JP4941711B2 - 位置決めステージと移送システム - Google Patents
位置決めステージと移送システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP4941711B2 JP4941711B2 JP2006207943A JP2006207943A JP4941711B2 JP 4941711 B2 JP4941711 B2 JP 4941711B2 JP 2006207943 A JP2006207943 A JP 2006207943A JP 2006207943 A JP2006207943 A JP 2006207943A JP 4941711 B2 JP4941711 B2 JP 4941711B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- axis direction
- positioning stage
- arm member
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Machine Tool Units (AREA)
Description
図7は、一対のX軸リニアモータを所定距離を隔てて平行に配置し、各X軸リニアモータのスライダ間をブリッジ部材で橋渡しし、このブリッジ部材上にY軸リニアモータを設けたワーク加工装置の外観斜視図である。
41及び42は、これらリニアモータのステータ上をX軸方向に走行するスライダである。
(1)ワークをステージ内外に搬入搬出するローダ及びアンローダ並びに搬送装置が位置決めステージ間に専用装置として別途必要であり、連結されるワーク加工装置の数が多くなるとこれら専用装置の占めるスペースのために設置可能なワーク加工装置の数に制約を生じ、スペース効率が低下する。
図8において、101、102、103はX軸方向に3個連結された同一構造のワーク加工装置である。ワーク加工装置101にセットされたワーク2は、このステージでの加工が終了すると矢印Pで示すようにX軸方向に移送され、ワーク加工装置102に2’で示す位置にセットされてこのステージでの加工が実行される。
移送手段は、上流側のワーク加工装置にセットされたワークにアクセスして移送し、これを下流側のワーク加工装置の所定位置に移送するアクチュエータ機能を備えた手段で実現される。
図11は、操作アーム901,902が伸ばされた状態を示す斜視図である。
図12はワーク加工装置の一実施形態を示す平面図(a),正面図(b),側面図(c)である。なお、図7で説明した従来例と同一要素には同一符号を付している。
70は筐体1に取付けられたワーク搬送手段であり、図示の例では矩形状のワーク2の長手方向の端部付近の対向する側面に4個設けられている。
図12はワーク加工装置での加工処理が終了し、ブリッジ部材5が上流側に移動し、吸着盤60による吸着状態が解除され、チューブ50から圧縮気体が送風されてワークがZ方向に記号Kで示す距離(例えば0.5mm)浮上するとともに、ワーク搬送手段70a,70a’,70b,70b’の先端部が矢印A方向に伸長してワークの側面を支持した状態を示している。
この場合、ワーク搬送手段70自身がリニアモータにより単独で又はワーク搬送手段70a,70a’およびワーク搬送手段70b,70b’が一対となって移動し、下流側のワーク搬送手段70c,70c’,70d,70d’はワーク2が自身の前に来た段階でワーク2の側面に向かって先端部を伸長させ、ワークを支持して所定の位置に移動させる。なお、ワーク2が移動している状態ではブリッジ部材5はそれぞれのワーク加工装置の上流側(図示の位置)に待機している。
また、この例では上流側のワーク加工装置の所定の位置に新たなワークが固定され、ブリッジ部材5に搭載された処理手段30によりワーク2のそれぞれに対して加工が施されている状態を示している。
次にワークの吸引が解除され矢印Z方向からの圧縮気体の噴射によりワーク2が浮上する。浮上したワークはストッパ73で浮上が阻止される。
次にワーク搬送手段70がX方向に移動してワークを移動させる。
この例では回転部材72を有するワーク搬送手段71自身が筐体1に固定されており、ワークは回転部材72に支持され、回転部材72の回転により搬送される。
次にストッパ73がわずかに上方に移動してワーク2と非接触の状態となり、ワーク搬送手段71が矢印E方向に移動してワーク2の側面に接触する。
そして接触した状態で回転部材72が矢印C方向に回転することによりワーク2が矢印D方向に移動可能となる。
ワーク2は移送前の状態では搬送手段71a,71a’,71b,71b’の回転部材72(図5参照)で支持されているが、移送の途中では71b,71b’,71c,71c’で支持された状態となる。
即ち、図16に示すストッパ73をワーク2に接触させ、回転部材72をワーク2の側面から離間させ、圧縮気体の圧力を下げて吸着盤60上に載置して吸着し固定する。
これらワーク搬送部材の動作は図示しない制御装置により制御される。
また、ワーク2のXY方向の正確な位置決めは別の手段により行うものとする。
以下、本発明の特徴部につき説明する。
図20により、ワーク搬送手段の構成を説明する。
これら一対の搬送スライダ部材81,82間を橋渡しして、搬送ブリッジ部材83が配置されている。
図21はワーク加工前の待機状態を示す平面図、図22はワーク加工中の状態を示す平面図、図23はワーク移送中の状態を示す平面図である。
89は吸着盤であり、凹部1c面上にワーク2(図示せず)の形状に合わせてZ軸方向に所定の高さもって形成されている。ワーク2は、この吸着盤89の上面に真空吸着手段(図示せず)により吸着固定されて加工処理される。
加工期間中は、搬送ブリッジ手段83は、図21の待機位置を維持している。
加工処理が終了すると、ワーク2はリフトピン手段90によってZ軸方向にリフトアップされる。
簡単のため、A列とB列のリフトピン各1個及びアーム部材87の部分を図示している。
図24(A)の初期位置では、ワーク2は吸着盤89上に吸着保持されている。
図24(C)ではA列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材87のB列までの移動スペースが出現する。
図24(E)では、引き込まれていたA列のピンがワーク2の下面まで伸ばされる。
図24(F)では、B列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材87のC列(図示せず)までの移動スペースが出現する。
図24(H)では、引き込まれていたB列のピンがワーク2の下面まで伸ばされる。
図24(I)は、以上の動作の繰り返しを表記しており、この操作によりアーム部材87を目的のY軸方向位置まで順次移動操作する。
図25(A)の初期位置では、リフトピン手段90の全ピンが初期位置に引き込まれた状態でワーク2はアーム部材87で支持されている。
図25(C)ではB列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材87のA列までの移動スペースが出現する。
図25(E)では、引き込まれていたB列のピンがワーク2の下面まで伸ばされる。
図25(F)では、A列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材87の待機位置までの移動スペースが出現する。
図25(H)では、引き込まれていたB列のピンがワーク2の下面まで伸ばされる。
図25(I)は、以上の動作の繰り返しを表記しており、この操作によりアーム部材87は待機位置までY軸方向位置に移動する。
図26(A)は、上流側ステージのアーム部材87によりワーク2が下流側ステージスの吸着盤89の位置に移送された状態であり、下流側ステージスのリフトピン手段90の全ピンが初期位置に引き込まれている。
93は、下流側ステージのアーム部材を示す。
図26(C)では、上流側ステージのアーム部材87が上流側ステージに戻される。
図26(D)では、リフトピン手段90の全ピンが初期位置に引き込まれ、ワーク2は吸着盤89の上面に保持された状態となる。
94及び95は、筐体1の突出部1a及び1bの内壁部にX軸方向に配置された一対のガイドレールであり、搬送スライダ部材81,82は、これらガイドレールに取り付けられてX軸方向に移動操作される。
操作手段は、リニアモータ、ボールネジ、タイミングベルト等を採用することが可能である。
図29に示す如く、3個の隣接するステージにワーク2を搬送させる場合について説明する。以下、上流側から順次各ステージを第1のステージ、第2のステージ、第3のステージと称する。
要するに、X軸方向に複数個のステージを連結した場合に、搬送ビームでの搬送ストロークが足りなくなってしまう。
X軸方向にスライダを移動する一対のX軸リニアモータを平行配置し、前記一対のX軸リニアモータのスライダ間に橋渡ししたブリッジ部材にY軸リニアモータを設け、前記Y軸リニアモータのスライダに搭載したツールを用いて吸着盤上に載置された加工対象となるワークに対して所定の処理をする位置決めステージにおいて、前記一対のX軸リニアモータを構成するスライダであってX軸方向に移動する一対の搬送スライダ部材とこの搬送スライダ部材間に橋渡しされた搬送ブリッジ部材とこの搬送ブリッジ部材に取り付けられて前記ワークの下面を支持しX軸方向に伸びたアーム部材とを備え前記ワークを支持してX軸方向に移動しステージの外に対してワークの受け渡しを行うワーク搬送手段と、単体の位置決めステージが前記X軸方向に少なくとも2個連続して配置された場合における上流側の装置のブリッジ部材とこの上流側の装置に隣接する下流側の装置の搬送ブリッジ部材との存在により制約されることにより生ずる前記上流側の装置の前記アーム部材の搬送ストローク不足を補充して前記アーム部材と前記ワークとの間に設けられ搬送時に前記ワークを前記上流側の装置での配置位置と同じ前記下流側の装置での配置位置まで搬送する補充搬送手段とを具備したことを特徴とする。
前記補充搬送手段は、一方の面が前記ワークの下面を支持する第2のアーム部材と、前記第2のアーム部材の他方の面に一方の面が接続され他方の面が前記アーム部材に接続され前記第2のアーム部材をX軸方向に摺動する摺動手段とを具備したことを特徴とする。
前記摺動手段は、前記第2のアーム部材の他方の面に一方の面が接続され他方の面が前記アーム部材に接続される摺動ブロックと、この摺動ブロックに螺合されるボールねじの棒と、このボールねじの棒の一端に取り付けられ前記摺動ブロックをX軸方向に摺動するモータとを具備したことを特徴とする。
前記補充搬送手段は、前記一対のX軸リニアモータのスライダに接続され搬送時に前記ワークを載置したまま前記吸着盤をX軸方向に前記ステージ端まで移動する移動手段を具備したことを特徴とする。
前記一対の搬送スライダ部材は、前記一対のX軸リニアモータのスライダにより移動操作されることを特徴とする。
前記アーム部材は、待機状態では前記ワークの加工処理位置外に配置され、前記ワークの搬送時にはZ軸方向にリフトアップされた前記ワークの下面に移動操作されることを特徴とする。
前記ワークをその下面側よりZ軸方向にリフトアップ又はリフトダウン操作するための複数のリフトピン手段を備えることを特徴とする。
請求項1乃至請求項7記載の位置決めステージを、X軸方向に複数個連結したことを特徴とする。
前記各位置決めステージは、前記ワークの受け入れ側と受け渡し側が共通のメカニカルインターフェース構造になっていることを特徴とする。
前記ワーク搬送手段は、上流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを、連結された下流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻ることを特徴とする。
前記ワーク搬送手段は、上流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを、連結された下流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送し、下流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを上流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻ることを特徴とする。
アーム部材の搬送ストロークを補充して、ワークを搬送する補充搬送手段が設けられたので、搬送ブリッジ部材等により生ずる搬送のデッドスペースの影響が排除できて、連続して配置されたステージ間のワークの搬送を可能にする位置決めステージが得られる。
補充搬送手段は、一方の面がワークの下面を支持する第2のアーム部材と、第2のアーム部材の他方の面に一方の面が接続され他方の面がアーム部材に接続され第2のアーム部材をX軸方向に摺動する摺動手段とが設けられたので、アーム部材を伸ばした構成が得られ、簡単な構成により、安価な位置決めステージが得られる。
摺動手段は、第2のアーム部材の他方の面に一方の面が接続され他方の面がアーム部材に接続される摺動ブロックと、摺動ブロックに螺合されるボールネジの棒と、ボールネジの棒の一端に取り付けられ摺動ブロックをX軸方向に摺動するモータとが設けられたので、補充搬送が確実に行うことができる位置決めステージが得られる。
補充搬送手段は、搬送時にワークを載置したまま吸着盤を、X軸方向にステージ端まで移動する移動手段が設けられたので、補充搬送が確実に行うことができる位置決めステージが得られる。
一対の搬送スライダ部材は、一対のX軸リニアモータにより移動操作されるので、X軸方向移動手段を新たに設ける必要がなく、安価な位置決めステージが得られる。
アーム部材は、待機状態ではワークの加工処理位置外に配置され、ワークの搬送時にはZ軸方向にリフトアップされたワークの下面に移動操作されるので、加工処理が容易な位置決めステージが得られる。
ワークをその下面側よりZ軸方向にリフトアップ又はリフトダウン操作するための複数のリフトピン手段を備えるので、ワークのリフトアップ又はリフトダウン操作が簡単にできる位置決めステージが得られる。
前記位置決めステージを、X軸方向に複数個連結したので、搬送ブリッジ部材等により生ずる搬送のデッドスペースの影響が排除できて、連続して配置されたステージ間のワークの搬送を確実に可能にする移送システムが得られる。
前記各位置決めステージは、前記ワークの受け入れ側と受け渡し側が共通のメカニカルインターフェース構造になっていることを特徴とするので、部品の共通化が図れ、安価な移送システムが得られる。
ワーク搬送手段は、上流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを、連結された下流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻るので、ワークの搬送が確実にできる移送システムが得られる。
ワーク搬送手段は、上流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを、連結された下流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送し、下流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを上流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻るので、上流側での再加工が容易にできる移送システムが得られる。
図1は本発明の一実施例の要部構成説明図で、(a)は平面図、(b)は側面図、図2,図3,図4,は図1の動作説明図で、(a)は平面図、(b)は側面図である。
図12と同様な吸着盤60が使用された実施例である。
図において、図12と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図12との相違部分のみ説明する。
ワーク搬送手段11は、一対の搬送スライダ部材111,112と搬送ブリッジ部材113とアーム部材114とを備える。
搬送ブリッジ部材113は、この搬送スライダ部材111,112間に橋渡しされている。
補充搬送手段12は、アーム部材114の搬送ストロークを補充して、ワーク2を搬送する。
移動手段は、例えば、X軸リニアモータ31,32を利用して、吸着盤60をX軸方向に移動する。
また、アーム部材114は、待機状態ではワーク2の加工処理位置外に配置され、ワーク2の搬送時にはZ軸方向にリフトアップされたワーク2の下面に移動操作される。
また、図1では、位置決めステージを、X軸方向に複数個連結している。
また、ワーク搬送手段11は、上流側の位置決めステージで加工処理済みのワーク2を、連結された下流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻る。
そして、第1のステージの搬送端に第2のステージの吸着盤60を移動手段により移動する。
図4に示す如く、第2のステージの吸着盤60を移動手段により加工処理位置に移動する。
以上の動作を順次下流のステージで行い、ワーク2が搬送される。
補充搬送手段12は、搬送時にワーク2を載置したまま吸着盤60を、X軸方向にステージ端まで移動する移動手段が設けられたので、補充搬送が確実に行うことができる位置決めステージが得られる。
本実施例においては、補充搬送手段13は、一方の面がワーク2の下面を支持する第2のアーム部材131と、第2のアーム部材131の他方の面に一方の面が接続され、他方の面がアーム部材114に接続され、第2のアーム部材131をX軸方向に摺動する摺動手段132とを有する。
補充搬送手段13は、一方の面がワーク2の下面を支持する第2のアーム部材131と、第2のアーム部材131の他方の面に一方の面が接続され他方の面がアーム部材114に接続され第2のアーム部材131をX軸方向に摺動する摺動手段132とが設けられたので、アーム部材131を伸ばした構成が得られ、簡単な構成により、安価な位置決めステージが得られる。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
1a 突出部
1b 突出部
1c 凹部
2 ワーク
31 X1軸リニアモータ
32 X2軸リニアモータ
41 スライダ
42 スライダ
5 ブリッジ部材
6 Y軸リニアモータ
7 スライダ
101 ワーク加工装置
102 ワーク加工装置
103 ワーク加工装置
103c 凹部
201 インターフェース部
202 インターフェース部
203 インターフェース部
301 移送手段
302 移送手段
601 平行レール
602 平行レール
700 スライダ
800 アクチュエータ
901 操作アーム
902 操作アーム
30 処理手段
50 チューブ
60 吸着盤
70 ワーク搬送手段
70a ワーク搬送手段
70a’ ワーク搬送手段
70b ワーク搬送手段
70b’ ワーク搬送手段
70x 伸長部材
71 ワーク搬送手段
71a ワーク搬送手段
71a’ ワーク搬送手段
71b ワーク搬送手段
71b’ ワーク搬送手段
72 回転部材
73 ストッパ
81 搬送スライダ部材
82 搬送スライダ部材
83 搬送ブリッジ部材
84 Y軸リニアモータ
85 スライダ
86 スライダ
87 アーム部材
88 アーム部材
87a 連結部材
88a 連結部材
89 吸着板
90 ピン手段
91 ピン
92 ピン操作部
93 アーム部材
94 ガイドレール
95 ガイドレール
11 ワーク搬送手段
111 搬送スライダ部材
112 搬送スライダ部材
113 搬送ブリッジ部材
114 アーム部材
12 補充搬送手段
13 補充搬送手段
131 第2のアーム部材
132 摺動手段
1321 摺動ブロック
1322 ボールねじの棒
1323 モータ
Claims (11)
- X軸方向にスライダを移動する一対のX軸リニアモータを平行配置し、前記一対のX軸リニアモータのスライダ間に橋渡ししたブリッジ部材にY軸リニアモータを設け、前記Y軸リニアモータのスライダに搭載したツールを用いて吸着盤上に載置された加工対象となるワークに対して所定の処理をする位置決めステージにおいて、
前記一対のX軸リニアモータを構成するスライダであってX軸方向に移動する一対の搬送スライダ部材と
この搬送スライダ部材間に橋渡しされた搬送ブリッジ部材と
この搬送ブリッジ部材に取り付けられて前記ワークの下面を支持しX軸方向に伸びたアーム部材とを備え
前記ワークを支持してX軸方向に移動しステージの外に対してワークの受け渡しを行うワーク搬送手段と、
単体の位置決めステージが前記X軸方向に少なくとも2個連続して配置された場合における上流側の装置のブリッジ部材とこの上流側の装置に隣接する下流側の装置の搬送ブリッジ部材との存在により制約されることにより生ずる前記上流側の装置の前記アーム部材の搬送ストローク不足を補充して前記アーム部材と前記ワークとの間に設けられ搬送時に前記ワークを前記上流側の装置での配置位置と同じ前記下流側の装置での配置位置まで搬送する補充搬送手段と
を具備したことを特徴とする位置決めステージ。 - 前記補充搬送手段は、一方の面が前記ワークの下面を支持する第2のアーム部材と、
前記第2のアーム部材の他方の面に一方の面が接続され他方の面が前記アーム部材に接続され前記第2のアーム部材をX軸方向に摺動する摺動手段と
を具備したことを特徴とする請求項1記載の位置決めステージ。 - 前記摺動手段は、前記第2のアーム部材の他方の面に一方の面が接続され他方の面が前記アーム部材に接続される摺動ブロックと、
この摺動ブロックに螺合されるボールねじの棒と、
このボールねじの棒の一端に取り付けられ前記摺動ブロックをX軸方向に摺動するモータと
を具備したことを特徴とする請求項2記載の位置決めステージ。 - 前記補充搬送手段は、前記一対のX軸リニアモータのスライダに接続され搬送時に前記ワークを載置したまま前記吸着盤をX軸方向に前記ステージ端まで移動する移動手段
を具備したことを特徴とする請求項1記載の位置決めステージ。 - 前記一対の搬送スライダ部材は、前記一対のX軸リニアモータのスライダにより移動操作されること
を特徴とする請求項1乃至請求項4の何れかに記載の位置決めステージ。 - 前記アーム部材は、待機状態では前記ワークの加工処理位置外に配置され、前記ワークの搬送時にはZ軸方向にリフトアップされた前記ワークの下面に移動操作されること
を特徴とする請求項1乃至請求項5の何れかに記載の位置決めステージ。 - 前記ワークをその下面側よりZ軸方向にリフトアップ又はリフトダウン操作するための複数のリフトピン手段を備えること
を特徴とする請求項1乃至請求項6の何れかに記載の位置決めステージ。 - 請求項1乃至請求項7記載の位置決めステージを、X軸方向に複数個連結したことを特徴とする移送システム。
- 前記各位置決めステージは、前記ワークの受け入れ側と受け渡し側が共通のメカニカルインターフェース構造になっていることを特徴とする請求項8記載の移送システム。
- 前記ワーク搬送手段は、上流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを、連結された下流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻ることを特徴とする請求項8又は請求項9記載の移送システム。
- 前記ワーク搬送手段は、上流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを、連結された下流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送し、下流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを上流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻ることを特徴とする請求項8又は請求項9記載の移送システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006207943A JP4941711B2 (ja) | 2006-07-31 | 2006-07-31 | 位置決めステージと移送システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006207943A JP4941711B2 (ja) | 2006-07-31 | 2006-07-31 | 位置決めステージと移送システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008030171A JP2008030171A (ja) | 2008-02-14 |
JP4941711B2 true JP4941711B2 (ja) | 2012-05-30 |
Family
ID=39120111
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006207943A Expired - Fee Related JP4941711B2 (ja) | 2006-07-31 | 2006-07-31 | 位置決めステージと移送システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4941711B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6377631A (ja) * | 1986-09-19 | 1988-04-07 | Meidensha Electric Mfg Co Ltd | ワ−ク脱載荷装置におけるワ−ク移動用フオ−クの制御方法 |
JP3233110B2 (ja) * | 1993-11-24 | 2001-11-26 | 豊田工機株式会社 | フレキシブルトランスファライン |
JPH11297616A (ja) * | 1998-04-09 | 1999-10-29 | Canon Inc | ステージ装置およびこれを用いた露光装置ならびにデバイス製造方法 |
JP2006082148A (ja) * | 2004-09-14 | 2006-03-30 | Yokogawa Electric Corp | 移送システム |
-
2006
- 2006-07-31 JP JP2006207943A patent/JP4941711B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008030171A (ja) | 2008-02-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6191721B2 (ja) | 搬送装置、搬送方法、露光装置、及びデバイス製造方法 | |
KR101126501B1 (ko) | 전자 부품 장착 장치 | |
CN109791370B (zh) | 曝光装置、平板显示器的制造方法、元件制造方法、及曝光方法 | |
KR20080023647A (ko) | 기판 검사 장치 | |
JP5386238B2 (ja) | パネル基板搬送装置および表示パネルモジュール組立装置 | |
KR102216809B1 (ko) | 물체 교환 방법, 물체 교환 시스템, 노광 장치, 플랫 패널 디스플레이의 제조 방법, 및 디바이스 제조 방법 | |
KR100693696B1 (ko) | 기판위치결정장치 | |
JP4941711B2 (ja) | 位置決めステージと移送システム | |
JP6132654B2 (ja) | 表面実装機 | |
JP5990914B2 (ja) | 搬送装置 | |
JP6595276B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP4857983B2 (ja) | 移送システム | |
JP2017059777A (ja) | 搬送装置およびはんだボール印刷システム | |
JP2007283428A (ja) | ワーク加工装置およびワーク移送システム | |
US6688840B2 (en) | Transport apparatus and method | |
JP4962760B2 (ja) | 移送システム | |
JP4552144B2 (ja) | 位置決めステージ及びこれを用いた移送システム | |
CN111661585A (zh) | 一种循环工作设备 | |
JP2005217020A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2007115982A (ja) | 電子部品移載装置 | |
KR102305397B1 (ko) | 기판 반송 장치 및 도포 장치 | |
JP2008114312A (ja) | 位置決めステージとこれを用いた移送システム | |
JP5258552B2 (ja) | 環境試験装置 | |
KR19990041714A (ko) | 반도체 카세트 이송장치 | |
JP2006005301A (ja) | 基板搬送装置および基板処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110531 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110531 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110726 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120202 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120215 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150309 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |