JP4961168B2 - 加工装置 - Google Patents

Description

本発明は、輸送時の損傷を防止する加工装置に関するものである。

各種の加工を行う加工装置には、装置の外形を形作る骨格があり、また、骨格の内部に設けられた駆動部、制御部等を保護したり、装置の外観性を確保したりするために、骨格の外側には、カバーが装着されている（例えば特許文献１参照）。そして、骨格とカバーとは、金属部品によって強固に固定される構成となっている。

特開平１０−１１６８０２号公報

しかし、加工装置をトラック等で輸送する際には、振動によって金属部品がカバーや骨格に衝突して損傷したり塗装がはげたりするおそれがあるため、現状の輸送時においては、加工装置からカバーを取り外し、クッション材等で個々のカバーの梱包を行っている。したがって、梱包を行う送り側、開梱を行う受け入れ側の両方において手間がかかるという問題がある。また、搬送すべき部品の点数が増えることから、トラック等の荷台を有効に活用できなくなるという問題もある。

そこで、本発明が解決しようとする課題は、骨格とカバーとを有する加工装置を輸送する場合において、カバーと骨格とを分けずに、これらを損傷させることなく輸送できるようにすることにある。

本発明は、外形を形作る基礎となる骨格がカバーによって覆われて構成される加工装置に関するもので、骨格には、カバーが係合する被係合部が形成され、カバーは、カバー本体と、カバー本体に形成され被係合部に係合する係合爪とを備え、被係合部または係合爪の少なくとも一方が樹脂で形成され、骨格には、カバーの係合爪を起点とする動きを規制する規制部が設けられ、規制部が磁性樹脂で形成されることを特徴とする。

被係合部または係合爪を構成する樹脂は、導電性を有するタイプのものであることが望ましい。

本発明では、骨格に形成される被係合部またはカバー本体に形成される係合爪の少なくとも一方を樹脂で形成したことにより、輸送時の振動を樹脂が吸収するため、骨格またはカバーが損傷するのを防止することができる。

また、カバーの係合爪を起点する動きを規制する規制部が骨格に設けられ、規制部が磁性樹脂で形成されているため、カバーの損傷をより確実に防止することができる。

被係合部または係合爪に導電性の樹脂を使用すると、骨格との間での導通性が良好となり、確実にアースを確保することができ、カバーの帯電を防止することができる。

図１に示す加工装置１は、半導体ウェーハ等の被加工物を切削して個片化する装置であり、その外形の基礎を形作る骨格９の内部には、被加工物の切削の際に駆動される駆動系や駆動系の制御を行う制御系を有している。具体的には、被加工物を保持するチャックテーブル２と、チャックテーブル２をＸ軸方向に駆動するチャックテーブル駆動部３と、高速回転可能な切削ブレード４０を有してＹ軸方向及びＺ軸方向に移動可能な第一の切削手段４ａ及び第二の切削手段４ｂと、第一の切削手段４ａをＹ軸方向に駆動する第一の切削駆動部５ａと、第二の切削手段４ｂをＹ軸方向に駆動する第二の切削駆動部５ｂと、第一の切削手段４ａをＺ軸方向に駆動する第一の切り込み駆動部６ａと、第二の切削手段４ｂをＺ軸方向に駆動する第二の切り込み駆動部６ｂと、被加工物が収容されるカセット７と、カセット７をＺ軸方向に駆動するカセット駆動部８等を備えている。

図２に示すように、図１に示した加工装置において、骨格９の周囲には、例えば金属で形成された固定式のカバー１０、開閉式のカバー１１等が取り付けられる。また、表示装置１２や操作パネル１３等も取り付けられている。

図３に示すように、骨格９には、樹脂で形成されたくの字型の被係合部１４が固定されていると共に、磁性樹脂で形成された規制部１５も固定されている。一方、カバー１０は、図４に示すように、カバー本体１６と、その内側に固定された金属製でくの字型の係合爪１７とを備えている。また、カバー本体１６には、図３に示す取り外し用のレバー１８も形成されている。係合爪１７は、被係合部１４にかみ合う形状に形成されており、係合爪１７を被係合部１４に係合させることにより、カバー１０を骨格９に固定することができる。

被係合部１４は、金属より柔軟性のある樹脂によって形成されている。したがって、被係合部１４に係合爪１７を係合させることによりカバー１０を骨格９に固定して輸送した場合において、装置全体に振動が加わっても、被係合部１４が振動を吸収することができるため、骨格９やカバー１０が損傷することがない。

また、図４に示すように、骨格９において被係合部１４の上方に位置する規制部１５は、係合爪１７を起点とするカバー１０のバタツキ等の動きを防止する役割を果たす。特に、規制部１５が磁性樹脂で形成されていると、金属製のカバー１０を磁力によって固定することができると共に、樹脂の柔軟性によりカバー１０が傷付くのを防止することもできる。

更に、被係合部１４に導電性の樹脂を用いると、骨格８とカバー９とが被係合部１４を介して導通するため、アースを確実に確保することができ、カバー９が帯電するのを防止することができる。

なお、上記の例では、被係合部１４が樹脂で形成されている例について説明したが、係合爪１７が樹脂で形成されていてもよく、この場合は、必ずしも被係合部１４が樹脂で形成されている必要はない。

加工装置の内部構造の一例を示す斜視図である。 加工装置の外観の一例を示す斜視図である。 加工装置を構成する骨格及びカバーを示す分解斜視図である。 骨格及びカバーを略示的に示す断面図である。

符号の説明

１：加工装置
２：チャックテーブル ３：チャックテーブル駆動部
４ａ：第一の切削手段 ４ｂ：第二の切削手段
５ａ：第一の切削駆動部 ５ｂ：第二の切削駆動部
６ａ：第一の切り込み駆動部 ６ｂ：第二の切り込み駆動部
７：カセット ８：カセット駆動部 ９：骨格 １０、１１：カバー
１２：表示装置 １３：操作パネル
１４：被係合部 １５：規制部 １６：カバー本体 １７：係合爪 １８：レバー

Claims (2)

1. 外形を形作る基礎となる骨格がカバーによって覆われて構成される加工装置であって、
   該骨格には、該カバーが係合する被係合部が形成され、
   該カバーは、カバー本体と、該カバー本体に形成され該被係合部に係合する係合爪とを備え、
   該被係合部または該係合爪の少なくとも一方が樹脂で形成され、
   該骨格には、該係合爪を起点とする該カバーの動きを規制する規制部が設けられ、該規制部は磁性樹脂で形成される加工装置。
2. 前記樹脂は導電性を有する請求項１に記載の加工装置。

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