JP4919624B2 - 透明性導電層を含む全方向性リフレクタを有する発光ダイオード - Google Patents

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Description

本発明は、全方向性リフレクタ(ODR)を有する発光ダイオードに関し、より詳細には、透明性導電層を含む全方向性リフレクタを有する発光ダイオードに関する。
LEDは幅広い応用を有する。例えば、LEDは、光学装置、信号機、データ記憶装置、通信装置、発光装置及び医療装置で活用できる。したがって、LEDの輝度及び発光効率は、LEDの作製における重要な要因である。
全方向性リフレクタを有するLED及びその作製方法が開示されている(例えば、非特許文献1参照。)。GaNのLEDスタックがサファイア基板上に形成され、ITOの透明性導電層がGaNのLEDスタック上に形成されて、Ag層がITOの透明性導電層上に形成される。したがって、GaN/ITO/Agを形成し、全方向性リフレクタを有するLED構造が形成される。GaN/ITO/Agを形成し、全方向性リフレクタを有するLED構造は、NiとAuの現行の分配層を有する従来のGaNのLED構造の光伝導度よりも良好な光伝導度を有することができ、それによって、良好な輝度を達成する。しかしながら、密着によってAg層がITO層に対して良好に結合できないので、GaN/ITO/Agを形成し、全方向性リフレクタを有するLED構造は、剥脱する問題点がある。加えて、青色光の短波長に関するGaN/ITO/Agを形成し、全方向性リフレクタを有するLEDの反射率が低いので、GaN/ITO/Agを形成し、全方向性リフレクタを有するLEDの輝度は効率的に高めることはできない。
従来のGaN/ITO/Agを形成し、全方向性リフレクタを有するLEDにおいて、ITO層とAg層との間の結合を増大するために、Cr層がITO層とAg層との間に形成される。しかしながら、Crが吸光性及び低反射率を有するので、全方向性リフレクタを有するLEDの輝度は高くできない。
Gessmann、Proc.SPIE Int.Soc.Opt.Eng.4996 139(2003)
上述したように、従来技術では、ITO層及びAg層は、全方向性リフレクタを有するLEDでの密着によって良好に結合しない。反射率は、全方向性リフレクタを有するLEDの青色光の短波長で低く、全方向性リフレクタを有するLEDの青色光の短波長の輝度は、従来では効果的に高めることができない。さらに、ITO/Cr/Ag又はITO/Cr/AlのLEDは、吸光、低反射率及び低輝度の問題点を有する。
したがって、本発明の一つの態様は、従来のITO/Cr/Ag又はITO/Cr/AlのLEDの低い輝度の問題を解決することである。本発明の別の態様は、全方向性リフレクタを有するLEDのITO層とAg層との間の密着特性を改善することである。本発明の第三の態様は、全方向性リフレクタを有するLEDの青色光の短波長での反射率を改善することである。したがって、本発明はLEDの輝度を改善するための概念を提供する。
上述の問題を解決するために、本発明者は本発明の概念を開示する。つまり、密着層は、GaN/ITO/Agを形成し、全方向性リフレクタを有するLEDのITO層とAg層との間に形成され、密着層と透明性導電層との間の密着力及び密着層と金属層との間の密着力はそれぞれ両者とも、ITO層とAg層との間の密着力よりも良好で、低い密着特性の問題点は改善される。これは、NiとAuの現行の分配層を有する従来の全方向性リフレクタを有するLEDの反射率よりも良好な反射率を有する全方向性リフレクタを有するLEDを成すことができる。したがって、これは、効果的にLEDの輝度を高めることができる。
上述の目的を達成するために、本発明は、透明性導電層を含む全方向性リフレクタを有するLEDを開示する。LEDは、基板と、基板上に形成された粘着層と、粘着層上に形成された金属製の反射層と、金属製の反射層上に形成された密着層と、密着層上に形成された透明性導電層と、を含み、透明層の上層は第一表面領域及び第二表面領域を含む。LEDはさらに、第一表面領域上に形成された第一接触層と、第一接触層上に形成された第一クラッディング層と、第一クラッディング層上に形成された発光層と、発光層上に形成された第二クラッディング層と、第二クラッディング層上に形成された第二接触層と、第二接触層上に形成された第一ワイヤー電極と、透明性導電層の第二表面領域上に形成された第二ワイヤー電極と、を含む。さらに、反応層は、基板と粘着層との間に形成できるか、又は粘着層と金属製の反射層との間に形成できる。代替として、2つの反応層は、基板と粘着層との間、及び粘着層と金属製の反射層との間にそれぞれ形成できる。これは、密着力を高めることができる。
上述の基板は、GaAs、AlGaAs、GaAsP、GaP、Si、SiC、金属、サファイア、GaN、AlN、ZnO、ガラス及び代替となる置き換え可能な物質で構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成る。
上述の粘着層は、PI、BCB、PFCB及び代替となる置き換え可能な物質で構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成る。
上述の金属製の反射層は、Al及びAgで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成る。
上述の密着層は、SiNx、SiO、SiO、TiO、Al、及び代替となる置き換え可能な物質で構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成る。
上述の透明性導電層は、酸化インジウムスズ、酸化カドミウムスズ、酸化アンチモンスズ、酸化亜鉛及び酸化亜鉛スズで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成る。
上述の第一接触層は、GaP、GaAs、GaAsP、AlGaInP、GaN、InGaN、及びAlGaNで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成る。
上述の第一クラッディング層は、AlGaInP、AlInP、AlN、GaN、AlGaN、InGaN及びAlGaInNで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成る。
上述の発光層は、AlGaInP、InGaP、GaN、AlGaN、InGaN及びAlGaInNで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成る。
上述の第二クラッディング層は、AlGaInP、AlInP、AlN、GaN、AlGaN、InGaN及びAlGaInNで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成る。
上述の第二接触層は、GaP、GaAs、GaAsP、InGaP、AlGaInP、AlGaAs、GaN、InGaN及びAlGaNで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成る。
上述の反応層は、SiNx、Ti及びCrで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成る。
図1は、ITO/Al又はITO/Agを形成し、全方向性リフレクタを有するLEDの反射率と波長との関係を例示する図である。図1に示されるように、LEDは青色光の短波長の低い反射率を有する。445nmの波長において、反射率は0.53と0.65との間である。したがって、従来のITO/Al又はITO/Agを形成し、全方向性リフレクタを有するLEDは、青色光の短波長での不良な輝度の問題を有する。
図2は、ITO/Cr/Al又はITO/Cr/Agを形成し、全方向性リフレクタを有するLEDの反射率と波長との関係を例示する図である。図2に示されるように、反射率は、上述のITO/Al又はITO/Agを形成し、全方向性リフレクタを有するLEDの反射率よりも低い。445nmの波長において、反射率は0.27と0.58との間である。発光効率はさらに悪い。
図3は、透明性導電層を設けたITO/密着層/Al又はITO/密着層/Agを形成し、全方向性リフレクタを有するLEDの反射率と波長との関係を例示する図である。図3に示されるように、445nmの波長において、反射率は0.79と0.94との間である。430nmの波長の波長であっても、最も低い反射率は、0.75と0.90との間である。反射率が、ITO/Cr/Ag若しくはITO/Cr/AlのLED又はITO/Al若しくはITO/AGで、全方向性リフレクタを有するLEDの反射率よりも高いことが分かる。さらに、青色光の短波長においても、反射率は明白には減じない。したがって、不良な反射率及び不良な輝度の従来の問題は、青色光の短波長で改善される。
本発明の上述及び他の目的は、添付図で例示される好ましい実施態様の下記の詳細な記載から、当業者に明白となる。
第一の実施態様
本発明による透明性導電層を設けた全方向性リフレクタのLEDの実施態様の図である図4を参照する。LEDは、基板10と、基板10上に形成された粘着層11と、粘着層11上に形成された金属製の反射層12と、金属製の反射層12上に形成された密着層13と、密着層13上に形成された透明性導電層14と、を含み、透明層14の上層は第一表面領域及び第二表面領域を含む。LEDはさらに、第一表面領域上に形成された第一接触層15と、第一接触層15上に形成された第一クラッディング層16と、第一クラッディング層16上に形成された発光層17と、発光層17上に形成された第二クラッディング層18と、第二クラッディング層18上に形成された第二接触層19と、第二接触層19上に形成された第一ワイヤー電極8と、透明性導電層14の第二表面領域上に形成された第二ワイヤー電極9と、を含む。
第二の実施態様
本発明による透明性導電層を設けた全方向性リフレクタのフリップチップLEDの別の実施態様の図である図5を参照する。フリップチップLEDは、透明性基板110と、透明性基板110の下に形成された第一接触層111と、を含み、第一接触層111の底面は第一表面領域及び第二表面領域を含む。フリップチップLEDはさらに、第一接触層111の第一表面領域の下に形成された第一クラッディング層112と、第一クラッディング層112の下に形成された発光層113と、発光層113の下に形成された第二クラッディング層114と、第二クラッディング層114の下に形成された第二接触層115と、第二接触層115の下に形成された透明性導電層14と、透明性導電層14の下に形成された分配パターンを有する密着層116と、密着層116の下に形成された金属製の反射層12と、金属製の反射層12の下に形成された第一ワイヤー電極8と、第一接触層111の第二表面の下に形成された第二ワイヤー電極9と、を含む。
第三の実施態様
本発明による全方向性リフレクタ及び透明性導電層を有するフリップチップLEDの別の実施態様の図である図6を参照する。この実施態様において、フリップチップLEDは、前述の実施態様のフリップチップLEDと同様である。それらの違いは、前述の透明性基板が透明な基板と粘着層との組み合わせであることである。この実施態様において、フリップチップLEDは、透明性基板110と、透明性基板110の下に形成された粘着層11と、粘着層11の下に形成された透明性導電層14と、を含み、透明性導電層14の底面は、第一表面領域及び第二表面領域を含む。フリップチップLEDはさらに、透明性導電層14の第一表面領域の下に形成された第一接触層111と、第一接触層111の下に形成された第一クラッディング層112と、第一クラッディング層112の下に形成された発光層113と、発光層113の下に形成された第二クラッディング層114と、第二クラッディング層114の下に形成された第二接触層115と、第二接触層115の下に形成された透明性導電層14と、透明性導電層14の下に形成された分配パターンを有する密着層116と、密着層116の下に形成された金属製の反射層12と、金属製の反射層12の下に形成された第一ワイヤー電極8と、透明性導電層14の第二表面領域の下に形成された第二ワイヤー電極9と、を含む。
上述の基板は、GaAs、AlGaAs、GaAsP、GaP、Si、SiC、金属、サファイア、GaN、AlN、ZnO、ガラス及び他の代替となる置き換え可能な物質で構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成る。
上述の透明性基板は、GaP、SiC、サファイア、GaN、ZnO、MgO及び他の代替となる置き換え可能な物質で構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成る。
上述の粘着層は、PI、BCB、PFCB及び他の代替となる置き換え可能な物質で構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成る。
上述の金属製の反射層は、Al及びAgで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成る。
上述の密着層は、SiNx、SiO、SiO、TiO、Al、及び代替物質で構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成る。
上述の透明性導電層は、酸化インジウムスズ、酸化カドミウムスズ、酸化アンチモンスズ、酸化亜鉛及び酸化亜鉛スズで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成る。
上述の第一接触層は、GaP、GaAs、GaAsP、AlGaInP、GaN、InGaN、及びAlGaNで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成る。
上述の第一クラッディング層は、AlGaInP、AlInP、AlN、GaN、AlGaN、InGaN及びAlGaInNで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成る。
上述の発光層は、AlGaInP、InGaP、GaN、AlGaN、InGaN及びAlGaInNで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成る。
上述の第二クラッディング層は、AlGaInP、AlInP、AlN、GaN、AlGaN、InGaN及びAlGaInNで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成る。
上述の第二接触層は、GaP、GaAs、GaAsP、InGaP、AlGaInP、AlGaAs、GaN、InGaN及びAlGaNで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成る。
上述の第一接触層は、GaP、GaAs、GaAsP、AlGaInP、GaN、InGaN及びAlGaNで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成る。
上述の第一クラッディング層は、AlN、GaN、AlGaN、InGaN及びAlGaInNで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成る。
上述の発光層は、GaN、AlGaN、InGaN及びAlGaInNで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成る。
上述の第二クラッディング層は、AlN、GaN、AlGaN、InGaN及びAlGaInNで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成る。
上述の第二接触層は、GaN、InGaN及びAlGaNで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成る。
本発明の開示において、装置及び方法の多数の修正及び変形がなされてもよいことを当業者は容易に認識するであろう。したがって、上述の開示は、単に、請求項の範囲によってのみ限定されるように解釈されるべきである。
ITO/Al又はITO/Agを形成し、全方向性リフレクタを有するLEDの反射率と波長との関係を例示する図である。 ITO/Cr/Al又はITO/Cr/Agを形成し、全方向性リフレクタを有するLEDの反射率と波長との関係を例示する図である。 透明性導電層を設けたITO/密着層/Al又はITO/密着層/Agを形成し、全方向性リフレクタを有するLEDの反射率と波長との関係を例示する図である。 本発明による透明性導電層を設けた全方向性リフレクタのLEDの実施態様の図である。 本発明による透明性導電層を設けた全方向性リフレクタのフリップチップLEDの別の実施態様の図である。 本発明による透明性導電層を設けた全方向性リフレクタのフリップチップLEDのまた別の実施態様の図である。
符号の説明
8 第一ワイヤー電極
9 第二ワイヤー電極
10 基板
11 粘着層
12 金属製の反射層
13 密着層
14 透明性導電層
15 第一接触層
16 第一クラッディング層
17 発光層
18 第二クラッディング層
19 第二接触層
110 透明性基板
111 第一接触層
112 第一クラッディング層
113 発光層
114 第二クラッディング層
115 第二接触層
116 密着層

Claims (28)

  1. 基板と、
    金属製の反射層と、
    前記金属製の反射層上に直接形成された密着層と、
    前記密着層上に形成された透明性導電層と、
    前記透明性導電層上に形成されたLEDスタックと、
    前記基板と前記金属製の反射層との間に形成された粘着層と、
    を含む全方向性リフレクタを有し、
    前記密着層は、SiNx、SiO、TiO 及びAl 構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成ることを特徴とする発光ダイオード。
  2. 前記基板と前記粘着層との間又は前記粘着層と前記金属製の反射層との間に形成された密着力を高める反応層をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の発光ダイオード。
  3. 前記反応層は、SiNx、Ti及びCrで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成ることを特徴とする請求項2に記載の発光ダイオード。
  4. 前記基板と前記粘着層との間に形成された第一反応層と、
    前記粘着層と前記金属製の反射層との間に形成された第二反応層と、
    をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の発光ダイオード。
  5. 前記第一又は第二反応層は、SiNx、Ti及びCrで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成ることを特徴とする請求項4に記載の発光ダイオード。
  6. 前記LEDスタック上に形成された透明性導電層をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の発光ダイオード。
  7. 前記透明性導電層は、酸化インジウムスズ、酸化カドミウムスズ、酸化アンチモンスズ、酸化亜鉛及び酸化亜鉛スズで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成ることを特徴とする請求項6に記載の発光ダイオード。
  8. 前記透明性導電層は、酸化インジウムスズ、酸化カドミウムスズ、酸化アンチモンスズ、酸化亜鉛及び酸化亜鉛スズで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成ることを特徴とする請求項1に記載の発光ダイオード。
  9. 前記金属製の反射層は、Al及びAgで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成ることを特徴とする請求項1に記載の発光ダイオード。
  10. 前記基板は、GaAs、AlGaAs、GaAsP、GaP、Si、SiC、金属、サファイア、GaN、AlN、ZnO及びガラスで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成ることを特徴とする請求項1に記載の発光ダイオード。
  11. 前記粘着層は、PI、BCB及びPFCBで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成ることを特徴とする請求項1に記載の発光ダイオード。
  12. 前記LEDスタックは、
    第一接触層と、
    前記第一接触層上に形成された第一クラッディング層と、
    前記第一クラッディング層上に形成された発光層と、
    前記発光層上に形成された第二クラッディング層と、
    前記第二クラッディング層上に形成された第二接触層と、
    を含むことを特徴とする請求項1に記載の発光ダイオード。
  13. 前記第一接触層は、GaP、GaAs、GaAsP、AlGaInP、GaN、InGaN、及びAlGaNで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成ることを特徴とする請求項12に記載の発光ダイオード。
  14. 前記第一クラッディング層は、AlGaInP、AlInP、AlN、GaN、AlGaN、InGaN及びAlGaInNで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成ることを特徴とする請求項12に記載の発光ダイオード。
  15. 前記発光層は、AlGaInP、InGaP、GaN、AlGaN、InGaN及びAlGaInNで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成ることを特徴とする請求項12に記載の発光ダイオード。
  16. 前記第二クラッディング層は、AlGaInP、AlInP、AlN、GaN、AlGaN、InGaN及びAlGaInNで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成ることを特徴とする請求項12に記載の発光ダイオード。
  17. 前記第二接触層は、GaP、GaAs、GaAsP、InGaP、AlGaInP、AlGaAs、GaN、InGaN及びAlGaNで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成ることを特徴とする請求項12に記載の発光ダイオード。
  18. 透明性基板と、
    前記透明性基板の下に形成されたLEDスタックと、
    前記LEDスタックの下に形成された透明性導電層と、
    分配したパターンを有し、前記透明性導電層の下に形成された密着層と、
    前記密着層の下に形成された金属製の反射層と、
    を含み、
    前記密着層は、SiNx、SiO、TiO 及びAl 構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成ることを特徴とする全方向性リフレクタを有するフリップチップ発光ダイオード。
  19. 前記透明性導電層は、酸化インジウムスズ、酸化カドミウムスズ、酸化アンチモンスズ、酸化亜鉛及び酸化亜鉛スズで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成ることを特徴とする請求項18に記載の発光ダイオード。
  20. 前記金属製の反射層は、Al及びAgで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成ることを特徴とする請求項18に記載の発光ダイオード。
  21. 前記透明性基板は、GaP、SiC、サファイア、GaN、ZnO及びMgOで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成ることを特徴とする請求項18に記載の発光ダイオード。
  22. 前記透明基板と前記透明性導電層との間に粘着層が更に形成され、
    前記粘着層は、PI、BCB及びPFCBで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成ることを特徴とする請求項18に記載の発光ダイオード。
  23. 前記LEDスタックは、
    第一接触層と、
    前記第一接触層上に形成された第一クラッディング層と、
    前記第一クラッディング層上に形成された発光層と、
    前記発光層上に形成された第二クラッディング層と、
    前記第二クラッディング層上に形成された第二接触層と、
    を含むことを特徴とする請求項18に記載の発光ダイオード。
  24. 前記第一接触層は、GaP、GaAs、GaAsP、AlGaInP、GaN、InGaN、及びAlGaNで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成ることを特徴とする請求項23に記載の発光ダイオード。
  25. 前記第一クラッディング層は、AlGaInP、AlInP、AlN、GaN、AlGaN、InGaN及びAlGaInNで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成ることを特徴とする請求項23に記載の発光ダイオード。
  26. 前記発光層は、AlGaInP、InGaP、GaN、AlGaN、InGaN及びAlGaInNで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成ることを特徴とする請求項23に記載の発光ダイオード。
  27. 前記第二クラッディング層は、AlGaInP、AlInP、AlN、GaN、AlGaN、InGaN及びAlGaInNで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成ることを特徴とする請求項23に記載の発光ダイオード。
  28. 前記第二接触層は、GaP、GaAs、GaAsP、InGaP、AlGaInP、AlGaAs、GaN、InGaN及びAlGaNで構成する群から選択される少なくとも一つの物質で成ることを特徴とする請求項23に記載の発光ダイオード。
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