JP4918593B2 - 共用レチクル基板を有する複数のサブエンコーダを利用する光学式回転エンコーダ - Google Patents
共用レチクル基板を有する複数のサブエンコーダを利用する光学式回転エンコーダ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4918593B2 JP4918593B2 JP2009525683A JP2009525683A JP4918593B2 JP 4918593 B2 JP4918593 B2 JP 4918593B2 JP 2009525683 A JP2009525683 A JP 2009525683A JP 2009525683 A JP2009525683 A JP 2009525683A JP 4918593 B2 JP4918593 B2 JP 4918593B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- encoder
- sub
- pattern
- reticle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 209
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 42
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 23
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 5
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 238000003491 array Methods 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000009699 differential effect Effects 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000006903 response to temperature Effects 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/3473—Circular or rotary encoders
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D11/00—Component parts of measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
- G01D11/24—Housings ; Casings for instruments
- G01D11/245—Housings for sensors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
Claims (24)
- 光源と、
光学スケールパターンを含むモノリシックスケールディスクと、
複数のレチクル開口パターンを含む、前記光源と前記スケールディスクの間に位置するモノリシックレチクル基板と、
検出・変換回路と、
前記検出・変換回路と結合するデジタル処理回路と、
を備えた、回転軸の周囲で角度位置を検出するための光学式回転位置エンコーダであって、
前記光源、スケールディスク、レチクル基板及び、検出・変換回路は、回転軸の周囲のそれぞれの角度位置に複数の光学式サブエンコーダを形成するように構成され、
各サブエンコーダは、前記レチクル基板のレチクル開口パターン及び前記スケールディスクの前記光学スケールパターンを介して、それぞれの光路が前記光源から前記検出・変換回路に延びているそれぞれの光路を有し、
各サブエンコーダは、それぞれのデジタル位置出力値を生成し、
前記デジタル処理回路は、前記サブエンコーダの前記デジタル位置出力値を結合してエンコーダ位置出力値を生成するように作動し、
前記光学式位置エンコーダによって検出される前記角度位置の範囲が半周未満であり、
前記光学スケールパターンが、前記スケールディスクのそれぞれの間隔をあけられた角度位置に2つのスケール位置を備え、
前記スケールディスクが、前記2つのスケール部の間に光学位置基準パターンを含み、
前記スケールディスク、レチクル基板、光源、及び検出・変換回路が、基準光学式サブエンコーダを形成するようにさらに構成され、
前記基準光学式サブエンコーダが、前記光源、前記スケールディスクの光学位置基準パターン及び前記検出器との間に位置する前記基準光学式サブエンコーダの光路に沿って前記レチクル基板上に形成される基準レチクル開口パターンを含む、
光学式回転位置エンコーダ。 - 前記スケールディスクの前記光学位置基準パターンが、ゼロ基準位置に対応する位置にゼロ基準パターンを備え、
前記レチクル基板の前記基準開口パターンが、ゼロ基準レチクル開口パターンであって、
前記基準光学式サブエンコーダが、前記スケールディスクのゼロ基準パターン及び前記レチクル基板の前記ゼロ基準レチクル開口パターンを利用して、前記光学式位置エンコーダが前記ゼロ基準位置にあるかどうかを検出するように構成される、
請求項1に記載の光学式回転位置エンコーダ。 - 前記スケールディスクの前記光学位置基準パターンが、前記光学式位置エンコーダの粗絶対位置を示すように構成された粗絶対位置パターンを備え、
前記レチクル基板の前記基準レチクル開口パターンが、粗絶対位置レチクル開口パターンであって、
前記基準光学式サブエンコーダが、前記スケールディスクの前記粗絶対位置パターン及び前記レチクル基板の前記粗絶対位置レチクル開口パターンを利用して、前記光学式位置エンコーダの前記粗絶対位置を検出するように構成される、
請求項1に記載の光学式回転位置エンコーダ。 - 前記スケールディスクの前記粗絶対位置パターンが、前記ゼロ基準位置から離れた角変位の大きさ及び方向を示すように更に構成され、
前記粗絶対位置光学式サブエンコーダが、前記スケールディスクのパターンを示す前記粗絶対位置及び前記レチクル基板の前記粗絶対位置レチクル開口パターンを利用して、前記ゼロ基準位置からの前記光学式位置エンコーダの前記角変位の前記大きさを検出するように更に構成される、
請求項3に記載の光学式回転エンコーダ。 - 前記スケールディスクが、粗絶対位置パターンの反対側の位置にある前記2つのスケール部の間にゼロ基準パターンを含み、
前記光源、スケールディスク、レチクル基板、及び検出・変換回路が、前記粗絶対位置光学式サブエンコーダの直径方向反対の位置にある2つの前記光学式サブエンコーダの間にゼロ基準光学式サブエンコーダを形成するようにさらに構成され、
前記ゼロ基準光学式サブエンコーダは、前記光源及び前記スケールディスクの前記ゼロ基準パターンとの間にある前記ゼロ基準式サブエンコーダの光路に沿って、前記レチクル基板上に形成されるゼロ基準レチクル開口パターンを含み、
前記ゼロ基準光学式サブエンコーダは、前記スケールディスクの前記ゼロ基準パターン及び前記レチクル基板の前記ゼロ基準レチクル開口パターンを利用して、前記光学式位置エンコーダがゼロ基準位置にあるかどうかを検出するように構成される、
請求項3に記載の光学式回転位置エンコーダ。 - 前記スケールディスクの前記光学パターンは、反射光学スケールパターンであって、前記光学サブエンコーダの各々の前記光路は、反射部を含み、
前記レチクル基板のレチクル開口パターンの各々は、第1のレチクル開口パターン及び第2のレチクル開口パターンを含み、
前記第1のレチクル開口パターンは、前記光学式サブエンコーダのそれぞれ1つの第1の光サブ経路の反射部に沿って位置し、
前記第2のレチクル開口パターンは、前記光学式サブエンコーダのそれぞれ1つの第2の光サブ経路の反射部に沿って位置し、
前記光学式サブエンコーダの各々は、前記光学式サブエンコーダのそれぞれの光サブ経路の前記反射部に沿って位置し、前記それぞれのレチクル開口パターンを通して進む光を受け取るそれぞれの第1及び第2の光学検出器をさらに含む、
請求項1に記載の光学式回転位置エンコーダ。 - 前記サブエンコーダの各々の前記第1及び第2のレチクル開口パターンは、(1)前記光源から前記スケールディスクへ入射方向に、及び(2)前記スケールディスクから前記ぞれぞれの光学検出器へ反射方向に、光が進むそれぞれの共用レチクル開口パターンを含む、
請求項6に記載の光学式回転位置エンコーダ。 - 前記光学式サブエンコーダの各々の前記第1および第2のレチクル開口パターンは、内側開口パターン、中間開口パターン、及び外側開口パターンを含み、
前記中間開口パターンは、共用レチクル開口パターンであって、各々の開口パターンは、複数のレチクル開口を含み、
各光学式サブエンコーダは、(1)前記内側開口パターンを通して入射方向に進む光が、反射方向に主として中間開口パターンを通して進むように前記スケールディスクから反射され、且つ、(2)中間開口パターンを通して入射方向に進む光が、反射方向に主として外側パターンを通して進むように前記スケールディスクから反射されるように構成され、
前記内側及び外側の開口パターンのレチクル開口は、共通の空間位相で構成され、
前記中間開口パターンのレチクル開口は、それぞれの異なる空間位相で構成される、
請求項7に記載の光学式回転位置エンコーダ。 - 前記スケールディスクは、回転シャフト同軸の軸端に取り付けられ、光学式エンコーダアセンブリは、前記回転シャフトを有する前記スケールディスク同軸に面し、
前記光源は、前記レチクル基板に取り付けられる不透明なハウジングを含む光源アセンブリ内に収納され、
前記光学式エンコーダアセンブリは、前記光学式検出器が配置される回路基板を備え、
前記回路基板は、不透明なハウジングで囲まれ、前記回転シャフトから離れた方向に前記レチクル基板からは間隔をあけられている、
請求項6に記載の光学式回転位置エンコーダ。 - 前記光源が複数の別々の光源を備え、各々の別々の光源が前記光学サブエンコーダのそれぞれの一つだけに光を提供する、
請求項1に記載の光学式回転位置エンコーダ。 - 前記光源は、一つ以上の別個の光源を備え、
各々の別個の光源は、発光ダイオード、半導体レーザー、量子デバイス、白熱光源、及び蛍光光源からなるグループから選択される、
請求項1に記載の光学式回転位置エンコーダ。 - 前記光学式サブエンコーダの各々は、前記検出・変換回路内で生成される複数のアナログ位置値を含み、
前記検出・変換回路は、(1)前記光学式サブエンコーダの各々のそれぞれのアナログ位置値を結合してサブエンコーダアナログ位置出力値を生成するように構成されるアナログ結合回路、及び(2)アナログ位置出力値から前記サブエンコーダの各々の前記デジタル位置出力値を生成するように構成されるアナログ−デジタル変換回路を含む、
請求項1に記載の光学式回転位置エンコーダ。 - 前記デジタル処理回路は、前記サブエンコーダの前記デジタル位置出力値を結合してエンコーダ位置出力値を生成するように作動する、
請求項12に記載の光学式回転位置エンコーダ。 - 前記光学式サブエンコーダの数が2つであり、前記2つの光学式サブエンコーダは、回転軸の周囲に直径方向反対に配置される、
請求項1に記載の光学式回転位置エンコーダ。 - 前記光学式位置サブエンコーダは、回転軸の周囲に等間隔に配置される、
請求項1に記載の光学式回転位置エンコーダ。 - 前記レチクル基板及び前記スケールディスクが同じ材料からなる、
請求項1に記載の光学式回転位置エンコーダ。 - 前記材料がガラスである、請求項16に記載の光学式回転位置エンコーダ。
- 前記スケールディスクは、スケール部から半径方向に間隔を置いて配置される光学式位置基準パターンを含み、
前記スケールディスク、レチクル基板、光源、及び検出・変換回路は、基準光学式サブエンコーダを形成するようにさらに構成され、
前記基準光学式サブエンコーダは、前記光源、前記スケールディスクの前記光学位置基準パターン、及び前記検出器の間にある前記基準光学式サブエンコーダの光路に沿って前記レチクル基板上に形成される基準レチクル開口パターンを含む、
請求項1に記載の光学式回転位置エンコーダ。 - 前記スケールディスクの前記光学位置基準パターンは、ゼロ基準パターンを備え、
前記レチクル基板の前記基準レチクル開口パターンは、ゼロ基準レチクル開口パターンであって、
前記基準光学式サブエンコーダは、前記スケールディスクの前記ゼロ基準パターン及び前記レチクル基板の前記ゼロ基準レチクル開口パターンを利用して前記光学式位置エンコーダがゼロ基準位置にあるかどうかを検出するように構成される、
請求項18に記載の光学式回転位置エンコーダ。 - 回転軸の周囲に回転モータシャフトを有するサーボモータと、
前記回転サーボモータシャフトの一端に位置し、前記回転位置を検出するよう構成される請求項1に記載の前記光学式回転位置エンコーダと、
を備えるサーボモータアセンブリ。 - 請求項20に記載の前記サーボモータアセンブリと、
前記回転サーボモータシャフトの他の一端と結合し、前記入射レーザービームの経路に沿って位置するように構成される光学素子と、
を備える、選択方向に入射レーザービームを誘導するのに使用されるサーボ制御検流計。 - レーザービームの光源と、
請求項21に記載の前記サーボ制御検流計と、
位置指令信号に応じて前記サーボモータアセンブリの前記回転サーボモータシャフトの前記角度位置を制御するように構成されるサーボドライバと、
所望の方法で前記レーザービームを誘導する前記位置指令信号を生成するように作動するシステムコントローラと、
を備えるレーザーシステム。 - レーザー材料加工及びレーザー測定のうちの少なくとも一方に使用されるよう構成される、請求項22に記載のレーザーシステム。
- 回転軸の周囲にある回転物の角度位置を検出するための光学式回転位置エンコーダであって、
前記光学式位置エンコーダは、
光学スケールパターンを含み、前記回転物に取り付けられる、反射モノリシックスケールディスクと、
前記スケールディスクに近接し、複数のレチクル開口パターンを含む、モノリシックレチクル基板と、
前記レチクル基板に取り付けられ、前記レチクル基板の前記レチクル開口パターンを通して前記スケールディスクの前記光学スケールパターンに光を誘導するように作動する1つ以上の光源を含む、光源アセンブリと、
検出・変換回路と、
前記検出・変換回路と結合するデジタル処理回路と、
を備え、
前記光源、スケールディスク、レチクル基板、及び検出・変換回路は、回転軸の周囲のそれぞれの象限に複数の光学式サブエンコーダを形成するよう構成され、
前記サブエンコーダは、
(i)直径方向反対に位置するインクリメンタル位置サブエンコーダと、
(ii)ゼロ基準サブエンコーダと、
(iii)粗絶対位置エンコーダと、
を含み、
各サブエンコーダは、前記レチクル基板のレチクル開口パターン及び前記スケールディスクの前記光学スケールパターンのそれぞれを介して、前記光源から前記検出・変換回路へ延びるそれぞれの光路を有する反射光学式サブエンコーダであって、
各サブエンコーダは、それぞれのデジタル位置出力値を有し、
前記デジタル処理回路は、前記サブエンコーダの前記デジタル位置出力値を結合してエンコーダ位置出力値を生成するように作動する、
光学式回転位置エンコーダ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US83910006P | 2006-08-21 | 2006-08-21 | |
US60/839,100 | 2006-08-21 | ||
PCT/US2007/075076 WO2008024606A2 (en) | 2006-08-21 | 2007-08-02 | Rotary optical encoder employing multiple sub-encoders with common reticle substrate |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010501857A JP2010501857A (ja) | 2010-01-21 |
JP4918593B2 true JP4918593B2 (ja) | 2012-04-18 |
Family
ID=39107510
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009525683A Active JP4918593B2 (ja) | 2006-08-21 | 2007-08-02 | 共用レチクル基板を有する複数のサブエンコーダを利用する光学式回転エンコーダ |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7482575B2 (ja) |
EP (1) | EP2059770A4 (ja) |
JP (1) | JP4918593B2 (ja) |
KR (1) | KR101107904B1 (ja) |
CN (1) | CN101529211B (ja) |
TW (1) | TWI354775B (ja) |
WO (1) | WO2008024606A2 (ja) |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2176626A4 (en) * | 2007-08-08 | 2011-03-30 | Eliezer Zeichner | CODING DEVICE, SYSTEM AND METHOD |
US8288983B2 (en) * | 2008-07-10 | 2012-10-16 | Lockheed Martin Corporation | Optical telemetry system and method for electro-mechanical switches |
EP2264409B1 (en) * | 2009-06-19 | 2015-10-07 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US8947076B2 (en) | 2010-01-18 | 2015-02-03 | Bourns, Inc. | High resolution non-contacting multi-turn position sensor |
JP4945674B2 (ja) * | 2010-11-08 | 2012-06-06 | 株式会社安川電機 | 反射型エンコーダ、サーボモータ及びサーボユニット |
JP5692584B2 (ja) * | 2011-02-15 | 2015-04-01 | 株式会社安川電機 | サーボモータ製造方法、サーボモータ製造装置、サーボモータ、エンコーダ |
JP5993564B2 (ja) * | 2011-07-13 | 2016-09-14 | 新日本無線株式会社 | 反射型フォトセンサを用いた位置検出装置 |
CN103293861B (zh) * | 2012-02-22 | 2015-07-22 | 上海微电子装备有限公司 | 工件台和掩模台的同步控制方法及其*** |
EP2975365A1 (en) * | 2013-03-11 | 2016-01-20 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Encoder, motor with encoder, and servo system |
US9620400B2 (en) * | 2013-12-21 | 2017-04-11 | Kla-Tencor Corporation | Position sensitive substrate device |
WO2015147756A1 (en) | 2014-03-27 | 2015-10-01 | Heptagon Micro Optics Pte. Ltd. | Optical encoder system |
US20150323345A1 (en) * | 2014-05-12 | 2015-11-12 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Encoder System With Error Detection And Signal Conditioning Circuits |
TWI592637B (zh) | 2014-11-21 | 2017-07-21 | 財團法人工業技術研究院 | 光學編碼器 |
JP2016109634A (ja) * | 2014-12-09 | 2016-06-20 | 株式会社安川電機 | エンコーダ及びエンコーダ付きモータ |
JP6474289B2 (ja) * | 2015-03-19 | 2019-02-27 | 株式会社キーエンス | 光学式ロータリーエンコーダ |
CN104914682B (zh) * | 2015-06-24 | 2017-05-03 | 哈尔滨工业大学 | 光刻机换台过程中公转电机残留震荡抑制的控制方法 |
CN104914683B (zh) * | 2015-06-24 | 2017-06-13 | 哈尔滨工业大学 | 一种三自由度光刻机双工件台框架气浮补偿方法 |
CN104965394B (zh) * | 2015-08-04 | 2017-03-22 | 哈尔滨工业大学 | 一种双工件台***换台过程控制方法 |
US10500676B2 (en) | 2016-02-19 | 2019-12-10 | Faro Technologies, Inc. | Voice coil motor operated linear actuator |
AT518531B1 (de) * | 2016-07-07 | 2017-11-15 | Tridonic Gmbh & Co Kg | Vorrichtung und Verfahren zur Erfassung des Drehwinkels |
JP7383489B2 (ja) | 2017-07-07 | 2023-11-20 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ | ロボット的装置ガイドと音響プローブの統合 |
DE102018200449A1 (de) * | 2018-01-12 | 2019-07-18 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
GB2588047C (en) | 2018-05-18 | 2023-11-15 | 1004335 Ontario Inc Carrying On Business As A D Metro | Optical touch sensor devices and systems |
US11079259B2 (en) * | 2019-07-18 | 2021-08-03 | e1ectr0n, Inc. | Position encoder with limits |
CA3113946A1 (en) | 2020-04-03 | 2021-10-03 | 1004335 Ontario Inc. | Optical touch sensor systems and optical detectors with noise mitigation |
CN113541406B (zh) * | 2020-04-20 | 2023-08-18 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种高精度振镜电机反馈***及其设计方法 |
US11672612B2 (en) * | 2020-08-28 | 2023-06-13 | Alcon Inc. | Optical coherence tomography guided robotic ophthalmic procedures |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57169611A (en) * | 1981-04-13 | 1982-10-19 | Tokyo Optical Co Ltd | Measuring device for angular displacement |
JPH06313719A (ja) * | 1993-04-19 | 1994-11-08 | Topcon Corp | ロータリエンコーダ |
JPH11211505A (ja) * | 1998-01-22 | 1999-08-06 | Koyo Electronics Ind Co Ltd | ロータリエンコーダ |
JP2001041776A (ja) * | 1999-07-27 | 2001-02-16 | Ono Sokki Co Ltd | エンコーダ |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3096444A (en) * | 1958-04-29 | 1963-07-02 | Harold H Seward | Electromechanical transducing system |
US3549897A (en) * | 1968-04-04 | 1970-12-22 | Dynamics Res Corp | Absolute encoder having plurality of binarily related reticle tracks |
US3628038A (en) * | 1969-10-22 | 1971-12-14 | Southwestern Ind Inc | Photoelectric chopper for distance measurement |
US3768911A (en) * | 1971-08-17 | 1973-10-30 | Keuffel & Esser Co | Electro-optical incremental motion and position indicator |
US4123750A (en) * | 1973-11-29 | 1978-10-31 | Dynamics Research Corporation | Signal processor for position encoder |
US4039826A (en) * | 1976-03-26 | 1977-08-02 | Dynamics Research Corporation | Magnetic head locating system for disk storage system |
US4340814A (en) * | 1980-10-14 | 1982-07-20 | Dynamics Research Corporation | Electro-optical position transducer |
US4429267A (en) * | 1981-06-22 | 1984-01-31 | Manhattan Engineering Company, Inc. | Digital positioning systems having high accuracy |
US4631520A (en) * | 1984-06-08 | 1986-12-23 | Dynamics Research Corporation | Position encoder compensation system |
US4912468A (en) * | 1985-12-04 | 1990-03-27 | Dynamics Research Corporation | Non-linear error correction system |
DE3706277C2 (de) * | 1986-02-28 | 1995-04-27 | Canon Kk | Drehungsmeßgeber |
GB2197146B (en) * | 1986-11-04 | 1991-05-29 | Canon Kk | An encoder for detecting the displacement of an object to be measured |
US4906992A (en) * | 1988-02-22 | 1990-03-06 | Dynamics Research Corporation | Single track absolute encoder |
US4947166A (en) * | 1988-02-22 | 1990-08-07 | Dynamics Research Corporation | Single track absolute encoder |
JP2754422B2 (ja) * | 1990-07-18 | 1998-05-20 | 株式会社ニコン | アブソリュート・エンコーダ |
US5079549A (en) * | 1990-08-24 | 1992-01-07 | Dynamics Research Corporation | Digital resolver with a synchronous multiple count generation |
US5430537A (en) * | 1993-09-03 | 1995-07-04 | Dynamics Research Corporation | Light beam distance encoder |
JP2695623B2 (ja) * | 1994-11-25 | 1998-01-14 | 株式会社ミツトヨ | 光学式エンコーダ |
US5671043A (en) * | 1995-10-03 | 1997-09-23 | Cambridge Technology, Inc. | Optical position detector for determining the angular position of a rotatable element |
US5939879A (en) * | 1996-07-23 | 1999-08-17 | Dynamics Research Corporation | Magnetic encoder for sensing position and direction via a time and space modulated magnetic field |
EP0896265B1 (de) * | 1997-08-08 | 2004-02-04 | Bosch Rexroth AG | Antriebseinrichtung |
US5844673A (en) * | 1998-04-17 | 1998-12-01 | Cambridge Technology, Inc. | Axial led position detector for determining the angular position of a rotatable element |
US6170162B1 (en) * | 1999-05-27 | 2001-01-09 | Sarcos, L.C. | Rotary displacement system using differential measuring |
US6297750B1 (en) * | 1999-09-16 | 2001-10-02 | Dynamics Research Corporation | Linear position detecting system |
JP4724282B2 (ja) * | 1999-10-12 | 2011-07-13 | キヤノン株式会社 | 回転角検出装置 |
JP4428781B2 (ja) * | 1999-12-28 | 2010-03-10 | キヤノン株式会社 | 光学式ロータリエンコーダ及びモータ制御装置 |
GB0103582D0 (en) * | 2001-02-14 | 2001-03-28 | Renishaw Plc | Position determination system |
US6817528B2 (en) * | 2001-07-17 | 2004-11-16 | Honeywell International Inc. | Reflective apparatus and method for optically sensing relative torque employing Moirè fringes |
AU2003244384A1 (en) * | 2002-02-07 | 2003-09-02 | Kuraray Co., Ltd. | Method of controlling acarian and device for use in the same |
WO2003069277A1 (en) * | 2002-02-14 | 2003-08-21 | Faro Technologies, Inc. | Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner |
-
2007
- 2007-08-02 KR KR1020097005706A patent/KR101107904B1/ko active IP Right Grant
- 2007-08-02 JP JP2009525683A patent/JP4918593B2/ja active Active
- 2007-08-02 WO PCT/US2007/075076 patent/WO2008024606A2/en active Application Filing
- 2007-08-02 CN CN2007800384527A patent/CN101529211B/zh active Active
- 2007-08-02 US US11/832,804 patent/US7482575B2/en active Active
- 2007-08-02 EP EP07813705A patent/EP2059770A4/en not_active Withdrawn
- 2007-08-16 TW TW096130353A patent/TWI354775B/zh active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57169611A (en) * | 1981-04-13 | 1982-10-19 | Tokyo Optical Co Ltd | Measuring device for angular displacement |
JPH06313719A (ja) * | 1993-04-19 | 1994-11-08 | Topcon Corp | ロータリエンコーダ |
JPH11211505A (ja) * | 1998-01-22 | 1999-08-06 | Koyo Electronics Ind Co Ltd | ロータリエンコーダ |
JP2001041776A (ja) * | 1999-07-27 | 2001-02-16 | Ono Sokki Co Ltd | エンコーダ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010501857A (ja) | 2010-01-21 |
KR20090045357A (ko) | 2009-05-07 |
CN101529211A (zh) | 2009-09-09 |
US7482575B2 (en) | 2009-01-27 |
CN101529211B (zh) | 2011-12-21 |
WO2008024606A3 (en) | 2008-07-10 |
EP2059770A4 (en) | 2012-07-18 |
TWI354775B (en) | 2011-12-21 |
WO2008024606A2 (en) | 2008-02-28 |
US20080042051A1 (en) | 2008-02-21 |
TW200817654A (en) | 2008-04-16 |
EP2059770A2 (en) | 2009-05-20 |
KR101107904B1 (ko) | 2012-01-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4918593B2 (ja) | 共用レチクル基板を有する複数のサブエンコーダを利用する光学式回転エンコーダ | |
JP4037903B2 (ja) | 相対移動検出装置 | |
EP1760435B1 (en) | Optical encoder and apparatus using optical encoder | |
JP5574899B2 (ja) | ロータリーエンコーダ及びこれを備えた光学機器 | |
JP2013504068A (ja) | 回転角センサで目盛トラック偏心を光学式に補正する装置および方法 | |
RU2471289C1 (ru) | Оптический кодер | |
US6885457B1 (en) | Rotary position measuring system | |
US10094684B2 (en) | Method of manufacturing rotary scale, rotary scale, rotary encoder, driving apparatus, image pickup apparatus and robot apparatus | |
JPH02285214A (ja) | 測長器及びそれに用いるスケール部材 | |
US7586621B2 (en) | Displacement-measuring optical scale and optical encoder using same | |
WO2014141370A1 (ja) | エンコーダ、エンコーダ付きモータ、サーボシステム | |
JP6842680B2 (ja) | エンコーダ、サーボモータ、サーボシステム | |
US20220221311A1 (en) | Rotary position encoder based on polarization | |
CN112212809A (zh) | 光学位置测量装置 | |
JPH0778433B2 (ja) | ロータリーエンコーダ | |
JP4900140B2 (ja) | 光学式エンコーダ | |
US20220178722A1 (en) | Optical encoder | |
JP4474188B2 (ja) | 光学式エンコーダ | |
JP2001343256A (ja) | 光学式エンコーダ | |
JP2000266567A (ja) | ロータリエンコーダ | |
JP2002139353A (ja) | 光学式ロータリエンコーダ | |
JP2783242B2 (ja) | 回転検出装置 | |
JP2749987B2 (ja) | ロータリーエンコーダー | |
JP4380526B2 (ja) | 光電式エンコーダ | |
JPH04351918A (ja) | エンコーダ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110708 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110803 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111021 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120118 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120130 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150203 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4918593 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |