JP4932284B2 - 光電式エンコーダ - Google Patents
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Description
図1〜図6を参照して本発明の第1実施形態に係る光電式エンコーダを説明する。
次に、図9〜図11を参照して本発明の第2実施形態に係る光電式エンコーダを説明する。
Claims (2)
- 測定軸方向に所定ピッチで回折格子が形成されたスケールと、
このスケールに対して相対移動可能に配置され、前記スケールにコヒーレント光を照射する照射部、並びにこの照射部の周囲に前記測定軸方向及びこれと直交する方向に所定の間隔を空けて配置され前記照射部から出射され前記スケールの回折格子で反射された光を受光する複数の受光部が同一検出面上に配置された読み取りヘッドと、
この読み取りヘッドの受光部からの受光信号を処理して前記スケールに対する前記読み取りヘッドの前記測定軸方向の変位を検出する信号処理手段と
を備えた光電式エンコーダにおいて、
前記受光部は、
前記照射部から等距離に配置された透過型の回折格子を受光面に有し前記スケールに対する前記測定軸方向の変位を検出するための変位検出用受光部と、
前記照射部を中心として前記スケールに対する前記検出面のピッチ及びロールを検出するための傾斜モニタ用受光部とを備え、
前記信号処理手段は、
前記傾斜モニタ用受光部からの受光信号によって前記変位検出用受光器の受光信号を補正するものであり、
前記傾斜モニタ用受光部は、
前記照射部から前記測定軸方向の一方の側にずれ、且つ前記照射部を中心として前記測定軸と直交する方向に均等配置された領域に照射される光をそれぞれ受光する一対のモニタ用受光部からなり、
前記信号処理手段は、前記モニタ用受光部の受光信号の加算値により前記検出面のピッチを検出し、前記モニタ用受光部の受光信号の差分値によりロールを検出するものである
ことを特徴とする光電式エンコーダ。 - 前記読み取りヘッドは、
先端に前記照射部を有する第1の光ファイバと、
この第1の光ファイバの周囲に配置されて先端に前記受光部を有する第2の光ファイバと、
これら第1及び第2の光ファイバの前記先端側を被覆材による被覆状態のまま緊密に束ねる円筒状のフェルールと
を備えてなることを特徴とする請求項1記載の光電式エンコーダ。
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