JP4943440B2 - 発光素子及び表示装置 - Google Patents

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Description

本発明は、発光素子、特に、エレクトロルミネセンス素子に関すると共に、該発光素子を用いた表示装置に関する。
近年、軽量・薄型の面発光型素子としてエレクトロルミネッセンス素子(以下、EL素子という。)が注目されている。EL素子は大別すると、有機材料からなる蛍光体に直流電圧を印加し、電子と正孔とを再結合させて発光させる有機EL素子と、無機材料からなる蛍光体に交流電圧を印加し、およそ10V/cmもの高電界で加速された電子を無機蛍光体の発光中心に衝突させて励起させ、その緩和過程で無機蛍光体を発光させる無機EL素子とがある。
さらに、この無機EL素子には、無機蛍光体粒子を高分子有機材料からなるバインダ中に分散させ発光層とする分散型EL素子と、厚さが1μm程度の薄膜発光層の両側あるいは片側に絶縁層を設けた薄膜型EL素子とがある。これらのうち分散型EL素子は、消費電力が少なく、しかも製造が簡単なため製造コストが安くなる利点があるとして注目されている。従来の分散型EL素子は、積層構造であり、基板側から順に、基板、第1電極、発光層、絶縁体層、第2電極が積層されて構成されている。発光層は、ZnS:Mn等の無機蛍光体粒子を有機バインダに分散させた構成を有しており、絶縁体層はBaTiOなどの強絶縁体を有機バインダにて分散させた構成を有している。第1電極と第2電極の間には交流電源が設置され、交流電源から第1電極、第2電極間へ電圧を印加することで分散型EL素子は発光する。
分散型EL素子の構造において、発光層は分散型EL素子の輝度と効率を決定付ける層であり、この発光層の無機蛍光体粒子には、粒径15〜35μmの大きさのものが用いられている(例えば、特許文献1参照。)。また、分散型EL素子の発光層の発光色は発光層に用いられる無機蛍光体粒子によって決まり、例えば無機蛍光体粒子にZnS:Mnを用いた場合には橙色の発光を示し、例えば無機蛍光体粒子にZnS:Cuを用いた場合には青緑色の発光を示す。このように、発光色は使用する無機蛍光体粒子によって決まるため、それ以外の、例えば白色の発光色を得る場合、例えば、有機色素を有機バインダに混合させることで発光色を他の色に変換し、目的の発光色を得ている(例えば、特許文献2参照。)。
しかしながら、分散型EL素子に用いられる発光体は、発光輝度が低く、また、寿命が短いという問題があった。
発光輝度を上昇させる方法として、発光層への印加電圧を上げる方法が考えられる。この場合、印加電圧に反比例して発光体の光出力の半減期が減少しまうという課題がある。一方、半減期を長くする、つまり寿命を長くする方法としては、発光層への印加電圧を下げる方法が考えられるが、発光輝度が低下してしまうという課題がある。このように、発光輝度と半減期とは、発光層への印加電圧の増減によって一方を改善しようとすると、もう一方が悪化する相反関係にある。したがって、発光輝度か寿命(光出力の半減期)の何れかを選択しなければならなくなる。なお、本明細書における半減期とは、発光体の光出力が当初の発光輝度の半分の出力に減少するまでの時間である。
そこで、低電圧でEL素子を発光させる提案がなされている(例えば、特許文献3参照。)。このEL素子50は、図13に示されるように、CdSe微結晶の発光体粒子61を透明な導電体である酸化インジウム錫63の媒体中に分散させた発光層53を電極52、54間に挿入し、電圧を印加して発光させる方法である。このEL素子50では、電流注入型発光素子であるため、低電圧で駆動可能であるという特徴がある。
国際公開第WO03/020848号パンフレット 特開平7−216351号公報 特許第3741157号
しかしながら、上記の方法では媒体に導電膜を使用しているため、高い輝度が得られないという課題がある。
本発明の目的は、上記課題を解決し、低電圧で発光し、しかも発光輝度が高く、寿命が長い発光素子を提供することである。
また、本発明の目的は、上記課題を解決し、低電圧で発光し、しかも発光輝度が高く、寿命が長い表示装置を提供することである。
上記課題は、本発明に係る発光素子によって達成される。すなわち、本発明に係る発光素子は、第1電極と、
前記第1電極と対向して配置された第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に挟持された発光層であって、p型半導体の媒体の中にn型半導体粒子が分散して構成されている発光層と
を備えたことを特徴とする。
本発明に係る別の態様の発光素子は、第1電極と、
前記第1電極と対向して配置された第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に挟持された発光層であって、n型半導体粒子の集合体で構成され、該粒子間にp型半導体が偏析している発光層と
を備えたことを特徴とする。
また、前記n型半導体粒子は、前記p型半導体を介して前記第1及び第2電極と電気的に接合されていることが好ましい。
さらに、前記n型半導体粒子及び前記p型半導体は、それぞれ化合物半導体であってもよい。またさらに、前記n型半導体粒子は、第12族−第16族間化合物半導体であってもよい。また、前記n型半導体粒子は、第13族−第15族間化合物半導体であってもよい。前記n型半導体粒子は、カルコパイライト型化合物半導体であってもよい。またさらに、前記p型半導体物質は、CuS、ZnS、ZnSe、ZnSSe、ZnSeTe、ZnTe、GaN、InGaNのいずれかであってもよい。
また、前記n型半導体粒子が亜鉛を含む亜鉛系材料である場合には、
前記第1電極又は前記第2電極のうち、少なくとも一方の電極は、亜鉛を含む材料からなることが好ましい。この場合、前記一方の電極を構成する前記亜鉛を含む材料は、酸化亜鉛を主体とし、アルミニウム、ガリウム、チタン、ニオブ、タンタル、タングステン、銅、銀、ホウ素からなる群から選ばれる少なくとも一種を含むものであってもよい。
さらに、前記第1電極又は前記第2電極の少なくとも一方の電極に面して支持する支持体基板をさらに備えてもよい。またさらに、前記第1電極及び前記第2電極のそれぞれに対向し、且つ、前記発光層からの発光の取出し方向の前方に色変換層をさらに備えてもよい。
本発明に係る表示装置は、基板と、
前記基板上に第1方向に互いに平行に延在している複数の走査電極と、
前記第1方向に対して垂直な第2方向に互いに平行に延在している複数のデータ電極と、
前記走査電極と前記データ電極間に挟まれて設けられた少なくとも1層の発光層と
を備え、
前記走査電極と前記データ電極の少なくとも一方が透明又は半透明であって、前記発光層が、p型半導体の媒体の中にn型半導体粒子が分散して構成されていることを特徴とする。
本発明に係る別例の表示装置は、基板と、
前記基板上に第1方向に互いに平行に延在している複数の走査電極と、
前記第1方向に対して垂直な第2方向に互いに平行に延在している複数のデータ電極と、
前記走査電極と前記データ電極間に挟まれて設けられた少なくとも1層の発光層と
を備え、
前記走査電極と前記データ電極の少なくとも一方が透明又は半透明であって、前記発光層が、n型半導体粒子の集合体で構成され、該粒子間にp型半導体が偏析していることを特徴とする。
また、前記n型半導体粒子は、前記p型半導体を介して前記第1及び第2電極と電気的に接合されていてもよい。
さらに、前記n型半導体粒子及び前記p型半導体は、それぞれ化合物半導体であってもよい。またさらに、前記n型半導体粒子は、第12族−第16族間化合物半導体であってもよい。前記n型半導体粒子は、第13族−第15族間化合物半導体であってもよい。前記n型半導体粒子は、カルコパイライト型化合物半導体であってもよい。またさらに、前記p型半導体物質は、CuS、ZnS、ZnSe、ZnSSe、ZnSeTe、ZnTe、GaN、InGaNのいずれかであってもよい。
またさらに、前記n型半導体粒子が亜鉛を含む亜鉛系材料である場合には、前記第1電極又は前記第2電極のうち、少なくとも一方の電極は、亜鉛を含む材料からなることが好ましい。この場合、前記一方の電極を構成する前記亜鉛を含む材料は、酸化亜鉛を主体とし、アルミニウム、ガリウム、チタン、ニオブ、タンタル、タングステン、銅、銀、ホウ素からなる群から選ばれる少なくとも一種を含むことが好ましい。
また、前記第1電極又は前記第2電極の少なくとも一方の電極に面して支持する支持体基板をさらに備えてもよい。
さらに、前記第1電極及び前記第2電極のそれぞれに対向し、且つ、前記発光層からの発光の取出し方向の前方に色変換層をさらに備えてもよい。
本発明に係る発光素子及び表示装置によれば、発光層は、(i)p型半導体の媒体中にn型半導体粒子が分散した構造、あるいは、(ii)n型半導体粒子の集合体であって、該粒子間にp型半導体が偏析した構造のいずれかを有する。発光層が上記構造を有することによって、n型半導体粒子内部または界面へ電子の注入とともに正孔を効率良く注入することができ、低電圧で、高輝度で発光し、しかも長寿命の発光素子及び表示装置を実現することができる。
本発明によれば、低電圧で発光し、しかも発光輝度が高く、寿命も長い発光素子及び表示装置を提供することができる。
以下、本発明の実施の形態に係る発光素子について、添付図面を用いて説明する。なお、図面において、実質的に同一の部材には同一の符号を付している。
(実施の形態1)
<EL素子の概略構成>
図1は、本発明の実施の形態1に係る発光素子10の発光面に垂直な方向から見た概略構成図である。この発光素子10は、基板1と、基板1上に設けられた透明電極2と、透明電極2上に設けられた発光層3と、発光層3の上に設けられた背面電極4とを備える。この発光層3は、透明電極2と背面電極4との間に挟持されている。また、発光素子10の全体を支えるものとして、基板1が透明電極2に隣接して設けられている。この場合、基板1の側から光を取り出すので、基板1には透明な材料からなるものを用いる。さらに、透明電極2と背面電極4とは、電源5を介して電気的に接続されている。この発光素子10では、電源5から電力が供給されると、透明電極2および背面電極4の間に電位差が生じ、電圧が印加される。そして、透明電極2および背面電極4間に配置されている発光層3の発光層が発光し、その光が透明電極2および基板1を透過して発光素子10の外部に取り出される。なお、本実施の形態においては、電源5として直流電源を用いている。
この発光素子10によれば、発光層3が、図1に示すように、n型半導体粒子21の集合体で構成され、該粒子間にp型半導体23が偏析していることを特徴とする。あるいは、図5に示す別例の発光素子10bでは、発光層3が、p型半導体23の媒体の中にn型半導体粒子21が分散して構成されたことを特徴とする。このように、n型半導体粒子とp型半導体との界面を多く形成することによって、正孔の注入性が改善され、電子と正孔の再結合型発光が効率よく生じ、低電圧で高輝度発光する発光素子を実現することができる。さらに、n型半導体粒子がp型半導体を介して電極と電気的に接続されている構成とすることによって、発光効率を向上させることができる。
なお、この発光素子10は、上述の構成に限られず、発光層3を複数層設ける、電極2、4と発光層3との間に電流制限を目的として薄い誘電体層を複数設ける、透明電極2および背面電極4を入れ替える、透明電極2および背面電極4を両方とも発光に対して透明な電極にする、または、電源5を交流電源にする、背面電極4を黒色電極とする、発光素子10の全部又は一部を封止する構造を更に備える、発光の取出し方向の前方に発光層3からの発光色を色変換する色変換層等の構造を更に備える等、のそれぞれの構成に適宜変更することが可能である。
以下、発光素子10の各構成部材について詳述する。
<基板>
基板1は、その上に形成する各層を支持できるものを用いる。また、基板1側から光を取り出す場合、発光体から発せられる光の波長に対し光透過性を有する材料であることが求められる。このような材料としては、例えば、コーニング1737等のガラス、石英、セラミック等を用いることができる。通常のガラスに含まれるアルカリイオン等が発光素子へ影響しないように、無アルカリガラスや、ガラス表面にイオンバリア層としてアルミナ等をコートしたソーダライムガラスであってもよい。また、ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート系、ポリクロロトリフルオロエチレン系とナイロン6の組み合わせやフッ素樹脂系材料、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリイミド、ポリアミドなどの樹脂フィルム等を用いることもできる。樹脂フィルムを用いる場合には、耐久性、柔軟性、透明性、電気絶縁性、防湿性の優れた材料を用いることが好ましい。なお、上記材料の記載は例示であって、基板1の材料は特にこれらに限定されるものではない。
なお、基板1側から光を取り出さない構成の場合は、上述の光透過性は不要であり、透光性を有していない材料も用いることができる。これらの例としては、表面に絶縁層を有する金属基板やセラミックス基板、シリコンウエハ等がある。
<電極>
電極として、光を取り出す側の透明電極2と、他方の背面電極4とがある。なお、ここでは、図1に示すように、基板1の上に透明電極2を設ける場合について説明するが、これに限られず、例えば、図2の別例の発光素子10aに示すように、基板1の上に背面電極4を設け、その上に発光層3、透明電極2を順に積層する構成としてもよい。あるいは、透明電極2及び背面電極4の両方を透明電極としてもよい。
まず、透明電極2について説明する。透明電極2の材料は、発光層3内で生じた発光7を外部に取り出せるように光透過性を有するものであればよく、特に可視光領域において高い透過率を有することが好ましい。また、電極として低抵抗であることが好ましく、更には基板1や発光層3との密着性に優れていることが好ましい。透明電極2の材料として、特に好適なものは、ITO(InにSnOをドープしたものであり、インジウム錫酸化物ともいう。)やInZnO、ZnO、SnO等を主体とする金属酸化物、Pt、Au、Pd、Ag、Ni、Cu、Al、Ru、Rh、Ir等の金属薄膜、あるいはポリアニリン、ポリピロール、PEDOT/PSS、ポリチオフェンなどの導電性高分子等が挙げられるが、特にこれらに限定されるものではない。これらの透明電極2はその透明性を向上させ、あるいは抵抗率を低下させる目的で、スパッタリング法、エレクトロンビーム蒸着法、イオンプレーティング法、等の成膜方法で成膜できる。また成膜後に、抵抗率制御の目的でプラズマ処理などの表面処理を施してもよい。透明電極2の膜厚は、必要とされるシート抵抗値と可視光透過率から決定される。
透明電極2のキャリア濃度は、1E17〜1E22cm−3の範囲であることが望ましい。また、透明電極2として性能を出すために、透明電極2の体積抵抗率は1E−3Ω・cm以下であって、透過率は380〜780nmの波長において75%以上であることが望ましい。また、透明電極2の屈折率は、1.85〜1.95が良い。さらに、透明電極2の膜厚は30nm以下の場合に緻密で安定した特性を持つ膜が実現できる。
また、背面電極4には、一般に良く知られている導電材料であればいずれでも適用できる。更には発光層3との密着性に優れていることが好ましい。好適な例としては、例えば、ITOやInZnO、ZnO、SnO等の金属酸化物、Pt、Au、Pd、Ag、Ni、Cu、Al、Ru、Rh、Ir、Cr、Mo、W、Ta、Nb等の金属、これらの積層構造体、あるいは、ポリアニリン、ポリピロール、PEDOT〔ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)〕/PSS(ポリスチレンスルホン酸)等の導電性高分子、あるいは導電性カーボンなどを用いることができる。
また、透明電極2及び背面電極4は、それぞれ層内を全面覆うように構成してもよく、あるいは、層内に複数の電極をストライプ状に構成してもよい。さらに、透明電極2および背面電極4をともに複数の電極をストライプ状として構成し、透明電極2の各ストライプ状の電極と背面電極4のすべてのストライプ状の電極とが、それぞれねじれの位置の関係であり、かつ、透明電極2の各ストライプ状の電極を発光面に投影したものと背面電極4のすべてのストライプ状の電極を発光面に投影したものとが互いに交わるように構成してもよい。この場合、透明電極2のストライプ状の各電極、および、背面電極4のストライプ状の各電極からそれぞれ選択した一対の電極間に電圧を印加することにより、所定位置が発光するディスプレイを構成することが可能となる。
<発光層>
この発光層3は、透明電極2と背面電極4との間に挟持され、次の2つのうち、いずれかの構造を有する。
(i)n型半導体粒子の集合体であって、該粒子間にp型半導体23が偏析した構造(図1)。なお、上記n型半導体粒子21の集合体は、それ自体で層を構成している。
(ii)p型半導体23の媒体中にn型半導体粒子21が分散した構造(図5)。
更に、発光層3を構成する各n型半導体粒子21が、p型半導体23を介して電極2、4と電気的に接合されていることが好ましい。
<発光体>
n型半導体粒子21の材料は、多数キャリアが電子でありn型伝導を示すn型半導体材料である。材料としては、第12族−第16族間化合物半導体であってもよい。また、第13族−第15族間化合物半導体であってもよい。具体的には、光学バンドギャップが可視光の大きさを有する材料であって、例えば、ZnS,ZnSe、GaN、InGaN、AlN、GaAlN、GaP、CdSe、CdTe、SrS、CaSを母体とし、母体のまま使用するか、あるいは添加剤として、Ag、Al、Ga、In、Cu、Mn、Clから一種以上選択される元素を添加して用いる。
一方、p型半導体23の材料は、多数キャリアが正孔であり、p型伝導を示すp型半導体材料である。このp型半導体材料としては、例えば、CuS、ZnS、ZnSe、ZnSSe、ZnSeTe、ZnTeなどの化合物や、更にGaN,InGaN等の窒化物である。このp型半導体の材料のうち、CuSなどは、本来的にp型伝導を示すが、その他の材料は添加剤として窒素、Ag、Cu、Inから一種以上選択される元素を添加して用いる。また、p型伝導を示すCuGaS、CuAlSなどのカルコパイライト型化合物を用いても良い。
本実施の形態に係る発光素子10の特徴は、発光層3が、(i)n型半導体粒子21の粒子間にp型半導体23が偏析した構造(図1)、(ii)p型半導体23の媒体中にn型半導体粒子21が分散した構造(図5)のいずれかの構造を有することである。図13に示す従来例のように、半導体粒子61と電気的に接合する媒体がインジウム錫酸化物63の場合、電子が半導体粒子61に到達して発光することが可能であるが、インジウム錫酸化物の正孔濃度は小さいため、再結合するための正孔が不足する。従って、電子と正孔の再結合による高輝度の発光は期待できない。そこで、本発明者は、特に高輝度で効率良く、しかも連続した発光を得るために、発光層3において、電子の注入とともに正孔を効率良く注入することができる構造に着目した。上記構造を実現するためには、発光体粒子内部または界面に多くの正孔が到達すること、更に電子の注入電極に対向する電極からの正孔の注入が速やかに行われかつ発光体粒子あるいは界面に到達する必要がある。そこで、本発明者は鋭意研究の結果、発光層3の構造として、上記(i)、(ii)のうち、いずれかの構造とすることによって、n型半導体粒子内部または界面へ電子の注入とともに正孔を効率良く注入することができることを見出した。すなわち、上記各構造の発光層3によれば、電極から注入された電子は、p型半導体23を通してn型半導体粒子21に到達し、一方、他方の電極から多くの正孔が発光体粒子に到達し、電子と正孔との再結合によって効率よく発光させることができる。これによって、低電圧で高輝度発光する発光素子を実現することができ、本発明に至ったものである。また、ドナーあるいはアクセプターを導入することにより、自由電子とアクセプターに捕獲された正孔の再結合、自由正孔とドナーに捕獲された電子の再結合、ドナー−アクセプター対発光も同様に可能である。またさらに、他のイオン種が近傍にあることでエネルギー移動による発光も同様に可能である。
さらに、発光層3のn型半導体粒子21としてZnS等の亜鉛系材料を用いる場合には、透明電極2と背面電極4の少なくとも一方には、例えば、ZnO、AZO(酸化亜鉛に例えばアルミをドープしたもの)、GZO(酸化亜鉛に、例えばガリウムをドープしたもの)等の亜鉛を含む金属酸化物からなる電極を用いることが好ましい。本発明者は、特定のn型半導体粒子21と特定の透明電極2(又は背面電極4)との組み合わせを採用することによって、高効率に発光させることができることを見出したものである。
すなわち、透明電極2(又は背面電極4)における仕事関数について着目すると、ZnOの仕事関数は5.8eVであるのに対して、従来、透明電極として使われてきたITO(酸化インジウムスズ)の仕事関数は7.0eVである。一方、発光層3のn型半導体粒子21である亜鉛系材料の仕事関数は5〜6eVであることから、ITOに比べてZnOの仕事関数は、亜鉛系材料の仕事関数により近いため、発光層3への電子注入性が良いというメリットがある。これは、透明電極2(又は背面電極4)として同様に亜鉛系材料であるAZO、GZOを用いた場合も同様である。
図3(a)は、ZnSからなる発光層3とAZOからなる透明電極2(又は、背面電極4)との界面付近の模式図である。図3(b)は、図3(a)のポテンシャルエネルギーの変位を説明する模式図である。また、図4(a)は、比較例として、ZnSからなる発光層3とITOからなる透明電極との界面の模式図である。図4(b)は、図4(a)のポテンシャルエネルギーの変位を説明する模式図である。
図3(a)に示すように、上記の好ましい例では、発光層3を構成するn型半導体粒子21が亜鉛系材料(ZnS)であって、透明電極2(又は、背面電極4)が酸化亜鉛系材料(AZO)であることから、透明電極2(又は、背面電極4)と発光層3との界面にできる酸化物は、酸化亜鉛(ZnO)となる。さらに、界面では成膜時にドーピング材料(Al)が拡散し、低抵抗な酸化膜が形成される。また、上記の酸化亜鉛系(AZO)の透明電極2(又は背面電極4)は、六方晶の結晶構造をとるが、発光層3を構成するn型半導体物質21である亜鉛系材料(ZnS)も六方晶または立方晶の結晶構造をとるため、両者の界面では歪が小さくエネルギー障壁が小さくなる。これによって、図3(b)に示すように、ポテンシャルエネルギーの変位が少ない。
一方、比較例では、図4(a)のように透明電極が亜鉛系材料でないITOであるため、界面にできた酸化膜(ZnO)は、ITOにとって異なる結晶構造を持つことから、その界面におけるエネルギー障壁が大きくなる。したがって、図4(b)に示すように、ポテンシャルエネルギーの変位が界面で大きくなり、発光素子の発光効率が低下する。
以上のように、発光層3のn型半導体粒子21として、ZnS、ZnSeなどの亜鉛系材料を用いる場合には、酸化亜鉛系材料からなる透明電極2(又は、背面電極4)と組み合わせることにより、発光効率の良い発光素子を提供することができる。
なお、上記の例では、亜鉛を含む透明電極2(又は、背面電極4)として、アルミニウムをドープしたAZOとガリウムをドープしたGZOとを例にあげて説明したが、アルミニウム、ガリウム、チタン、ニオブ、タンタル、タングステン、銅、銀、ホウ素のうち少なくとも1種類をドープした酸化亜鉛を用いても同様である。
次に、本発明の実施の形態1に係る発光素子の発光層3の形成方法について説明する。
(a)薄膜の発光層の場合には、スパッタリング法、電子ビーム(EB)蒸着法、抵抗加熱蒸着法、CVD法等の真空成膜プロセスを用い、必要に応じて所定雰囲気下での熱処理を行うことによって、n型半導体粒子の粒子間にp型半導体が偏析した構造を有する発光層3(上記(i)の構成)を得ることができる。
(b)また、発光層23は、p型半導体材料を真空中あるいは不活性ガス中で熔融させておき、溶融しているp型半導体中にそれより融点の高いn型半導体粒子を分散させ、その後冷却することによって、p型半導体23の媒体中にn型半導体粒子21が分散した構造を有する発光層3(上記(ii)の構成)を得ることができる。
(c)また、p型半導体材料とn型半導体材料とをあらかじめ混合し、真空中で溶融させて、その後、冷却してp型半導体23の媒体中にn型半導体の結晶粒子21を析出させて、p型半導体23の媒体中にn型半導体の結晶粒子21が析出した構造を有する発光層3(上記(ii)の別例の構成)を得ることができる。
(d)さらに、上記(b)によりp型半導体23の媒体中にn型半導体粒子24を分散させ、あるいは上記(c)によりp型半導体の媒体中にn型半導体を析出させた後、粉砕して、p型半導体の媒体中にn型半導体が分散又は析出した複合体粒子粉末を得る。その後、該複合体粒子粉末を任意の有機溶媒等に分散させた後、インクジェット法、ディッピング法、スピンコート法、スクリーン印刷法、バーコート法、その他公知の溶剤キャスト法を使用して成膜し、その後、有機溶媒を揮発させて、n型半導体粒子の集合体で構成され、該粒子間にp型半導体が偏析している発光層3(上記(i)の構成)を得ることができる。
<実施例1>
本発明の実施例として、図2に示す別例の発光素子10aの製造方法を説明する。この別例の発光素子10aは、基板1の上に背面電極4が形成され、さらにその上に発光層3、透明電極2が順に積層されている。また、この発光層3は、n型半導体粒子の集合体で構成され、該粒子間にp型半導体が偏析した構造を有する(上記(i)の構成)。この実施例1では、EB蒸着法によって発光層3を形成した。
(1)シリコン基板上にPt膜を形成した基板1(4)を用意した。この場合、シリコン基板が基板1に対応し、Pt膜が背面電極4に対応する。
(2)次に、シリコン基板1のPt膜4上にEB蒸着法によって発光層3を以下の2段階の工程によって形成した。
a)EB蒸着装置には、蒸発源が3元のEB蒸着機を用いた。各蒸発源にZnS、CuSの粉末を入れ、10−6Torr台の真空中で各材料に電子ビームを照射し、材料を蒸発させて成膜を行った。この場合の基板温度は200℃とした。
b)上記の膜形成後、窒素ガス雰囲気中で、800℃、1時間の熱処理を行った。得られた膜について、X線回折法や断面のSEM観察を行って、膜の構造を調べた。その結果、膜は、微小なZnS粒子と粒子間に偏析するCuSとの混在物であった。なお、ZnS粒子は、n型半導体粒子であって、その粒子間に偏析するCuSはp型半導体である。
(3)次に、発光層3上にスパッタリング法によって、1mm角サイズのパターンで透明電極2を形成した。
以上の工程によって、別例の発光素子10aを得た。この発光素子10aについて、電極4と透明電極2との間に電源5を接続し評価を行った。なお、ここでは電源5として直流電源を用いたが、交流電源も使用することができる。電極2と電極4との間に電圧を印加していくと、印加電圧約10Vで発光が観測され、約30Vで約1000cd/mの輝度が得られた。
<効果>
本実施の形態に係る発光素子は、低い印加電圧において従来の発光素子よりも高い輝度を得ることができた。また、本実施の形態に係る発光素子は、従来のエレクトロルミネセンス素子よりも高い輝度および長い半減期を得ることができた。
<比較例>
比較例として、実施例1と同様な製造方法により発光素子をEB蒸着法によって作製した。
(1)ガラス基板上に透明導電膜を形成した基板を用意した。この場合、ガラス基板が基板に対応し、透明導電膜が透明電極に対応する。
(2)ガラス基板の上の透明導電膜の上に、EB蒸着法を用いて発光層を形成した。EB蒸着装置には、実施例1と同様に蒸発源が3元のエレクトロンビーム(EB)蒸着機を用いた。各蒸発源にZnS、酸化インジウム錫の粉末を入れ、10−6Torr台の真空中で各材料に電子ビームを照射し、材料を蒸発させて透明導電膜2上に成膜を行った。成膜の際に、酸素の導入、酸素分圧の変化など種々の条件を変えて作製した。また、基板温度は200℃とした。得られた膜は、X線回折法や断面のSEM観察を行って、膜の構造を調べた。その結果、膜は微小なZnS粒子と酸化インジウム錫との混在物であった(図13)。
(3)次に、発光層上にスパッタリング法によって、1mm角サイズのパターンでPt電極4を形成した。
以上の工程によって比較例の発光素子を作製した。この比較例の発光素子について、電極間に電圧を印加し評価を行った。その結果、直流電圧20Vを印加しても発光を確認できず、更に電圧を大きくしていくと発光素子の破壊が発生した。
上述の本発明の実施例1によって得られた発光素子と、比較例の発光素子とを比較したところ、本発明の発光素子は比較例の発光素子に比べ、安定して発光していた。すなわち、本発明の実施例1の発光素子は、直流電圧約30Vで約1000cd/mの発光輝度が得られたのに対し、比較例の発光素子は直流電圧の印加によって発光が確認できておらず、実施例1の発光素子が明らかに優れていた。
(実施の形態2)
<表示装置の概略構成>
図6は、本発明の実施の形態1に係るパッシブマトリクス型表示装置100の概略的な構成を示すブロック図である。このパッシブマトリクス型表示装置100は、表示部101と、前記EL素子を選択的に駆動する駆動部102と、駆動部102を制御し、電力を供給する制御部103から構成される。なお、本実施の形態においては、供給する電源としては、例えば、図9に示すように直流電源を用いている。また、駆動部102は、データ電極Xを駆動するデータ電極駆動回路121と走査電極Yを駆動する走査電極駆動回路122とを備える。
図7は、表示部101の構成を示す斜視図である。表示部101は、基板1と、第1方向(図6及び図7では列方向)に沿って互いに平行に延在して配置された複数のデータ電極X、X、X・・・X・・・Xと、発光層3と、上記第1方向に対して垂直な第2方向(図6及び図7では行方向)に沿って互いに平行に延在して配置された複数の走査電極Y、Y、Y・・・Y・・・Yとを備える。
一対のデータ電極Xと走査電極Yとが交差する部分は、画素Cijと呼ばれる。この表示部101は、N×M個の画素Cijが2次元配列されている。また、各画素Cijは、その添え字のiとjによって画素位置を表すものとする。例えば、図6の画素C11はデータ電極Xと走査電極Yとが交差する箇所の画素を表し、画素C21はデータ電極Xと走査電極Yとが交差する箇所の画素を表し、画素C12はデータ電極Xと走査電極Yとが交差する箇所の画素を表す。従って、画素C11と画素C21は走査電極Yに接続されており、画素C12は走査電極Yに接続されている。一方、画素C11と画素C12はデータ電極Xに接続されており、画素C21はデータ電極Xに接続されている。
図8は、図7のA−A線に沿った発光面に垂直な断面図である。図8に示すように、それぞれの画素Cijは、基板1の上に順に積層された、データ電極X(背面電極4)、発光層3、及び走査電極Y(透明電極2)からなる。各画素Cijは一つのEL素子に対応するものである。したがって、表示部101は、複数のEL素子が2次元配列していると考えることができる。なお、この実施の形態では、発光層3が各画素Cijにわたって連続する層として設けられているが、このような構成に限られず、発光層3が各画素Cijごとに別個に設けられている構成であってもよい。例えば、発光層3を各画素Cijごとに分離してもよい。あるいは、各画素CijごとにEL素子がデータ電極X及び走査電極Yを除いてそれぞれ分離されており、各EL素子が2次元配列したEL素子アレイを用いてもよい。この場合、N個のデータ電極XとM個の走査電極Yのそれぞれの交差する画素CijのすべてにEL素子を構成していればよい。
図9は、図8の一つの画素Cijについて、一つのEL素子10と考えた場合の模式的な概略図である。このEL素子10は、基板1の上に、背面電極4、発光層3、透明電極2が順に積層されて構成され、直流電源5によって発光層3に電圧が印加され、発光層3から発光させる。なお、この例では、背面電極4は、データ電極Xに対応し、透明電極2は、走査電極Yに対応する。また、背面電極4及び透明電極2と、データ電極X及び走査電極Yとの対応は上記の場合には限られず、逆の対応関係としてもよい。さらに、それぞれの積層順を逆としてもよい。
このEL素子10によれば、発光層3が、図9に示すように、n型半導体粒子21の集合体で構成され、該粒子間にp型半導体23が偏析していることを特徴とする。なお、ここでは、図9に示すように、基板1の上に背面電極4を設ける場合について説明するが、これに限られず、例えば、図10の別例のEL素子10aに示すように、基板1の上に透明電極2を設け、その上に発光層3、背面電極4を順に積層する構成としてもよい。あるいは、図11に示す別例のEL素子10bでは、発光層3が、p型半導体23の媒体の中にn型半導体粒子21が分散して構成されたことを特徴とする。このように、n型半導体粒子とp型半導体との界面を多く形成することによって、正孔の注入性が改善され、電子と正孔の再結合型発光が効率よく生じ、低電圧で高輝度発光する発光素子を実現することができる。さらに、n型半導体粒子がp型半導体を介して電極と電気的に接続されている構成とすることによって、発光効率を向上させることができ、低電圧で発光が可能で、且つ、高輝度発光する表示装置が得られる。
なお、発光層3をRGBの各色の蛍光体で色分けして成膜することによって、カラー表示装置を得ることができる。あるいは、透明電極/発光層/背面電極といったRGBの各色毎の発光ユニットを積層してもよい。また更に、別例のカラー表示装置の場合、単一色又は2色の発光層による表示装置を作成した後、カラーフィルタ及び/又は色変換フィルタを用いて、RGBの各色を表示することもできる。
図12は、カラー表示装置の表示部の一例である。本例ではさらに、基板1と、複数のデータ電極の間に、色変換層115と、カラーフィルタ116とを備える。色変換層115は発光層3とカラーフィルタ116との間に備えられ、発行層3からの光を白色光に変換する。カラーフィルタ116は、各データ電極1本につき、それぞれ赤色フィルタR、緑色フィルタG、青色フィルタBのうち1つが備えられる。色変換層115からの白色光は、赤色フィルタR、緑色フィルタG、青色フィルタBによってそれぞれ赤色光、緑色光、青色光が透過され、表示される。
なお、上述の構成に限られず、発光層3を複数層設ける、電極と発光層との間に電流制限を目的として薄い誘電体層を複数設ける、交流電源により駆動する、走査電極及びデータ電極の両方を透明電極にする、どちらか片側の電極を黒色電極とする、表示装置100の全部又は一部を封止する構造を更に備える、発光取出し方向前方に発光層3からの発光色を色変換する構造を更に備える等、適宜変更が可能である。
<表示装置の制御方法>
走査電極2とデータ電極4により選択された画素Cijにおいて、発光層3に発光開始電圧以上の電圧を印加すると、発光層3内を電流が流れ、発光に至る。
(a)まず、制御手段103に画像データS1が入力される。
(b)次に、制御手段103は、それぞれの画素について発光させるか否か等の情報に基づき、データ電極駆動回路121と走査電極駆動回路122を駆動する。
(c)走査電極駆動回路122は、発光させる画素Cijに対応した走査電極に電圧を印加する。
(d)データ電極駆動回路121は、発光させる画素Cijに対応したデータ電極に電圧を印加する。
(e)電圧が印加された走査電極とデータ電極の交わる画素Cijにおいて発光層3に発光開始電圧以上の電圧が印加されると、発光層3内を電流が流れ、発光に至る。
なお、複数の画素から任意の画素を発光させる方法としては、選択した1つの走査電極と、選択した1つのデータ電極とに電圧を印加して1画素ごとに発光させる方式や、選択した1つの走査電極と、選択した1または複数のデータ電極とに電圧を印加して1走査電極ごとに発光させる線順次走査方式等が適用可能である。
以下、実施の形態1に係る表示装置の製造方法の一実施例を説明する。この例では、図8と同様に、データ電極Xを背面電極4とし、走査電極Yを透明電極2としている。なお、前述の他の材料からなる発光層についても同様の製造方法が利用可能である。
(1)基板1としてコーニング1737を準備する。
(2)基板1上に、データ電極X(背面電極4)を形成する。例えばAlを使用し、フォトリソグラフィ法によって、所定の間隔を隔てて、略平行にパターン形成する。膜厚は200nmとする。
(3)基板1上に、発光層3を形成する。複数の蒸発源にZnSとCuSの粉体をそれぞれ投入し、真空中(10−6Torr台)にて、各材料にエレクトロンビームを照射し、基板1上に発光層3として成膜する。このとき、基板温度は200℃とし、ZnSとCuSを共蒸着する。
(4)発光層3の成膜後、硫黄雰囲気中、700℃で約1時間焼成する。この膜をX線回折やSEMによって調べることによって、微小なZnS結晶粒の多結晶構造とCuSの偏析部とが観察される。詳細は明らかではないが、ZnSとCuSとの相分離が生じ、前記偏析構造が形成されたものと考えられる。
(5)続いて、走査電極Y(透明電極2)を、例えばITOを使用し、パターン形成する。データ電極114は、所定の間隔を隔てて略平行に、且つデータ電極Xに対して略直交するように形成する。膜厚は200nmとする。
(6)続いて、発光層3及び走査電極Y上に、保護層(図では省略)として、例えば窒化シリコン等の透明絶縁体層を形成する。
以上の工程によって、本実施例の表示装置を得られる。
この表示装置は、従来型EL素子のように交流で高電圧の必要がなく、5〜10V程度の直流で必要十分な発光輝度を得ることができる。
また、カラーの表示装置の場合、発光層をRGBの各色の蛍光体で色分けして成膜すればよい。あるいは、透明電極/発光層/背面電極といったRGB各色毎の発光ユニットを積層してもよい。また更に、別例のカラー表示装置の場合、単一色又は2色の発光層による表示装置を作成した後、カラーフィルタ及び/又は色変換フィルタを用いて、RGBの各色を表示することもできる。
<効果>
本実施の形態に係る表示装置は、従来の表示装置のように交流高電圧の必要がなく、直流低電圧で必要十分な発光輝度を得ることができる。
本発明の発光素子は、高い発光輝度を有するので、LCDのバックライト、照明、ディスプレイ等に利用可能である。
本発明に係る表示装置は、低電圧駆動で高輝度表示が得られる表示装置を提供するものである。特にデジタルカメラ、カーナビーゲーションシステム、テレビ等のディスプレイデバイスとして有用である。
本発明の実施の形態1に係る発光素子の発光面に垂直な方向から見た概略構成図である。 本発明の実施の形態1に係る別例の発光素子の発光面に垂直な方向から見た概略構成図である。 (a)は、ZnSからなる発光層とAZOからなる透明電極(又は、背面電極)との界面付近の模式図であり、(b)は、(a)のポテンシャルエネルギーの変位を説明する模式図である。 (a)は、比較例として、ZnSからなる発光層とITOからなる透明電極との界面の模式図であり、(b)は、(a)のポテンシャルエネルギーの変位を説明する模式図である。 本発明の実施の形態1に係るさらに別例の発光素子の発光面に垂直な概略構成図である。 本発明の実施の形態2に係るパッシブマトリクス型表示装置の構成を示すブロック図である。 図6の表示装置を構成する表示部の構成を示す斜視図である。 図7のA−A線に沿った発光面に垂直な断面図である。 図8の各画素Cijを一つのEL素子と考えた場合の構成を示す概略図である。 図9の別例のEL素子の構成を示す概略図である。 図8の各画素Cijを一つのEL素子と考えた場合のさらに別例の構成を示す概略図である。 本発明の別例のカラー表示装置の構成を示す概略図である。 従来例の無機EL素子の発光面に垂直な方向から見た概略構成図である。

Claims (24)

  1. 第1電極と、
    前記第1電極と対向して配置された第2電極と、
    前記第1電極と前記第2電極との間に挟持された発光層であって、p型半導体の媒体の中にn型半導体粒子が分散して構成されている発光層と
    を備えた発光素子。
  2. 第1電極と、
    前記第1電極と対向して配置された第2電極と、
    前記第1電極と前記第2電極との間に挟持された発光層であって、n型半導体粒子の集合体で構成され、該粒子間にp型半導体が偏析している発光層と
    を備えた発光素子。
  3. 前記n型半導体粒子は、前記p型半導体を介して前記第1及び第2電極と電気的に接合されていることを特徴とする請求項2に記載の発光素子。
  4. 前記n型半導体粒子及び前記p型半導体は、それぞれ化合物半導体であることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の発光素子。
  5. 前記n型半導体粒子は、第12族−第16族間化合物半導体であることを特徴とする請求項4に記載の発光素子。
  6. 前記n型半導体粒子は、第13族−第15族間化合物半導体であることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の発光素子。
  7. 前記n型半導体粒子は、カルコパイライト型化合物半導体であることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の発光素子。
  8. 前記第2半導体物質は、CuS、ZnS、ZnSe、ZnSSe、ZnSeTe、ZnTe、GaN、InGaNのいずれかであることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の発光素子。
  9. 前記n型半導体粒子が亜鉛を含む亜鉛系材料であって、
    前記第1電極又は前記第2電極のうち、少なくとも一方の電極は、亜鉛を含む材料からなる、請求項1から8のいずれか一項に記載の発光素子。
  10. 前記一方の電極を構成する前記亜鉛を含む材料は、酸化亜鉛を主体とし、アルミニウム、ガリウム、チタン、ニオブ、タンタル、タングステン、銅、銀、ホウ素からなる群から選ばれる少なくとも一種を含むことを特徴とする請求項9に記載の発光素子。
  11. 前記第1電極又は前記第2電極の少なくとも一方の電極に面して支持する支持体基板をさらに備えることを特徴とする請求項1から10のいずれか一項に記載の発光素子。
  12. 前記第1電極及び前記第2電極のそれぞれに対向し、且つ、前記発光層からの発光の取出し方向の前方に色変換層をさらに備えることを特徴とする請求項1から11のいずれか一項に記載の発光素子。
  13. 基板と、
    前記基板上に第1方向に互いに平行に延在している複数の走査電極と、
    前記第1方向に対して垂直な第2方向に互いに平行に延在している複数のデータ電極と、
    前記走査電極と前記データ電極間に挟まれて設けられた少なくとも1層の発光層と
    を備え、
    前記走査電極と前記データ電極の少なくとも一方が透明又は半透明であって、前記発光層が、p型半導体の媒体の中にn型半導体粒子が分散して構成されていることを特徴とする表示装置。
  14. 基板と、
    前記基板上に第1方向に互いに平行に延在している複数の走査電極と、
    前記第1方向に対して垂直な第2方向に互いに平行に延在している複数のデータ電極と、
    前記走査電極と前記データ電極間に挟まれて設けられた少なくとも1層の発光層と
    を備え、
    前記走査電極と前記データ電極の少なくとも一方が透明又は半透明であって、前記発光層が、n型半導体粒子の集合体で構成され、該粒子間にp型半導体が偏析していることを特徴とする表示装置。
  15. 前記n型半導体粒子は、前記p型半導体を介して前記第1及び第2電極と電気的に接合されていることを特徴とする請求項14に記載の表示装置。
  16. 前記n型半導体粒子及び前記p型半導体は、それぞれ化合物半導体であることを特徴とする請求項13から15のいずれか一項に記載の表示装置。
  17. 前記n型半導体粒子は、第12族−第16族間化合物半導体であることを特徴とする請求項16に記載の表示装置。
  18. 前記n型半導体粒子は、第13族−第15族間化合物半導体であることを特徴とする請求項13から16のいずれか一項に記載の表示装置。
  19. 前記n型半導体粒子は、カルコパイライト型化合物半導体であることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の表示装置。
  20. 前記第2半導体物質は、CuS、ZnS、ZnSe、ZnSSe、ZnSeTe、ZnTe、GaN、InGaNのいずれかであることを特徴とする請求項13から15のいずれか一項に記載の表示装置。
  21. 前記n型半導体粒子が亜鉛を含む亜鉛系材料であって、
    前記第1電極又は前記第2電極のうち、少なくとも一方の電極は、亜鉛を含む材料からなる、請求項13から20のいずれか一項に記載の表示装置。
  22. 前記一方の電極を構成する前記亜鉛を含む材料は、酸化亜鉛を主体とし、アルミニウム、ガリウム、チタン、ニオブ、タンタル、タングステン、銅、銀、ホウ素からなる群から選ばれる少なくとも一種を含むことを特徴とする請求項21に記載の表示装置。
  23. 前記第1電極又は前記第2電極の少なくとも一方の電極に面して支持する支持体基板をさらに備えることを特徴とする請求項13から22のいずれか一項に記載の表示装置。
  24. 前記第1電極及び前記第2電極のそれぞれに対向し、且つ、前記発光層からの発光の取出し方向の前方に色変換層をさらに備えることを特徴とする請求項13から23のいずれか一項に記載の表示装置。
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