JP4925780B2 - パターン修正方法およびパターン修正装置 - Google Patents
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- 基板上に形成された微細パターンの欠陥部を修正するパターン修正方法において、
第1のフィルムにレーザ光を照射して前記欠陥部に応じた形状の第1の貫通孔を形成するとともに第2のフィルムにレーザ光を照射して前記欠陥部に応じた形状の第2の貫通孔を形成し、
前記第1および第2の貫通孔が上下に重なるように前記第1および第2のフィルムを上下に重ねるとともに前記第2の貫通孔の開口部を前記欠陥部に所定の隙間を開けて対峙させ、
前記第1および第2の貫通孔を含む所定の範囲で前記第1および第2のフィルムを前記基板に押圧するとともに前記第1および第2の貫通孔を介して前記欠陥部に修正液を塗布し、
前記第1および第2のフィルムの復元力で前記第1および第2のフィルムを前記基板から剥離させることを特徴とする、パターン修正方法。 - 前記第1および第2の貫通孔を介して前記欠陥部に前記修正液を塗布する際に、前記修正液の一部を前記第1および第2のフィルムの隙間に吸い込ませることを特徴とする、請求項1に記載のパターン修正方法。
- 前記第1および第2のフィルムは1枚の第3のフィルムに含まれ、
ローラを介して前記第3のフィルムを折り返し、
折り返した前記第3のフィルムのうちの上方に位置する前記第2のフィルムにレーザ光を照射して前記第2の貫通孔を形成し、
前記第3のフィルムを駆動して前記第2のフィルムの上方に前記第1のフィルムを配置し、
前記第1のフィルムにレーザ光を照射して前記第1の貫通孔を形成し、
前記第1のフィルムを前記第2のフィルムの上に重ねて前記第1の貫通孔を前記第2の貫通孔の上に位置決めすることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載のパターン修正方法。 - 前記第1のフィルムにレーザ光を照射して前記第1の貫通孔を形成したとき、前記第1および第2の貫通孔は上下に重ならないようにされていることを特徴とする、請求項3に記載のパターン修正方法。
- 前記第1および第2のフィルムは1枚の第3のフィルムに含まれ、
ローラを介して前記第3のフィルムを折り返し、
折り返した前記第3のフィルムのうちの上方に位置する前記第2のフィルムにレーザ光を照射して前記第2の貫通孔を形成し、
前記第3のフィルムを駆動して前記第1のフィルムを前記第2のフィルムの上に重ね、
前記第1のフィルムにレーザ光を照射して前記第2の貫通孔の上に前記第1の貫通孔を形成することを特徴とする、請求項1または請求項2に記載のパターン修正方法。 - 基板上に形成された微細パターンの欠陥部を修正するパターン修正装置において、
第1のフィルムにレーザ光を照射して前記欠陥部に応じた形状の第1の貫通孔を形成するとともに第2のフィルムにレーザ光を照射して前記欠陥部に応じた形状の第2の貫通孔を形成するレーザ照射手段と、
前記第1および第2の貫通孔が上下に重なるように前記第1および第2のフィルムを上下に重ねるとともに前記第2の貫通孔の開口部を前記欠陥部に所定の隙間を開けて対峙させるフィルム駆動手段と、
前記第1および第2の貫通孔を含む所定の範囲で前記第1および第2のフィルムを前記基板に押圧するとともに前記第1および第2の貫通孔を介して前記欠陥部に修正液を塗布する塗布手段とを備え、
前記第1および第2のフィルムの復元力で前記第1および第2のフィルムを前記基板から剥離させることを特徴とする、パターン修正装置。 - 前記第2の貫通孔は、前記第2のフィルムの表面側から裏面側に向かって小径になる断面テーパ形状を有し、
前記フィルム駆動手段は、前記第2の貫通孔の前記第2のフィルムの表面側の開口部を前記欠陥部に対峙させることを特徴とする、請求項6に記載のパターン修正装置。 - 前記第1および第2のフィルムは1枚の第3のフィルムに含まれ、
前記フィルム駆動手段は、前記第3のフィルムを折り返して前記第2のフィルムの上方に前記第1のフィルムを配置するためのローラを含むことを特徴とする、請求項6または請求項7に記載のパターン修正装置。 - 前記フィルム駆動手段は、前記第1のフィルムを下方に押圧して前記第2のフィルムの上に重ねる押圧手段を含むことを特徴とする、請求項8に記載のパターン修正装置。
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