JP4939764B2 - インクジェット配向膜印刷装置及び方法 - Google Patents

Description

本発明は、インクジェット配向膜印刷装置及び方法に関するものである。

液晶表示装置は、現在最も広く用いられている平板表示装置のうちの１つであって、電界生成電極と配向膜が形成される２枚の表示板とその間に入っている液晶層とを含む。配向膜は液晶分子の初期配向を決定し、電界生成電極は、電界を生成して液晶分子の配向を変える。液晶層を通過する入射光は液晶分子の配向に依存する電気力を受け、液晶の誘電率異方性によってその偏光が変化する。偏光板を適切に配列すれば、偏光によって入射光の透過率を変化させ、所望の映像を表示することができる。

能動行列型（active matrix）液晶表示装置は、電界を生成するための複数の画素電極と共通電極、画素電極に印加されるデータ電圧を選択的に遮断するための薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）など複数のスイッチング素子、データ電圧と薄膜トランジスタを制御するための制御信号を伝達する複数の信号線、色相表示のための複数の色フィルター、及び２枚の表示板を付着して液晶を封入するための密封材を含む。

液晶表示装置のこのような構成要素は、何回かの蒸着、露光、エッチング段階を通じて形成され、これらは配向膜で覆われている。
配向膜は、回転塗布法（spin coating）やフレキソ印刷法（flexo printing）で形成する。配向膜印刷装置は、一般的に、互いに噛み合うアニロックスロール（anilox roll）と印刷ロール（printing roll）など複数の金属ロールとその上に付着されているゴム板とを含む。

しかし、フレキソ印刷法は、液晶表示装置用表示板及びその母基板が大きくなるほどロールとゴム板の大きさ及び重量が大きくなるため、配向膜印刷装置の製作が難しくなる。
本発明の技術的課題は、平坦化された配向膜を形成するインクジェット配向膜印刷装置及び方法を提供することにある。

本発明によるインクジェット配向膜印刷装置は、基板上に配向液を噴射する複数のインクジェットヘッド、前記基板が搭載される印刷台を含み、前記印刷台は、前記基板を支持する支持ステージ及び前記支持ステージに囲まれており、乗降及び回転可能な移送ステージを含み、前記印刷台の一部は乗降及び回転可能であり、前記移送ステージは９０度回転することを特徴とする。

また、前記移送ステージの表面には吸着部が形成されることが好ましい。
前記移送ステージの底面には支持バーが設置されることが好ましい。

前記支持ステージは複数の四角形ステージからなることが好ましい。
前記移送ステージは四角形ステージからなることが好ましい。
前記移送ステージのコーナー部に吸着部が形成されることが好ましい。

また、本発明によるインクジェット配向膜印刷方法は、複数のインクジェットヘッド又は基板を移動させながら基板上に配向液を滴下して第１滴下ラインを形成する段階、前記基板が搭載された印刷台を回転する段階、複数のインクジェットヘッド又は基板を移動させながら基板上に配向液を滴下して第２滴下ラインを形成する段階とを含み、前記印刷台の一部は乗降及び９０度回転可能であり、前記第１滴下ラインと前記第２滴下ラインは互いに直交することを特徴とする。

また、前記インクジェットヘッドのいずれか１つの噴射口に印加される電圧パルスは、隣接する噴射口に印加される電圧パルスと所定時間の間隔をおいて印加されることが好ましい。

また、前記第１滴下ラインと第２滴下ラインが重なる部分には、前記第２滴下ラインを形成するための電圧パルスが印加されないことが好ましい。

また、前記第２滴下ラインを形成するための第２電圧パルスパターンは、前記第１滴下ラインを形成するための第１電圧パルスパターンと重なる部分には電圧が印加されず、前記第２電圧パルスパターンの残りの部分は前記第１電圧パルスパターンと同一のパターンを有することが好ましい。

また、前記インクジェットヘッドのいずれか１つの噴射口に印加される基本パルスパターンは、第１電圧パルスが所定時間の間隔をおいて印加されるパターンであるのが好ましい。

また、前記基本パルスパターンに応じて形成される複数の配向液の滴は同一ライン上に沿って所定部分重なるのが好ましい。
また、前記第１電圧パルスに引き続き第２電圧パルスが印加されるのが好ましい。

また、前記複数の第１電圧パルスの所定時間の間隔の中間に第２電圧パルスが印加されるのが好ましい。
また、前記複数の第１電圧パルスのうち、中間部に印加される第１電圧パルスには次いで第２電圧パルスが印加されるのが好ましい。

本発明によるインクジェット配向膜印刷装置及び方法は、基板が搭載される印刷台の一部を乗降及び回転可能にすることによって配向液の滴が網状に滴下されるようにし、配向液の滴間の空間を縮少することができる。したがって、配向膜が平坦化される時間を短縮する。

以下、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施できるように、本発明の実施例について添付の図面を参照して詳細に説明する。しかし、本発明は多様な相違した形態で実現でき、ここで説明する実施例に限定されない。

それでは、本発明の実施例によるインクジェット配向膜印刷装置及びこれを利用した液晶表示装置の製造方法について、図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の１実施例によるインクジェット配向膜印刷装置の簡略な斜視図であり、図２Ａ、図３〜図６Ａは、本発明の１実施例によるインクジェット配向膜印刷装置を利用した印刷方法を順に示した図であり、図２Ｂは、基板上に配向液の滴を滴下する状態を示した図であり、図２Ｃは、本発明の１実施例によるインクジェット配向膜印刷装置のインクジェットヘッド及び複数の噴射口を示した図であり、図６Ｂは、本発明の１実施例によって基板を回転した後、基板上に配向液の滴を滴下する状態を示した図である。

図１に示したように、本発明の１実施例による配向膜印刷装置は、基板１上に配向液を噴射する複数のインクジェットヘッド３０、基板１を搭載し、配向膜２０を印刷する印刷台７０を含む。

印刷台７０は、基板１を支持する支持ステージ５０、支持ステージ５０に囲まれており、乗降及び回転可能な移送ステージ６０からなる。このような印刷台は基板を搭載して固定できるように、真空チャックからなるのが好ましい。

支持ステージ５０は複数の四角形ステージにからなり、このような四角形ステージは所定の間隔離間して設置される。四角形ステージの間の空間には搬送アーム（図示せず）が通過し、基板１の下で搬送アームが吸着して基板を搬送する。

移送ステージ６０は１つの四角形ステージからなる。そして、移送ステージ６０の底面には支持バー６１が設置されていて、移送ステージ６０を乗降及び回転させる。支持バー６１には動力装置が設置されていて、支持バー６１を上昇及び回転できるようにする。

このような四角形移送ステージ６０のコーナー部の表面には吸着部６０ａが形成される。このような吸着部６０ａは、移送ステージが基板を回転させる場合に基板が滑らないように固定する粘性材質からなるのが好ましい。

図２Ｃに示したように、インクジェットヘッド３０は、複数個が互いに所定部分重なって形成される。インクジェットヘッド３０が複数で形成されるのは、基板１上に容易にかつ様々なパターンに配向膜２０を形成し、基板１の大きさに対する対応を便利にするためである。

また、各々のインクジェットヘッド３０の底面には複数個の噴射口（nozzle hole）（ｈ１、ｈ２、ｈ３、ｈ４）が形成される。各々のインクジェットヘッド３０が互いに所定部分重なっているのは、インクジェットヘッド３０の底面に形成される複数の噴射口３１ａの間の間隔（ｄ）を一定化するためである。つまり、インクジェットヘッド３０が互いに重ならずに連結されると、各々のインクジェットヘッド３０の端部間の噴射口３１ａの間の間隔がさらに大きくなるからである。

このようなインクジェットヘッド３０の噴射口（ｈ１、ｈ２、ｈ３、ｈ４）に対応する位置に圧電振動子（Piezoelectric actuator）が設置されており、このような圧電振動子に電流が流れれば、圧電振動子が折れ曲がりながら配向液を押し出し、配向液が噴射口を通して噴射される。

この時、インクジェットヘッド３０又は印刷台７０を移動しながら、基板１上に形成される複数のパネルに対応するパターンに配向膜２０を形成する。
このようなインクジェットプリンティング方法による配向膜印刷法は、ロール及びゴム板が不要であるので装置の大きさが小さくなり、ソフトウェアを利用していろいろな種類の印刷パターンを容易に形成することができるので、基板の大型化に伴ってロール及びゴム板の大きさ及び重量が大きくなるフレキソ印刷法の問題点を解決することができる。

しかし、インクジェットプリンティング方法は、基板上に滴下された配向液の滴間に所定空間が発生するため、均一な配向液膜を形成するのは難しい。
これを防止するために本発明の１実施例では、乗降及び回転可能な移送部を用いて基板を回転し、配向液の滴を滴下することによって、配向液の滴が網状に滴下されるようにして均一な配向膜を形成する。

以下、本発明の実施例によるインクジェット配向膜印刷装置を利用した液晶表示装置の製造方法について詳細に説明する。
まず、図２Ａ及び図２Ｂに示したように、複数のインクジェットヘッド３０の下に位置する印刷台７０を移動しながら、複数の配向液の滴２５を基板１上に滴下して第１滴下ライン（Ｌ１）を形成する。このような配向液の滴２５は噴射口の直径とほとんど同一な直径で基板上に滴下され、噴射口（ｈ１、ｈ２、ｈ３、ｈ４）の間隔（ｄ）とほとんど同一な間隔（ｄ）で複数の第１滴下ライン（Ｌ１）が形成される。この時、配向液の滴２５同士の間には空き空間５が存在する。

印刷台７０の移動速度を調節することにより、印刷台の移動方向３には緻密に調節しながら配向液の滴２５の滴下が可能であるが、第１滴下ライン（Ｌ１）間の間隔は配向液の滴２５の直径に比して遥かに大きいため、配向膜の平坦化は難しい。したがって、配向液の滴２５の第１滴下ライン（Ｌ１）間の大きな間隔を減らすために、配向液の粘度を低くしたり、基板の洗浄条件を強化して、配向液の滴２５の滴下前の基板の表面状態を良好にする方法が使用されるが、これは配向液材料及び工程上難しくなるという問題点がある。また、第１滴下ライン（Ｌ１）間の間隔を減らすために噴射口（ｈ１、ｈ２、ｈ３、ｈ４）の間隔を減らす方法もあるが、この噴射口間の間隔は、噴射口上に位置する振動子、配向液保存タンクなどの干渉により、間隔を減らすには限界がある。そして、インクジェットヘッド３０を２列に配列したり、１列のヘッドを短く横方向に移動して往復する方法もあるが、費用増加、及び配向膜形成工程のタクトタイムの増加などの問題が発生する。

したがって、本発明の１実施例では、乗降及び回転可能な移送部を使用して基板を回転し、配向液の滴を滴下することによって、配向液の滴が網状に滴下されるようにして均一な配向膜を形成する。

次に、図３に示したように、移送ステージ６０を上昇させて、移送ステージ６０上に搭載されている基板１を上昇させる。
次に、図４に示したように、移送ステージ６０を回転させて、移送ステージ６０上に搭載されている基板１を回転させる。基板１は９０度回転させるのが好ましい。

次に、図５に示したように、移送ステージ６０を下降させて、移送ステージ６０上に搭載されている基板１が下降して支持ステージ５０上に搭載されるようにする。
次に、図６Ａに示したように、複数のインクジェットヘッド３０の下に位置する印刷台７０を再び移動しながら、基板１上に複数の配向液の滴２５を滴下して第２滴下ライン（Ｌ２）を形成する。このような配向液の滴２５は、噴射口の直径とほとんど同一な直径で基板１上に滴下され、噴射口（ｈ１、ｈ２、ｈ３、ｈ４）の間隔（ｄ）とほとんど同一な間隔（ｄ）で複数の第２滴下ライン（Ｌ２）が形成される。

この場合、配向液の滴２５の第２滴下ライン（Ｌ２、４２１、４２２、４２３、４２４、４２５、４２６、４２７、４２８、４１１、４１２、４１３、４１４、４１５、４１６、４１７、４１８）は、既に基板上に形成されている配向液の滴２５の第１滴下ライン（Ｌ１、２１１、２１２、２１３、２１４、２１５、２１６、２１７、２１８、２１９、２２０）と垂直方向に形成されることによって、全体的に網状の滴下パターンが形成される。したがって、配向液の滴２５間の空間５が減るようになり、配向膜が平坦化される時間を短縮できる。

また、第１滴下ライン（Ｌ１）及び第２滴下ライン（Ｌ２）が重なる領域に余分に滴下された配向液の滴２５は、網状の配向液の滴２５の滴下パターンの真中の四角空間に拡散して満たされることにより、配向膜が平坦化される時間が短縮する。

一方、配向液の滴２５を滴下するために、インクジェットヘッド３０の電圧振動子に印加される電圧パルスのパターンを変更することによってより、平坦化された配向膜を形成することができる。

図７Ａには、複数の第１滴下ラインを形成するための第１電圧パルスパターンが示されており、陰影のある電圧パルスは、実際の電圧が印加されるパルスを示す。図７Ｂには、図７Ａに示された第１電圧パルスパターンに応じて滴下された配向液の滴が示されている。

図７Ａ及び図７Ｂに示したように、インクジェットヘッド３０の第１噴射口（ｈ１）に電圧パルス３１１、３１２が順に印加され、これにより、同一ラインに沿って配向液の滴２１１、２１２が所定部分重なって滴下される。

第２噴射口（ｈ２）に印加される電圧パルス３２１、３２２は、第１噴射口（ｈ１）に印加される電圧パルスと所定時間の間隔をおいて順に印加され、これにより、第１噴射口（ｈ１）による配向液の滴２１１、２１２とｄの間隔をおいて第２噴射口（ｈ２）による配向液の滴２２１、２２２が滴下される。この場合、第２噴射口（ｈ２）による配向液の滴２１１、２１２も、同一ラインに沿って所定部分重なって滴下される。

このように、第１噴射口（ｈ１）に印加される電圧パルスと第２噴射口（ｈ２）に印加される電圧パルスとの間に所定時間の間隔をおくことによって、円形の配向液の滴間の空間を減らし、拡散の進行も急速にする。

第３噴射口（ｈ３）に印加される電圧パルス３３１、３３２による配向液の滴２３１、２３２、及び第４噴射口（ｈ４）に印加される電圧パルス３４１、３４２による配向液の滴２４１、２４２なども前記と同一である。

そして、第１滴下ライン（Ｌ１）を形成するための第１電圧パルスパターン及び第２滴下ライン（Ｌ２）を形成するための第２電圧パルスパターンが同一なパターンである場合は、第２滴下ライン（Ｌ２）を形成する際、第１滴下ライン（Ｌ１）と第２滴下ライン（Ｌ２）との間に重なる部分が発生する。

したがって、第１滴下ライン（Ｌ１）と第２滴下ライン（Ｌ２）と間に重なる部分が発生しないようにするために、図８Ａに示したような周期を有する電圧パルスをインクジェットヘッド３０の圧電振動子に印加するのが好ましい。

図８Ａでは、インクジェットヘッドに印加する電圧パルスの周波数が１０ｋＨｚであり、噴射口別に２.５ｋＨｚの順次的周期を有し、第２滴下ラインを形成する第２電圧パルスパターンが示されており、図８Ｂでは、図８Ａの第２電圧パルスパターンに応じて滴下される配向液の滴が示されている。

図８Ａに示したように、第２滴下ライン（Ｌ２）を形成するための第２電圧パルスパターンは第１電圧パルスパターンと同一なパターンを有するが、第１滴下ライン（Ｌ１）と重なる部分を避けるために、９番目の電圧パルス５１０、５２０、５２１には電圧を印加しない。つまり、第２滴下ライン（Ｌ２）を形成するための第２電圧パルスパターンは、第１滴下ライン（Ｌ１）を形成するための第１電圧パルスパターンと重なる部分５１０、５２０、５２１には電圧が印加されず、第２電圧パルスパターンの残りの部分は第１電圧パルスパターンと同一のパターンを有する。

この場合、図８Ｂ及び図６Ｂに示したように、第２滴下ライン（Ｌ２）に沿って滴下される配向液の滴は、８個の配向液の滴４２１、４２２、４２３、４２４、４２５、４２６、４２７、４２８が重なって滴下された後の９番目の配向液の滴は滴下されず、再び配向液の滴が滴下される。

図６Ｂには、２個の第１滴下ライン（Ｌ１）と２個の第２滴下ライン（Ｌ２）が示されている。
第１滴下ライン（Ｌ１）の配向液の滴２１１、２１２、２１３、２１４、２１５、２１６、２１７、２１８、２１９、２２０が形成された後に２個の第２滴下ライン（Ｌ２）の配向液の滴４２１、４２２、４２３、４２４、４２５、４２６、４２７、４２８、４１１、４１２、４１３、４１４、４１５、４１６、４１７、４１８が形成される場合、重なる部分２１１、２２０には第２滴下ライン（Ｌ２）の配向液の滴が滴下されない。したがって、同一地点に配向液の滴が重複されて滴下されることを防止することにより、配向液材料の減少及び配向液の均一な滴下が可能になる。

また、より平坦化された配向膜を形成するために、圧電振動子に印加する電圧の基本パルスパターンを変更することができる。これは、第１滴下ライン（Ｌ１）を形成するための第１電圧パルスパターン及び第２滴下ライン（Ｌ２）を形成するための第２電圧パルスパターンにも適用できる。

図９Ａには、いろいろな種類の電圧基本パルスパターンが示されており、図９Ｂには、図７Ａに示された基本パルスパターンに応じて滴下された配向液の滴が示されている。
図９Ａに示したように、インクジェットヘッド３０のいずれか１つの噴射口に印加される第１基本パルスパターン（ｐ１）は、第１電圧パルス（１〜８）が所定時間の間隔をおいて印加されるパターンである。

この場合、図９Ｂに示したように、第１基本パルスパターン（ｐ１）に応じて形成される複数の配向液の滴（１〜８）は同一ラインに沿って所定部分が重なる。
そして、第２基本パルスパターン（ｐ２）は、第１電圧パルス（１〜８）に引き続き第２電圧パルス（１１〜７１）が印加されるパターンである。

第１基本パルスパターン（ｐ１）（１〜８）及び第２基本パルスパターン（ｐ２）（１〜８、１１〜７１）は、配向液の滴の量を増加させて配向膜の平坦化性を向上させたり、最終の配向膜の厚さを増加しようとする場合に用いるのが好ましい。

このような第１及び第２基本パルスパターン（ｐ１、ｐ２）は印刷台の移動速度を遅らせることにより、同一ライン上の直前の配向液の滴と２つの配向液の滴との間の重なる領域を増加させて形成することもできる。

そして、第３基本パルスパターン（ｐ３）は、複数の第１電圧パルス（１〜８）の所定時間の間隔の中間に第２電圧パルス（１２〜７２）が印加されるパターンである。
第３基本パルスパターン（ｐ３）（１〜８、１２〜７２）は、第２滴下ライン（Ｌ２）を形成するための第２電圧パルスパターンの全ての中間部分に第２電圧パルス（１２〜７２）を印加することによって網状の４辺に滴下される配向液の滴の量を増加させ、配向液の滴の平坦化性を向上させる。

そして、第４基本パルスパターン（ｐ４）は、複数の第１電圧パルス（１〜８）中の中間部に印加される第１電圧パルス（１〜８）には次いで第２電圧パルス（３１〜６１）が印加されるパターンである。

第４基本パルスパターン（ｐ４）（１〜８、３１〜６１）は、第２滴下ライン（Ｌ２）を形成するための第２電圧パルスパターンの中間部分のうちの一部にだけ第２電圧パルス（３１〜６１）を印加することにより、配向液の滴の平坦化を向上させると同時に、配向液材料の減少も図る。

以上、本発明の好ましい実施例について詳細に説明したが、当該技術分野における通常の知識を有する者であればこれより様々な変形及び均等な他実施例が可能であるという点が理解できる。したがって、本発明の権利範囲はこれに限定されることではなく、本発明の請求範囲で定義している本発明の基本概念を利用した当業者による様々な変形及び改良形態もまた本発明の権利範囲に属する。

本発明の１実施例によるインクジェット配向膜印刷装置を簡略に示した斜視図である。 本発明の１実施例によるインクジェット配向膜印刷装置を利用した印刷方法を順に示した図である。 基板上に配向液の滴を滴下する状態を示した図である。 本発明の１実施例によるインクジェット配向膜印刷装置のインクジェットヘッド及び複数の噴射口を示した図である。 本発明の１実施例によるインクジェット配向膜印刷装置を利用した印刷方法を順に示した図である。 本発明の１実施例によるインクジェット配向膜印刷装置を利用した印刷方法を順に示した図である。 本発明の１実施例によるインクジェット配向膜印刷装置を利用した印刷方法を順に示した図である。 本発明の１実施例によるインクジェット配向膜印刷装置を利用した印刷方法を順に示した図である。 本発明の１実施例によって基板を回転した後、基板上に配向液の滴を滴下する状態を示した図である。 複数の第１滴下ラインを形成するための第１電圧パルスパターンを示した図である。 図７Ａに示された第１電圧パルスパターンに応じて滴下された配向液の滴を示した図である。 第２滴下ラインを形成する第２電圧パルスパターンを示した図である。 図８Ａの第２電圧パルスパターンに応じて滴下される配向液の滴を示した図である。 いろいろな種類の電圧基本パルスパターンを示した図である。 図９Ａに示された基本パルスパターンに応じて滴下された配向液の滴を示した図である。

符号の説明

１１ 基板
２０ 配向膜
２５ 配向膜の滴
３０ インクジェットヘッド
３１ａ 噴射口
５０ 支持ステージ
６０ 移送ステージ
６０ａ 吸着部
６１ 支持バー

Claims (15)

1. 基板上に配向液を噴射する複数のインクジェットヘッド及び前記基板が搭載される印刷台を含み、前記印刷台は、前記基板を支持する支持ステージ及び前記支持ステージに囲まれており、乗降及び回転可能な移送ステージを含み、前記印刷台の一部は乗降及び回転可能であり、前記移送ステージは９０度回転することを特徴とする、インクジェット配向膜印刷装置。
2. 前記移送ステージの表面には吸着部が形成されることを特徴とする、請求項１に記載のインクジェット配向膜印刷装置。
3. 前記移送ステージの底面には支持バーが設置されることを特徴とする、請求項１に記載のインクジェット配向膜印刷装置。
4. 前記支持ステージは複数の四角形ステージからなることを特徴とする、請求項１に記載のインクジェット配向膜印刷装置。
5. 前記移送ステージは四角形ステージからなることを特徴とする、請求項１に記載のインクジェット配向膜印刷装置。
6. 前記移送ステージのコーナー部に吸着部が形成されることを特徴とする、請求項１に記載のインクジェット配向膜印刷装置。
7. 複数のインクジェットヘッド又は基板を移動させながら基板上に配向液を滴下して第１滴下ラインを形成する段階と、
   前記基板が搭載された印刷台を回転する段階と、
   複数のインクジェットヘッド又は基板を移動させながら基板上に配向液を滴下して第２滴下ラインを形成する段階と、
   を含み、前記印刷台の一部は乗降及び９０度回転可能であり、前記第１滴下ラインと前記第２滴下ラインは互いに直交することを特徴とする、インクジェット配向膜印刷方法。
8. 前記インクジェットヘッドのいずれか１つの噴射口に印加される電圧パルスは、隣接する噴射口に印加される電圧パルスと所定時間の間隔をおいて印加されることを特徴とする、請求項７に記載のインクジェット配向膜印刷方法。
9. 前記第１滴下ラインと第２滴下ラインが重なる部分には、前記第２滴下ラインを形成するための電圧パルスが印加されないことを特徴とする、請求項７に記載のインクジェット配向膜印刷方法。
10. 前記第２滴下ラインを形成するための第２電圧パルスパターンは、前記第１滴下ラインを形成するための第１電圧パルスパターンと重なる部分には電圧が印加されず、前記第２電圧パルスパターンの残りの部分は前記第１電圧パルスパターンと同一のパターンを有することを特徴とする、請求項９に記載のインクジェット配向膜印刷方法。
11. 前記インクジェットヘッドのいずれか１つの噴射口に印加される基本パルスパターンは、第１電圧パルスが所定時間の間隔をおいて印加されるパターンであることを特徴とする、請求項８又は９に記載のインクジェット配向膜印刷方法。
12. 前記基本パルスパターンに応じて形成される複数の配向液の滴は同一ライン上に沿って所定部分重なることを特徴とする、請求項１１に記載のインクジェット配向膜印刷方法。
13. 前記第１電圧パルスに引き続き第２電圧パルスが印加されることを特徴とする、請求項１１に記載のインクジェット配向膜印刷方法。
14. 前記複数の第１電圧パルスの所定時間の間隔の中間に第２電圧パルスが印加されることを特徴とする、請求項１１に記載のインクジェット配向膜印刷方法。
15. 前記複数の第１電圧パルスのうち、中間部に印加される第１電圧パルスには次いで第２電圧パルスが印加されることを特徴とする、請求項１１に記載のインクジェット配向膜印刷方法。

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