JP4927571B2 - 半導体素子、半導体モジュールおよび電子機器 - Google Patents
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Description
この態様によれば、動作の高速化が図れる。
この態様によれば、前記半導体チップと、前記異方性熱伝導部材との熱接触抵抗を低く抑えることができる。
この態様によれば、前記レーザチップと、前記異方性熱伝導部材との熱接触抵抗を低く抑えることができる。
この態様によれば、波長の安定性、高い発光効率等を確保することが可能となる。
この態様によれば、レーザチップを複数個並列に並べた構造を有するレーザモジュールにおいて、波長の安定性、高い発光効率等を確保することが可能となる。
本発明の他の態様に係る半導体素子は、前記半導体レーザ素子の側面に冷却放熱手段が設けられていることを特徴とする。この態様によれば、異方性熱伝導部材により層に垂直方向の熱浸透率である層垂直方向熱浸透率が低く抑えられると共に、半導体レーザ素子からの熱が異方性熱伝導部材を介して冷却放熱手段に伝達されるので、省スペースかつ冷却効率および熱電変換効率の向上が可能な半導体素子を実現できる。
(第1の実施の態様)
図1は、本発明の第1の実施の態様の半導体素子の構成を説明するための部分断面図である。図1(a)において、半導体素子100は、半導体チップ110の少なくとも1つの面に形成された異方性熱伝導部材120と、異方性熱伝導部材120内の熱を外部に放熱するヒートリード130と、異方性熱伝導部材120とヒートリード130とを熱的に接触させる接触層140と、異方性熱伝導部材120及びヒートリード130及び接触層140を覆う保護膜150とを備えるように構成される。この構成では、半導体チップ110との導通は、例えばリードフレーム技術を用いて行われる。
mλ/2.2<t<mλ/1.8 (mは自然数) (1)
ここで、mは自然数であり、λは対象とするフォノンの波長である。
図3は、本発明の第2の実施の態様のレーザ素子の断面構造を示す模式図である。図3において、レーザ素子300は、端面出射型のレーザチップ310のレーザチップ310を挟む2つの端面上にそれぞれ配置された異方性熱伝導部材320と、接触層340を介して異方性熱伝導部材320に接触するように形成されたヒートシンク330と、異方性熱伝導部材320とヒートシンク330とを熱的に接触させる接触層340とを備えるように構成される。図3において、レーザ光の出射方向はレーザチップ310の断面に垂直な方向である。
図5は、本発明の第3の実施の態様の積層型半導体素子の断面構造を示す模式図である。図5において、積層型半導体素子500は、半導体チップを有する層(以下、半導体チップ層という。)510と異方性熱伝導部材からなる層(以下、異方性熱伝導部材層という。)520とが交互に積層され3次元実装構造を有する3次元実装積層型半導体と、3次元実装積層型半導体の各層510、520に交差する側面上に形成されたヒートシンク530と、各半導体チップに接続する電極540と、基板550とを備えるように構成される。
図6は、本発明の第4の実施の態様の積層型高出力レーザ素子の断面構造を示す模式図である。図6において、積層型高出力レーザ素子600は、出射方向を揃えて1列に配置された端面出射型のレーザチップを有する層(以下、レーザチップ層)610と異方性熱伝導部材からなる層(以下、異方性熱伝導部材層)620とが交互に積層された積層型高出力レーザ素子と、積層型高出力レーザ素子の各層610、620に交差する側面上に異方性熱伝導部材層620に接触するように形成されたヒートシンク630と、各レーザチップに電流を供給するための図示しない電極とを備えるように構成される。積層型高出力レーザ素子600は、例えば、所定の平板部材640上に固定されるのでもよい。
なお、上記では、ヒートシンク630が1つの場合について説明したが、ヒートシンクは、例えば、積層型高出力レーザ素子の他の側面等に複数配置される構成でもよい。
次に、本発明を具体化した第5の実施の形態に係る半導体素子を図7に基づいて説明する。
本実施形態に係る半導体素子は、上記第1の実施の形態で説明した異方性熱伝導部材(図2に示す異方性熱伝導部材120)を放熱に利用したハイパワーLED(発光ダイオード)素子である。
○基板73上に異方性熱伝導膜71を形成し、この異方性熱伝導膜71の表面上にLEDチップ72を実装することでハイパワーLED素子70を作製できるので、図10に示す上記従来技術のような素子設計上、構造に制約がなくなる。これと共に、基板73は汎用基板で良いので、部品コストを低減できる。これにより、構造が簡単で、汎用基板への高効率成膜が可能となり、製造コストを低減することができる。
○異方性熱伝導膜71によりLEDチップ72全体の温度分布が平坦化されて、LEDチップ72のピーク温度が下げられるので、ハイパワーLED素子70の長寿命化を図ることができる。
○異方性熱伝導膜71の露出した両端面が接触層75をそれぞれ介してペルチェ素子74と熱的に良好に接触するようになっている。このため、異方性熱伝導膜71により層に垂直方向の熱浸透率である層垂直方向熱浸透率が低く抑えられると共に、LEDチップ72からの熱が異方性熱伝導膜71を介してペルチェ素子74に伝達され、放熱されるので、省スペースかつ冷却効率および熱電変換効率の向上が可能なハイパワーLED素子を実現できる。
次に、本発明を具体化した第6の実施の形態に係る半導体素子を図8および図9に基づいて説明する。
まず、電流狭窄のためのp型層921を形成後、異方性熱伝導膜93を形成し、その後、n型層922を形成する。
○電流狭窄層92内部に形成された異方性熱伝導膜93により半導体レーザ素子90の活性層91近傍の温度分布が平坦化されて、活性層91近傍のピーク温度が下げられる。これにより、活性層91近傍の低温化、特に活性層91近傍のピーク温度の低温化を図ることができるので、半導体レーザ素子90の長寿命化を図ることができる。
○半導体レーザ素子90の両側面には、冷却放熱手段が接触層をそれぞれ介して配置され、異方性熱伝導膜93の露出した両端面が接触層をそれぞれ介してペルチェ素子等の冷却放熱手段と熱的に良好に接触するようになっている。これにより、異方性熱伝導膜93により層に垂直方向の熱浸透率である層垂直方向熱浸透率が低く抑えられると共に、半導体レーザ素子90からの熱が異方性熱伝導膜93を介して冷却放熱手段に伝達されるので、省スペースかつ冷却効率および熱電変換効率の向上が可能な半導体レーザ素子90を実現できる。
71 異方性熱伝導膜
72 LEDチップ
73 基板
90 半導体レーザ素子
91 活性層
92 電流狭窄層
93 異方性熱伝導膜
100、200 半導体素子
110、210 半導体チップ
120、220、320 異方性熱伝導部材
121 熱伝導層
122 熱共振層
130、230 ヒートリード
140、240、340 接触層
150、250 保護膜
260 回路基板等の部材
300、400 レーザ素子
310、410 レーザチップ
330、530、630 ヒートシンク
331 ヒートスプレッダ
332 ベース
333、434 底板
334、435 レーザ固定部材
335 外部ヒートシンク
431〜433 ヒートシンク用部材
500 積層型半導体素子
510 半導体チップ層
520、620 異方性熱伝導部材層
540 電極
550 基板
600 積層型高出力レーザ素子
610 レーザチップ層
640 平板部材
Claims (18)
- 半導体チップと、前記半導体チップの少なくとも1つの面に形成され、熱伝導率の高い材料からなる熱伝導層と層厚(t)が動作温度での対象とするフォノンの平均自由工程より短く、且つ、層厚(t)がmを自然数とし、対象とするフォノンの波長をλで記載した場合に、以下の式(1)を満たす厚さになっている熱共振体層とが交互に積層された異方性熱伝導部材と、前記異方性熱伝導部材内の熱を外部に放熱するヒートリードと、前記異方性熱伝導部材と前記ヒートリードとを熱的に接触させる接触層と、前記異方性熱伝導部材、ヒートリード及び前記接触層を覆う保護膜と、を備えることを特徴とする半導体素子。
mλ/2.2<t<mλ/1.8 (mは自然数) (1) - 端面出射型のレーザチップと、前記レーザチップの共振方向に沿った端面であって前記レーザチップを挟む2つの積層方向の端面の少なくとも一方に形成され、熱伝導率の高い材料からなる熱伝導層と層厚(t)が動作温度での対象とするフォノンの平均自由工程より短く、且つ、層厚(t)がmを自然数とし、対象とするフォノンの波長をλで記載した場合に、以下の式(1)を満たす厚さになっている熱共振体層とが交互に積層された異方性熱伝導部材と、前記異方性熱伝導部材が形成された積層方向端面に交差する端面であって前記共振方向に沿った端面上に、接触層を介して前記異方性熱伝導部材に接触するように形成されたヒートシンクと、を備えるレーザ素子として構成され、前記レーザチップが発生する熱を前記異方性熱伝導部材を介して前記ヒートシンクに伝達させて放熱することを特徴とする半導体素子。
mλ/2.2<t<mλ/1.8 (mは自然数)(1) - 端面出射型のレーザチップと、前記レーザチップの共振方向に沿った端面であって前記レーザチップを挟む2つの積層方向の端面の少なくとも一方に形成され、熱伝導率の高い材料からなる熱伝導層と層厚(t)が動作温度での対象とするフォノンの平均自由工程より短く、且つ、層厚(t)がmを自然数とし、対象とするフォノンの波長をλで記載した場合に、以下の式(1)を満たす厚さになっている熱共振体層とが交互に積層された異方性熱伝導部材と、前記レーザチップから所定距離離れた位置に形成されたヒートシンクと、を備えるレーザ素子として構成され、前記レーザチップが発生する熱を前記異方性熱伝導部材を介して前記ヒートシンクに伝達させて放熱することを特徴とする半導体素子。
mλ/2.2<t<mλ/1.8 (mは自然数) (1) - 半導体チップを有する層と、熱伝導率の高い材料からなる熱伝導層と層厚(t)が動作温度での対象とするフォノンの平均自由工程より短く、且つ、層厚(t)がmを自然数とし、対象とするフォノンの波長をλで記載した場合に、以下の式(1)を満たす厚さになっている熱共振体層とが交互に積層された異方性熱伝導部材からなる層とが交互に積層され3次元実装構造を有する3次元実装積層型半導体チップと、
前記3次元実装積層型半導体チップの各層に交差する側面上に形成されたヒートシンクと、
前記半導体チップの各層に接続する電極と、
を備える積層型半導体素子として構成され、前記半導体チップが発生する熱を前記異方性熱伝導部材からなる層を介して前記ヒートシンクに伝達させて放熱することを特徴とする半導体素子。
mλ/2.2<t<mλ/1.8 (mは自然数)(1) - 出射方向を揃えて1列に配置されたレーザチップを有する層と、熱伝導率の高い材料からなる熱伝導層と層厚(t)が動作温度での対象とするフォノンの平均自由工程より短く、且つ、層厚(t)がmを自然数とし、対象とするフォノンの波長をλで記載した場合に、以下の式(1)を満たす厚さになっている熱共振体層とが交互に積層された異方性熱伝導部材からなる層とが交互に積層された積層型高出力レーザチップと、
前記レーザチップの各層に交差する側面上に前記異方性熱伝導部材に接触するように形成されたヒートシンクと、
前記レーザチップの各層に接続する電極と、
を備える積層型高出力レーザ素子として構成され、前記レーザチップの各層が発生する熱を前記異方性熱伝導部材からなる層を介してヒートシンクに伝達させて放熱することを特徴とする半導体素子。
mλ/2.2<t<mλ/1.8 (mは自然数)(1) - 前記電極が前記半導体チップのいずれか1つ以上の層を貫通する貫通電極であることを特徴とする請求項4に記載の半導体素子。
- 請求項1、4に記載の前記半導体チップと、前記異方性熱伝導部材とを金属粒子、酸化物粒子、およびハンダ粒子のいずれかからなるナノ粒子を介して接触させることを特徴とする半導体素子。
- 請求項2、3、5のいずれか一つに記載の前記レーザチップと、前記異方性熱伝導部材とを金属粒子、酸化物粒子、およびハンダ粒子のいずれかからなるナノ粒子を介して接触させることを特徴とする半導体素子。
- 請求項1、4に記載の半導体チップを有する半導体素子から構成されたことを特徴とする半導体モジュール。
- 請求項2、3、5のいずれか一つに記載のレーザチップを有する半導体素子から構成されたことを特徴とするレーザモジュール。
- 請求項10に記載のレーザチップを有する半導体素子を複数個並列に並べた構造を有し、レーザモジュールとして構成されたことを特徴とするレーザモジュール。
- 請求項9に記載の半導体モジュールを基板に組み込んだことを特徴とする電子機器。
- 請求項12に記載の電子機器が自動車用制御機器であることを特徴とする電子機器。
- 熱伝導率の高い材料からなる熱伝導層と層厚(t)が動作温度での対象とするフォノンの平均自由工程より短く、且つ、層厚(t)がmを自然数とし、対象とするフォノンの波長をλで記載した場合に、以下の式(1)を満たす厚さになっている熱共振体層とが交互に積層された異方性熱伝導部材を備え、発熱源から前記異方性熱伝導部材を用い基板面に平行な方向に熱を移送し、発熱源から所定距離離間した位置のヒートシンクに熱を移送し放熱を行うことを特徴とする電子機器。
mλ/2.2<t<mλ/1.8 (mは自然数) (1) - 発光ダイオードチップと、熱伝導率の高い材料からなる熱伝導層と層厚(t)が動作温度での対象とするフォノンの平均自由工程より短く、且つ、層厚(t)がmを自然数とし、対象とするフォノンの波長をλで記載した場合に、以下の式(1)を満たす厚さになっている熱共振体層とが交互に積層された異方性熱伝導部材と、基板と、を備え、
前記基板上に前記異方性熱伝導部材が形成されており、前記異方性熱伝導部材の表面上に前記発光ダイオードチップが実装されていることを特徴とする半導体素子。
mλ/2.2<t<mλ/1.8 (mは自然数) (1) - 前記異方性熱伝導部材の側面と前記基板の側面のうち、少なくとも前記異方性熱伝導部材の側面に、前記発光ダイオードチップから前記異方性熱伝導部材を介して伝達した熱を吸熱して冷却または放熱する1つ以上の冷却放熱手段が設けられていることを特徴とする請求項15に記載の半導体素子。
- 活性層および電流狭窄層を有する半導体レーザ素子と、熱伝導率の高い材料からなる熱伝導層と層厚(t)が対象とするフォノンの平均自由工程より短く、且つ、層厚(t)がmを自然数とし、対動作温度での象とするフォノンの波長をλで記載した場合に、以下の式(1)を満たす厚さになっている熱共振体層とが交互に積層された異方性熱伝導部材と、基板と、を備え、前記異方性熱伝導部材が前記電流狭窄層の内部、上部および下部のいずれかに形成されていることを特徴とする半導体素子。
mλ/2.2<t<mλ/1.8 (mは自然数)(1) - 前記半導体レーザ素子の側面に冷却放熱手段が設けられていることを特徴とする請求項17に記載の半導体素子。
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