JP4932284B2

JP4932284B2 - 光電式エンコーダ

Info

Publication number: JP4932284B2
Application number: JP2006057639A
Authority: JP
Inventors: 知隆高橋
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 2006-03-03
Filing date: 2006-03-03
Publication date: 2012-05-16
Anticipated expiration: 2026-03-03
Also published as: JP2007232681A

Description

本発明は、変位測定装置、工作機械等に使用される光電式エンコーダに関し、特に読み取りヘッドのアライメント調整が可能な光エンコーダに関する。

反射型位相格子スケールを利用した光電式エンコーダにおいては、点光源からのコヒーレント光を反射型位相格子スケールに照射することにより、スケール位置情報を有した回折光の干渉縞が生成される。そして、この干渉縞を位相検波することにより測長が可能となる（特許文献１参照）。
特開２００４−５３６０５号公報

従来、この種の光電式エンコーダでは、点光源を中心とし、その周囲に２×２のマトリクス配置された９０°位相差４相信号の差動信号を得ることにより、９０°位相差２相信号を得ることが出来る。しかしながら、受光部が配置された読み取りヘッドの検出面がスケールに対して傾くと、得られる差動信号は、変動する。このように、測長部での真直度の変動に伴ない位相差２相信号にＤＣ変動が生じ、位相検出において誤差が増大する。

スケール汚れ等による受光量の減少時には、光源の光量調整（ＡＰＣ）を受光信号のＤＣ成分をフィードバックすることにより、受光感度を一定にすることができる。しかし、取付アライメントに誤差を有する場合は、フィードバックが適正にかからず、測長信号に誤差を発生させてしまう。

本発明は、このような点に鑑み、アライメント調整を容易にし、使い勝手を向上させた光電式エンコーダを提供することを目的とする。

本発明に係る第１の光電式エンコーダは、測定軸方向に所定ピッチで回折格子が形成されたスケールと、このスケールに対して相対移動可能に配置され、前記スケールにコヒーレント光を照射する照射部、並びにこの照射部の周囲に前記測定軸方向及びこれと直交する方向に所定の間隔を空けて配置され前記照射部から出射され前記スケールの回折格子で反射された光を受光する複数の受光部が同一検出面上に配置された読み取りヘッドと、この読み取りヘッドの受光部からの受光信号を処理して前記スケールに対する前記読み取りヘッドの前記測定軸方向の変位を検出する信号処理手段とを備えた光電式エンコーダにおいて、前記受光部は、前記照射部から等距離に配置された透過型の回折格子を受光面に有し前記スケールに対する前記測定軸方向の変位を検出するための変位検出用受光部と、前記照射部を中心として前記スケールに対する前記検出面のピッチ及びロールを検出するための傾斜モニタ用受光部とを備え、前記信号処理手段は、前記傾斜モニタ用受光部からの受光信号によって前記変位検出用受光器の受光信号を補正するものであり、前記傾斜モニタ用受光部は、前記照射部から前記測定軸方向の一方の側にずれ、且つ前記照射部を中心として前記測定軸と直交する方向に均等配置された領域に照射される光をそれぞれ受光する一対のモニタ用受光部からなり、前記信号処理手段は、前記モニタ用受光部の受光信号の加算値により前記検出面のピッチを検出し、前記モニタ用受光部の受光信号の差分値によりロールを検出するものであることを特徴とする。

本発明によれば、変位検出用受光部と、傾斜モニタ用受光部と、信号処理手段とを備えており、傾斜モニタ用受光部からの信号によって変位検出用受光部の受光信号が補正されるので、アライメント調整が容易となり、使い勝手を向上させた光電式エンコーダを提供することができる。

以下、図面を参照して、本発明の一実施形態に係る光電式エンコーダついて説明する。

［第１実施形態］
図１〜図６を参照して本発明の第１実施形態に係る光電式エンコーダを説明する。

図１に示すように、光電式エンコーダは、測定軸方向に所定ピッチで回折格子が形成されたスケール１０と、光を照射すると共に光を受光する読み取りヘッド２０と、読み取りヘッド２０により検出したスケール１０からの受光信号に基づき、その受光信号を補正する信号処理部３０とを有する。スケール１０の長手方向が測定軸Ｘとなる。読み取りヘッド２０は、スケール１０に対して所定距離Ｄを維持してＸ方向に相対移動可能に配置されている。なお、読み取りヘッド２０が固定され、スケール１０が相対移動する構成でも良い。すなわち、読み取りヘッド２０とスケール１０とは、Ｘ方向に相対移動可能であれば良い。

なお、以下において、スケール１０の面と平行で、Ｘ方向に直交する方向をＹ方向、Ｘ方向及びＹ方向に直交する方向、すなわちスケール１０の面に直交する方向をＺ方向とする。また、スケール１０と読み取りヘッド２０との間のＸ−Ｚ平面内での傾きをＰ（Pitch）方向、Ｙ−Ｚ平面内での傾きをＲ（Roll）方向、Ｘ−Ｙ平面内での傾きをＹａ（Yaw）方向とする。

スケール１０は、Ｘ方向に沿って所定ピッチで周期的に配列されたＹ方向に延びる格子１１を有する。格子１１は、読み取りヘッド２０の検出面上のＸ方向に対しては、０次回折光が減衰され、１次回折光による２つ山のガウス分布となるように、そのピッチが光源の波長との関係で決められている。また、格子１１は、Ｙ方向に対しては、例えば１つ山のガウス分布の光量分布を形成するように光を反射する。

読み取りヘッド２０は、主として、１本の光源用光ファイバ２１と、その周りに配置された６本の受光器用光ファイバ２２と、これら１本の光源用光ファイバ２１と６本の受光器用光ファイバ２２を囲む円筒状の第１フェルール２３と、それら光ファイバ２１，２２及び第１フェルール２３の先端に設けられたキャップ型の第２フェルール２４とから構成されている。

次に、図２〜図４を参照して、この読み取りヘッド２０を構成する光ファイバ２１，２２及びその回りに形成された第１フェルール２３について説明する。図２は、読み取りヘッド２０の正面図であり、図３は、読み取りヘッド２０の光軸と直交する面の断面図、図４は、読み取りヘッド２０の一部を切り欠いた断面斜視図である。

図２〜図４に示すように、光源用光ファイバ２１は、その芯の中心に形成された光を導波するコア２１ａと、そのコア２１ａの外周に形成されたコア２１ａよりも屈折率の低いクラッド２１ｂと、これらクラッド２１ｂの外周に形成された被覆２１ｃとから形成されている。また、光源用光ファイバ２１には、例えば、シングルモードファイバが使用される。

同様に、受光器用光ファイバ２２は、その中心に形成された光を導波するコア２２ａと、そのコア２２ａの外周に形成されたコア２２ａよりも屈折率の低いクラッド２２ｂと、クラッド２２ｂの外周に形成された被覆２２ｃとから形成されている。また、受光器用光ファイバ２２には、例えば、マルチモードファイバが使用される。

これら光源用光ファイバ２１及び受光器用光ファイバ２２は、それらを束ねた外接径（以下、バンドル径）よりも僅かに大きい内径を有するインナーチューブ２０１内に収容されている。このインナーチューブ２０１は、バンドル径×０．１５以下が望ましいが、バンドル挿入時の密着偏りにより、０．２倍程度でも光ファイバ２１，２２の配置移動が起こらない。

光源用光ファイバ２１のコア２１ａ及びクラッド２１ｂを含む径の大きさは、受光器用光ファイバ２２のコア２２ａ及びクラッド２２ｂを含む径の大きさよりも小さい。

そこで、光源用光ファイバ２１の被覆２１ｃは、その受光器用光ファイバ２２の被覆２２ｃの径よりも厚く形成され、光源用光ファイバ２１のコア２１ａとクラッド２１ｂと被覆２１ｃとを合わせた径の大きさと、受光器用光ファイバ２２のコア２２ａとクラッド２２ｂと被覆２２ｃとを合わせた径の大きさとが同一となるように形成されている。このようにコア及びクラッドの厚みに基づき、被覆２１ｃ，２２ｃの厚みを形成することにより光ファイバ毎にコアとクラッドの厚さが異なっている場合であっても、その光ファイバの径は、同一径とすることができる。

したがって、本実施形態のように異種の特性を有する数本のファイバを密接して配置することが可能となる。また、光ファイバでは、被覆保護されているため、第１フェルール２３挿入時に、被覆除去されたファイバに比べて破断の可能性が非常に低く、且つ、単線での被覆除去作業がないため、組み立て易い。したがって、結束した光ファイバ束を製作する際の、製作コストが低減され、歩留まりの向上が図れる。

光源用光ファイバ２１の第２フェルール２４とは反対側の末端には、例えば、ＬＤ等の光源が設けられている（図示略）。このＬＤ等の光源から発せられた光は、光源用光ファイバ２１のコア２１ａを導波して、コア２１ａの先端より照射される。すなわち、光源用光ファイバ２１のコア２１ａの先端は照射部２１ａとして機能する。なお、この光源となる光は、ＬＤ、気体レーザ等のレーザ光のように位相の揃った指向性の良い光が好ましい。

受光器用光ファイバ２２の第２フェルール２４とは反対側の末端には、例えばＣＣＤ等の受光器が設けられている（図示略）。受光器用光ファイバ２２のコア２２ａの第２フェルール２４側の端部で受光された光は、コア２２ａを導波して、コア２２ａの反対側端部から出射され、ＣＣＤに受光される。すなわち、６本の受光器用光ファイバ２２のコア２２ａの先端は、それぞれ受光部２２ａ１〜２２ａ６として機能する。

図３に示すように、受光部２２ａ１と受光部２２ａ４とがＹ方向に並ぶように、照射部（コア）２１ａを中心として、６つの受光部２２ａ１〜２２ａ６の中心が６角形状に配置されている。つまり、読み取りヘッド２０は、照射部２１ａの周囲に測定軸方向及びこれと直交する方向に所定の間隔を空けて照射部２１ａと同一検出面上に配置された受光部２２ａ１〜２２ａ６を備えている。

第２フェルール２４は、１本の光源用光ファイバ２１の先端のコア２１ａに対応する箇所に設けられた開口２５と、６本の受光器用光ファイバ２２の先端のコア２２ａに対応する箇所に設けられたスリット２６とを有する。

スリット２６は、受光部２２ａ１，２２ａ４に対応する位置に設けられた第１のスリット２６ａ、及びそれら以外の受光部２２ａ２，２２ａ３，２２ａ５，２２ａ６に対応する位置に設けられた第２のスリット２６ｂを有する。

第１のスリット２６ａは、受光部２２ａ１，２２ａ４の中心よりもＸ方向の一方にずれた位置に形成されている。後述するように、これら第１のスリット２６ａにより入射光を遮られた受光部２２ａ１，２２ａ４は、スケール１０に対する検出面のピッチ及びロール方向の傾きを検出するための傾斜モニタ用の受光部として使用される。

第２のスリット２６ｂは、Ｘ方向に所定周期で形成されたＹ方向に延びるスリットでスケール１０の格子１１に対応した透過型回折格子型を形成している。これら第２のスリット２６ｂを介して、受光部２２ａ２，２２ａ３，２２ａ５，２２ａ６には、スケール１０の格子１１からの反射光が受光される。この受光量を、スケール１０に対して読み取りヘッド２０を相対移動させながら、計測することにより、測定軸方向の変位を検出することが可能である。つまり、受光部２２ａ２，２２ａ３，２２ａ５，２２ａ６は、スケール１０に対する測定軸方向の変位を検出するための変位検出用の受光部として使用される。

次に、図５を参照して、スケール１０からの反射光の強度分布及びその反射光を受光する受光部２２ａ１〜２２ａ６の位置を説明する。なお、照射部２１ａからの光は、レーザ光などであるので、照射軸（Ｚ方向）を中心に、ガウス分布（又はエアリーディスク形状分布）に広がる強度を有して照射される。

図５（ａ）は、スケール１０からの反射光のＸ方向の分布を示したものであり、実線は、アライメント調整がなされた場合の例を示したものであり、破線は、アライメント調整がなされていない場合の例を示したものである。図５（ａ）に示すように、Ｘ方向においては、照射部２１ａから照射された光は、スケール１０に形成された格子１１の凹凸の影響を受けて、±１次の回折光のみが反射される。したがって、その反射光の強度は、照射部２１ａの中心からずれて分布の中心を有する２つのガウス分布の重ね合わせとなる。第１のスリット２６ａによって、受光部２２ａ１，２２ａ４は、この分布のピークＰ１及びピークＰ２の間であって、その分布のバレーＶからずれた位置Ａ１において光を受光する。なお、これらの反射光のガウス分布の形状は、光源波長、スケール格子の周期、光源発散角度等で決定されるため、必ずしも２つのガウス分布の重ね合わせが、２つのピークを有するとは、限られない。したがって、そのガウス分布の重ね合わせが、一つのピークを持つ場合であれば、受光部２２ａ１，２２ａ４は、その分布のピークからずれた位置の反射光を受光する位置に設けられる。

図５（ｂ）は、スケール１０からの反射光のＹ方向の分布を示したものであり、実線は、アライメント調整がなされた場合の例を示したものであり、破線は、アライメント調整がなされていない場合の例を示したものである。図５（ｂ）に示すように、Ｙ方向においては、その反射光は、スケール１０に形成された格子１１の影響を受けない。したがって、その反射光の強度分布は、照射部２１ａを中心とした一つのガウス分布となる。受光部２２ａ１，２２ａ４は、このガウス分布のピークＰ３から左右対称にずれたガウス分布の裾Ａ２，Ａ３において反射光を受光する位置に設けられている。

変位検出用の受光部２２ａ２，２２ａ３，２２ａ５，２２ａ６は、それらの前面に形成されたスリット２６ｂの空間的な位相により、互いに位相が異なるａ相、ｂｂ相、ｂ相、ａｂ相の信号を受信する。ここで、ａ相とｂ相とは、９０°位相がずれており、ａ相の反転信号がａｂ相、ｂ相の反転信号がｂｂ相となっている。これら４相信号から９０°位相が異なる２相のＡ相信号（ａ−ａｂ）とＢ相信号（ｂ−ｂｂ）を求めることができる。

いま、スケール１０と読み取りヘッド２０とが、理想的なアライメント状態であったとすると、図６に示すように、Ａ相信号とＢ相信号とにより得られるリサージュ波形は、Ａ相軸とＢ相軸の交点を中心とする理想的な円となる。

これに対し、スケール１０に対して読み取りヘッド２０がＰ（ピッチ）方向のアライメント誤差を含んでいる場合には、リサージュ波形は、図７（ａ）に示すように、直流誤差と位相誤差が発生し、第２象限及び第４象限にわたり、中心位置が変動し、リサージュ波形も楕円になる。また、スケール１０に対して読み取りヘッド２０がＲ（ロール）方向のアライメント誤差を含んでいる場合には、リサージュ波形は、図７（ｂ）に示すように、直流誤差と位相誤差が発生し、第１象限及び第３象限にわたり、中心位置が変動し、リサージュ波形も楕円になる。更に、スケール１０に対して読み取りヘッド２０がＹａ（ヨー）方向のアライメント誤差を含んでいる場合には、リサージュ波形は、図７（ｃ）に示すように、振幅誤差が発生し、リサージュ波形の半径が小さくなる。しかし、この場合、リサージュ波形自体は歪まない。

そこで、上述したＰ方向及びＲ方向のアライメント誤差を傾斜モニタ用の受光部２２ａ１，２２ａ４により検出して補正する。

次に、図８を参照して、受光した光強度に基づいてアライメント誤差の補正を行う信号処理部３０の機能ブロック図を説明する。

受光部２２ａ１，２２ａ４において受光された各々の信号は、それぞれアンプ３１，３２において増幅される。増幅された信号は、第１差分器３３に入力されその差分信号として出力される。第１制御部３４は、この差分信号をゼロとするように光電式エンコーダのアライメント調整、光源パワーの自動調整、動的にＤＣ補整を行う。すなわち、Ｒ方向の補正を行う。

アンプ３１，３２において増幅された信号は、分岐部３５ａ，３５ｂから第１加算器３６に入力され、加算される。一方、第２加算器３７は、受光部２２ａ２，２２ａ３，２２ａ５，２２ａ６において受光した信号を加算する。そして、第２差分器３８は、第１加算器３６及び第２加算器３７からの入力された加算信号の差分を演算し、出力する。第２制御部３９は、第２差分器３８によって得られた差分信号が所定値となるように光電式エンコーダのアライメント調整、光源パワーの自動調整、動的にＤＣ補整を行う。すなわち、Ｐ方向の補正を行う。

以上のように本発明の第１実施形態に係る光電式エンコーダは、受光部２２ａ２，２２ａ３，２２ａ５，２２ａ６をスケール１０に対する測定軸方向の変位を検出するための変位検出用の受光部として使用し、受光部２２ａ１，２２ａ４を検出面のピッチ及びロールを検出するための傾斜モニタ用の受光部として使用している。さらに、信号処理部３０により受光部２２ａ２，２２ａ３，２２ａ５，２２ａ６により得られた測定軸方向の変位測定値を、受光部２２ａ１，２２ａ４により得られた信号に基づき補正可能としている。

このような構成とすることにより、従来においては、読み取りヘッド２０を相対移動させながらリサージュ信号により、アライメント調整を行っていたが、静止した状態にあっても最適なアライメント調整が可能とされる。なお、動的なＤＣ補正も可能である。

また、ダイナミックレンジの信号調整においては差分信号を感度調整してＤＣ調整信号として使用することにより、リアルタイムに補正が可能となる。さらに、真直度変動と検出感度が線形比例領域では、ＤＣ補正可能であるので、リニアライズ補正をすれば、変動幅レンジを拡大することができる。また、スケール１０の汚れ等による、受光光量低下に対して正確なＡＰＣフィードバックが可能である。

［第２実施形態］
次に、図９〜図１１を参照して本発明の第２実施形態に係る光電式エンコーダを説明する。

第２実施形態に係る光電式エンコーダの第１実施形態と異なる箇所は、主として、図９に示すように第１実施形態の６本の受光器用光ファイバ２２の受光部２２ａ１〜２２ａ６に加え、さらにその左右両側（Ｘ方向両側）に２本の受光器用光ファイバ２２による受光部２２ａ７，２２ａ８を備えた箇所にある。

具体的には、第２実施形態に係る読み取りヘッド２０’は、１本の光源用光ファイバ２１と、その周りに配置された８本の受光器用光ファイバ２２とを矩形のフェルール２３’に入れて形成した構造である。フェルール２３’は、その端部に左側Ｖ溝整合要素２３’ａおよび右側Ｖ溝整合要素２３’ｂを設けている。これら左側Ｖ溝整合要素２３’ａと右側Ｖ溝整合要素２３’ｂに挟まれた界面に隣接するように、８本の受光器用光ファイバ２２は配置されている。これら８本の受光器用光ファイバ２２の束の上下左右の両端の受光部２２ａ１，２２ａ４，２２ａ７，２２ａ８を除く、受光部２２ａ２，２２ａ３，２２ａ５，２２ａ６には、Ｙ方向に平行な溝を有する透過型回折格子を形成したマスク２６’ｂが設けられている。

この第２実施形態に係る読み取りヘッド２０’において、受光部２２ａ１及び２２ａ４は、照射部２１ａの中心からＹ方向に均等距離に位置する箇所の反射光が受光されるように設けられている。また、受光部２２ａ７及び２２ａ８は、照射部２１ａの中心からＸ方向に均等距離に位置する箇所の反射光が受光されるように設けられている。また、受光部２２ａ２，２２ａ３，２２ａ５，２２ａ６は、マスク２６ｂ’により、干渉縞として反射光が受光されるようにされている。

このように配置された受光部２２ａ１〜２２ａ８において、第１実施形態と同様に受光部２２ａ２，２２ａ３，２２ａ５，２２ａ６から得られる信号をスケール１０に対する測定軸方向の変位を検出するための信号として用いる。また、受光部２２ａ７，２２ａ８から得られる信号をスケール１０に対する受光部のＰ方向の補正を行うための信号、受光部２２ａ１，２２ａ４から得られる信号をスケール１０に対する受光部のＲ方向の補正を行うための信号として使用する。すなわち、それぞれの受光部２２ａ１〜２２ａ８と、反射光のＸ方向及びＹ方向の分布は、図１０（ａ），（ｂ）に示される関係となり、第１実施形態における図５とは異なり、Ｘ方向及びＹ方向ともにガウス分布の両裾の光強度Ａ１’，Ａ１’及びＡ２’，Ａ２’を検出する。

次に、図１１を参照して、第２実施形態に係る光電式エンコーダの信号処理部３０’を説明する。第２実施形態に係る光電式エンコーダにおいて、Ｐ方向とＲ方向の制御は、それぞれ独立した信号に基づき実行される。受光部２２ａ１，２２ａ４（Ｙ方向の光強度の分布）からの信号は、それぞれアンプ３１’，３２’を介して増幅され、差分器３３’により差分信号が生成される。第１制御部３４’は、差分器３３’からの差分信号がゼロになるように光電式エンコーダを制御し、Ｒ方向の補正を行う。

同様に、受光部２２ａ７，２２ａ８（Ｘ方向の光強度の分布）からの信号をそれぞれアンプ３１’’，３２’’を介して増幅させ、差分器３３’’により差分信号を生成する。そして、第２制御部３９’は、差分器３３’’からの差分信号がゼロになるように光電式エンコーダを制御し、Ｐ方向の補正を行う。

以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更、追加、置換等が可能である。例えば、光源は、光ファイバによってレーザ光などを導くものに限られず、面発光ダイオード等であってもよい。また、光ファイバの円形の受光部に遮蔽物を被せる構造としたが、受光器用光ファイバを用いるものに限られず、縞状アレイのＣＣＤ等を直接形成することも可能である。

本発明の第１実施形態に係る光電式エンコーダの斜視図である。本発明の第１実施形態に係る読み取りヘッドの正面図である。本発明の第１実施形態に係る読み取りヘッドの断面図である。本発明の第１実施形態に係る読み取りヘッドの一部を切り欠いた斜視図である。本発明の第１実施形態に係る読み取りヘッドの位置関係及び反射光の空間分布を示す図である。理想的なアライメント状態にある場合のリサージュ波形である。アライメント誤差を含んでいる場合のリサージュ波形である。本発明の第１実施形態に係る信号処理部の機能ブロック図である。本発明の第２実施形態に係る読み取りヘッドの正面図である。本発明の第２実施形態に係る読み取りヘッドの位置関係及び反射光の空間分布を示す図である。本発明の第２実施形態に係る信号処理部の機能ブロック図である。

符号の説明

１０…スケール、１１…格子、２０…読み取りヘッド、２１…光源用光ファイバ、２１ａ…コア（照射部）、２１ｂ…クラッド、２１ｃ…被覆、２２…受光器用光ファイバ、２２ａ１〜２２ａ６…コア（受光部）、２２ｂ…クラッド、２２ｃ…被覆、２３…第１フェルール、２３’…フェルール、２３’ａ…左側Ｖ溝整合要素、２３’ｂ…右側Ｖ溝整合要素、２４…第２フェルール、２６…スリット、２６ａ…第１のスリット、２６ｂ…第２のスリット，２６ｂ’…マスク、３０，３０’…信号処理部、３１，３２，３１’，３２’，３１’’，３２’’…アンプ、３３，３３’，３３’’，３８…差分器、３４，３４’…第１制御部、３６，３７…加算器、３９，３９’…第２制御部。

Claims

測定軸方向に所定ピッチで回折格子が形成されたスケールと、
このスケールに対して相対移動可能に配置され、前記スケールにコヒーレント光を照射する照射部、並びにこの照射部の周囲に前記測定軸方向及びこれと直交する方向に所定の間隔を空けて配置され前記照射部から出射され前記スケールの回折格子で反射された光を受光する複数の受光部が同一検出面上に配置された読み取りヘッドと、
この読み取りヘッドの受光部からの受光信号を処理して前記スケールに対する前記読み取りヘッドの前記測定軸方向の変位を検出する信号処理手段と
を備えた光電式エンコーダにおいて、
前記受光部は、
前記照射部から等距離に配置された透過型の回折格子を受光面に有し前記スケールに対する前記測定軸方向の変位を検出するための変位検出用受光部と、
前記照射部を中心として前記スケールに対する前記検出面のピッチ及びロールを検出するための傾斜モニタ用受光部とを備え、
前記信号処理手段は、
前記傾斜モニタ用受光部からの受光信号によって前記変位検出用受光器の受光信号を補正するものであり、
前記傾斜モニタ用受光部は、
前記照射部から前記測定軸方向の一方の側にずれ、且つ前記照射部を中心として前記測定軸と直交する方向に均等配置された領域に照射される光をそれぞれ受光する一対のモニタ用受光部からなり、
前記信号処理手段は、前記モニタ用受光部の受光信号の加算値により前記検出面のピッチを検出し、前記モニタ用受光部の受光信号の差分値によりロールを検出するものである
ことを特徴とする光電式エンコーダ。
前記読み取りヘッドは、
先端に前記照射部を有する第１の光ファイバと、
この第１の光ファイバの周囲に配置されて先端に前記受光部を有する第２の光ファイバと、
これら第１及び第２の光ファイバの前記先端側を被覆材による被覆状態のまま緊密に束ねる円筒状のフェルールと
を備えてなることを特徴とする請求項１記載の光電式エンコーダ。