JP4946689B2 - 形状測定装置 - Google Patents
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Description
11 1軸ステージ
12 レーザー光源
14 ポリゴンミラー(走査部材)
15 第1の制限スリット(測定光側スリット部材)
15a 開口
16 変形プリズム(光学部材)
17 撮影手段
18 2次元CCD(受光素子)
19 撮影レンズ(受光光学系)
20 リレーレンズ(受光光学系)
21 第1結像レンズ(受光光学系)
22 第2の制限スリット(反射光スリット部材)
22a 開口
23 ハーフプリズム
27 フォトダイオード(光量制御手段)
28 コントローラ(光量制御手段)
29 レーザー駆動装置(光量制御手段)
M 被検物
Claims (7)
- 被検物に測定光を照射して該被検物からの反射光を検出することで、前記被検物の形状を測定する形状測定装置であって、
前記測定光を前記被検物上に走査させる走査部材と、
前記走査部材によって走査される前記測定光の走査方向に沿って延びる開口が形成され、前記測定光の光束の大きさを制限する測定光側スリット部材と、
前記測定光側スリット部材の前記開口の長手方向に対して垂直な方向における前記測定光の強度分布の変化を小さくする光学部材と、
前記被検物からの反射光が入射し、前記測定光の前記被検物上での像を検出する撮影手段と、
を備えてなることを特徴とする形状測定装置。 - 請求項1に記載の形状測定装置において、
前記光学部材は、前記走査部材よりも前記測定光を放射する光源との間に配置され、前記測定光側スリット部材の前記開口の長手方向に対して垂直な方向における強度分布の変化を小さくするプリズムからなることを特徴とする形状測定装置。 - 請求項2に記載の形状測定装置において、
前記撮影手段は、受光素子と受光光学系を有し、前記受光素子と共役な位置に、前記測定光の走査による前記測定光の像の移動方向と垂直な方向に沿って開口が形成される反射光側スリット部材を備えてなることを特徴とする形状測定装置。 - 請求項3に記載の形状測定装置において、
前記反射光側スリット部材は、当該装置のエピポール点を中心に揺動可能に配置されていることを特徴とする形状測定装置。 - 請求項2乃至4の何れか一項に記載の形状測定装置において、
前記反射光の光量に基づいて前記測定光の光量を制御する光量制御手段を備えてなることを特徴とする形状測定装置。 - 被検物に測定光を照射して該被検物からの反射光を検出することで、前記被検物の形状を測定する形状測定装置であって、
前記測定光を発する光源と前記被検物との間に設けられ、一方向に延びる開口が形成された前記測定光用の前記一方向の大きさを制限する測定光側スリット部材と、
前記光源と前記測定光側スリット部材との間に設けられ、前記測定光側スリット部の開口の長手方向に対して垂直な方向における前記測定光の強度分布の変化を小さくする光学部材と、
前記被検物からの反射光が入射し、前記測定光の前記被検物上での像を検出する撮影手段と、
を備えてなることを特徴とする形状測定装置。 - 請求項6に記載の形状測定装置において、
前記光学部材は、プリズムからなることを特徴とする形状測定装置。
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