、請求項1または2に記載の方法。
- 前記レセプタクルユニット(51)を加熱ユニットとして設けることによって、前記エネルギー衝撃を実行することを特徴とする、請求項3に記載の方法。
- 前記レセプタクルユニット(13)を接触加熱することによって、前記エネルギー衝撃を実行することを特徴とする、請求項3に記載の方法。
- 前記レセプタクルユニット(50)に放射衝撃を与えることによって、前記エネルギー衝撃を実行することを特徴とする、請求項3に記載の方法。
- コヒーレンスを生ずるように実装される複数の同一部品から得られる2つのウエハ型部品複合コンフィギュレーション(12、14)を相互接触させて、ウエハレベルの電子組立体を製造するための装置であって、第1の部品複合コンフィギュレーション(12)を受け入れるための第1のレセプタクルユニット(11)と、第2の部品複合コンフィギュレーション(14)を受け入れるための第2のレセプタクルユニット(13)と、前記レセプタクルユニットを相互に密着接続し、そして、前記部品複合コンフィギュレーションを取り囲む気密接触室(41)を提供するためのシールユニット(29)と、真空ユニットを前記接触室に接続するための接続ユニット(31)と、前記第2のレセプタクルユニットを介して部品複合コンフィギュレーションに背面エネルギー衝撃を与えるためのエネルギー衝撃ユニットとを有することを特徴とする装置。
- 前記シールユニット(29)が、少なくとも、前記レセプタクルユニット(11;13、50、51)間の接続領域において、弾性体として設けられていることを特徴とする、請求項7に記載の装置。
- 前記シールユニット(29)が、剛体ユニットによって形成されたシール面(38)を有する弾性シール体(15)を有することを特徴とする、請求項8に記載の装置。
- 前記剛体ユニットが、シールリング(37)を備え、前記シールリングは、前記第1のレセプタクルユニット(11)周辺を取り囲み、そして、前記シール体(15)を介して前記レセプタクルユニットに接続されており、前記シールリング(37)のシール表面(38)が前記第2のレセプタクルユニット(13、50、51)を平坦に押圧することを特徴とする、請求項9に記載の装置。
- 前記シール体(15)が、弾性を有する気密材料から形成された網材を含み、前記レセプタクルユニット(11)の周囲に接続されていることを特徴とする、請求項9または10に記載の装置。
- 前記シール体(15)が、前記レセプタクルユニット(11)の背面に亘って延びることを特徴とする、請求項9または10に記載の装置。
- 前記レセプタクルユニット(11)が、ハンドリングユニット(17)を備え、それらの間に、弾性平衡ユニット(16)が位置していることを特徴とする、請求項11または12に記載の装置。
- 前記第2のレセプタクルユニット(13)が、接触加熱ユニット(45)を用いる接触加熱用の接触板として設けられることを特徴とする、請求項7から13のいずれか1つに記載の装置。
- 前記第2のレセプタクルユニット(50)が、少なくとも一部分が放射に対して透明な板として設けられることを特徴とする、請求項7から13のいずれか1つに記載の装置。
- 前記第2のレセプタクルユニット(51)が、接触ヒータとして設けられることを特徴とする、請求項7から13のいずれか1つに記載の装置。
- 前記第2のレセプタクルユニットが、抵抗ヒータとして設けられることを特徴とする、請求項16に記載の装置。
- 前記第2のレセプタクルユニットが、電気抵抗膜として設けられることを特徴とする、請求項17に記載の装置。
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