JP4936985B2 - 走査電子顕微鏡およびそれを用いた三次元形状測定装置 - Google Patents
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Description
図2は、本実施の形態による走査電子顕微鏡の一構成例を示す図である。電子源1から反射電子検出器6の信号検出までの構成は、上記図1と同じ構成である。また、通常の観察における表示部10までの動作も図1の場合と同様である。三次元形状計測を行うときは、制御部15内の反射電子の検出信号選択信号発生器は、信号切替部7およびフレームメモリ9を選択信号により制御し、電子線2の試料4上の走査フレームに同期して、信号切替部7で半導体素子6a〜6dからの検出信号を順次切替え、フレームメモリ9内の半導体素子6a〜6dに対応する記録アドレスに、半導体素子6a〜6dからの検出信号が順次記録されるように動作する。
2 電子線
3 集束レンズ
4 試料
5 偏向コイル
6 反射電子検出器
7 反射電子検出信号切替部
8 A/D変換器
9 フレームメモリ
10 表示装置
11 三次元形状計測用A/D変換器
12 三次元形状計測用フレームメモリ
13 演算処理部
14 三次元形状計測結果表示部
15 制御部
16 ブライトネス用加算器
17 コントラスト用乗算器
18 ブライトネス調整用D/A変換器
19 コントラスト調整用D/A変換器
20 ブライトネス基準設定値記録部
21 ブライトネスフィードバック演算部
22 ブライトネス設定値減算器
23 コントラスト基準設定値記録部
24 画像データ最大値記録部
25 コントラスト演算部
26 コントラスト設定値乗算器
Claims (6)
- 試料上を2次元的に電子線走査し、試料表面から発生した反射電子を検出する複数に分割された反射電子検出器を有する走査電子顕微鏡において、
分割された反射電子検出器の検出信号を1走査単位毎に切り替える信号切替部と、
分割数分の記憶領域を有するメモリと、
1走査単位分の信号検出処理毎に、前記検出信号と前記メモリの記憶領域の切替を行い、前記分割された反射電子検出器ごとの画像データを分割数分取得し、前記取得された分割数分の画像データから前記反射電子検出器の位置と前記検出信号の強度とに基づく三次元形状計測の演算処理を行う制御部と
を有することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 前記1走査単位を、フレーム単位又はライン単位とすることを特徴とする請求項1に記載の走査電子顕微鏡。
- 試料への電子線の照射をカットするビームブランキング部と、
ブライトネスを調整するブライトネス調整部と、
前記ビームブランキング部を動作させて電子線の試料への照射をカットした状態における画像データがオフセットゼロを含む既知の値となるように前記ブライトネス調整部を設定する手段を設けたこと特徴とする請求項1又は2に記載の走査電子顕微鏡。 - 試料への電子線の照射をカットするビームブランキング部と、
ブライトネスを調整するブライトネス調整部と、
前記ビームブランキング部を動作させて既知のブライトネス設定での画像データを記録する記録部と、該既知のブライトネス設定値と前記記録部に記録された前記画像データにある係数を乗じた値との差分を求め、該差分と前記既知のブライトネス設定値とを加算して前記ブライトネス調整部に設定し、三次元形状計測用の画像データを取得する間、前記ブライトネス調整部の設定を保持する手段を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の走査電子顕微鏡。 - 試料への電子線の照射をカットするビームブランキング部を有し、該ビームブランキング部を動作させて電子線の試料への照射をカットした状態における画像データを記録する記録部と、電子線走査により得られた分割数分の1走査単位分の画像データから電子線照射をカットした状態における画像データを減算した値を用いて三次元形状計測の演算処理を行う演算部を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の走査電子顕微鏡。
- 画像データ変換用のA/D変換器と、コントラストを調整するコントラスト調整部と、を有し、
既知のコントラスト設定での画像データの最大値を記録する記録部と、前記画像データの最大値と前記A/D変換器のフルスケール値の比に任意に設定された係数を乗じ、前記既知のコントラスト設定値に乗じて前記コントラスト調整部に設定し、三次元形状計測用の画像データを取得する間、前記コントラスト調整部の設定を保持する手段を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の走査電子顕微鏡。
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