JP4944695B2 - 光学素子 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第一の実施形態にかかる光学素子1の平面図(図1(a))、b−b断面図(図1(b))である。第一の実施形態にかかる光学素子1は、第一導電性部材10、第一開口部13、第一中心側溝部12a、第一遠心側溝部12bを備える。
第二の実施形態にかかる光学素子1は、第一の実施形態にかかる光学素子1の裏面142に、第二導電性部材6を付したものである。
第三の実施形態にかかる光学素子1は、第一の実施形態にかかる光学素子1の裏面142に、レンズ8を付したものである。
第四の実施形態にかかる光学素子1は、第一の実施形態にかかる光学素子1を半導体基板32を用いて実装し、テラヘルツ波検出を行うようにしたものである。
第五の実施形態は、第一の実施形態における光学素子1の第一開口部13の直径をd0(<λ)に統一し、さらに、第一中心側溝部12aの形状に変更を加えたものである。
6 第二導電性部材
6a 第二中心側溝部
6b 第二遠心側溝部
8 レンズ
10 第一導電性部材
12 表面部材
12a 第一中心側溝部
12b 第一遠心側溝部
13 第一開口部
13a 表面側開口部
13b 裏面側開口部
13c 第二開口部
14 裏面部材
32 半導体基板(第一導電性部材)
34 光伝導膜
36 金属膜(導電部)
36a 第一金属膜
36b 第二金属膜
37 覆い部分(不連続部分)
38 電流計
122 表面
142 裏面
322 表面
324 裏面
11 導電性部材
15 開口部
16a 中心側溝部
16b 遠心側溝部
162a 隣接溝
112 表面
Claims (4)
- 第一導電性部材と、
前記第一導電性部材の表面および裏面に開口する第一開口部と、
前記第一導電性部材の表面に、前記第一開口部を中心とした同心円状に設けられた第一中心側溝部と、
を備え、
前記第一開口部は、
電磁波を受け、前記表面に開口する直径d1の表面側開口部と、
前記裏面に開口する直径d2の裏面側開口部と、
を有し、
前記電磁波の波長をλとしたときに、d2<d1かつd2<λである、
光学素子であって、
前記裏面側開口部の中心軸上に焦点を有し、前記裏面の上に設けられたレンズ、
を備えた光学素子。 - 請求項1に記載の光学素子であって、
前記第一導電性部材の表面に、前記第一中心側溝部よりも前記第一開口部から遠い位置に、前記第一開口部を中心とした同心円状に設けられた第一遠心側溝部、
を備え、
前記第一中心側溝部の溝の間隔をg1、前記第一遠心側溝部の溝の間隔をg2、mを正の奇数としたときに、g2=(m/2)・g1である、
光学素子。 - 第一導電性部材と、
前記第一導電性部材の表面に開口する第一開口部と、
前記第一導電性部材の裏面に設けられた光伝導部と、
前記光伝導部に設けられ、不連続となっている導電部と、
前記第一導電性部材の表面に、前記第一開口部を中心とした同心円状に設けられた第一中心側溝部と、
を備え、
前記第一開口部は、
電磁波を受け、前記表面に開口する直径d1の表面側開口部と、
前記表面側開口部に開口し、前記表面側開口部よりも前記裏面側にある直径d2の裏面側開口部と、
を有し、
前記電磁波の波長をλとしたときに、d2<d1かつd2<λであり、
前記導電部が不連続となっている前記光伝導部の不連続部分は、前記裏面側開口部を前記光伝導部にまで延長したと仮定した場合に、その延長部分上にあり、
前記表面側開口部はテラヘルツ波を受け、
前記不連続部分はサンプリング光を受け、
前記裏面側開口部を通過した前記テラヘルツ波の電界に相当し、前記導電部を流れる光伝導電流を測定する測定器を備えた、
光学素子。 - 請求項3に記載の光学素子であって、
前記第一導電性部材の表面に、前記第一中心側溝部よりも前記第一開口部から遠い位置に、前記第一開口部を中心とした同心円状に設けられた第一遠心側溝部、
を備え、
前記第一中心側溝部の溝の間隔をg1、前記第一遠心側溝部の溝の間隔をg2、mを正の奇数としたときに、g2=(m/2)・g1である、
光学素子。
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