JP4911631B2 - アイソレータ - Google Patents
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Description
図1は、実施形態1に係るアイソレータ100の構成を示す概略断面図である。
図8は、実施形態2に係るアイソレータ100の置換工程における状態を示す概略断面図である。
Claims (6)
- 作業室と、
前記作業室内に気体を供給する気体供給部と、
前記作業室内の気体を排出する気体排出部と、
第1の微粒子捕集フィルターを有し、前記気体供給部と前記作業室とを連絡する第1の流通路と、
第2の微粒子捕集フィルターを有し、前記気体供給部と前記作業室とを連絡する第2の流通路と、
前記第1の流通路と前記気体排出部とを前記作業室を介さずに連絡する第1のバイパス流路と、
前記第2の流通路と前記気体排出部とを前記作業室を介さずに連絡する第2のバイパス流路と、
前記作業室内に滅菌物質を供給する滅菌物質供給部と、
前記第1の流通路および第2の流通路のいずれか一方を用いた前記作業室での作業を実施可能とする気体流路の切換えと、前回の作業と次回の作業との間に行われる滅菌処理とを制御する制御部と、
を備え、前記制御部は、前回の作業に用いられなかった流通路を前記作業室から隔離した状態で、前記滅菌物質供給部から前記作業室内に前記滅菌物質を供給して前記作業室内および前回の作業に用いられた流通路を滅菌し、
前記作業室からの前記滅菌物質の排出を開始した後、前記作業室内における前記滅菌物質が所定濃度以下となったときに、前記気体流路を切換えて前回の作業に用いられなかった滅菌済の流通路を用いて前記作業室を使用可能とするとともに、前回の作業に用いられた流通路を前記作業室から隔離して、該流通路を通る前記気体を該流通路と連通しているバイパス流路に送るように制御することを特徴とするアイソレータ。 - 前記第1の流通路および第2の流通路内を減圧する減圧手段をさらに備え、
前記制御部は、前回の作業に用いられた流通路から用いられなかった流通路に前記気体流路を切換えた後、前記減圧手段によって前回の作業に用いられた流通路内を減圧するように制御することを特徴とする請求項1に記載のアイソレータ。 - 前記第1の流通路における前記第1の微粒子捕集フィルターの気体流れ上流側を開閉可能に設けられた第1の弁と、
前記第2の流通路における前記第2の微粒子捕集フィルターの気体流れ上流側を開閉可能に設けられた第2の弁と、をさらに備え、
前記減圧手段は、前記第1の弁および第2の弁を含み、前回の作業に用いられた流通路に設けられた弁を所定量だけ閉じることで前回の作業に用いられた流通路内を減圧することを特徴とする請求項2に記載のアイソレータ。 - 前記第1のバイパス流路は、前記第1の流通路における前記第1の弁よりも気体流れ下流側であって前記第1の微粒子捕集フィルターよりも気体流れ上流側に接続され、
前記第2のバイパス流路は、前記第2の流通路における前記第2の弁よりも気体流れ下流側であって前記第2の微粒子捕集フィルターよりも気体流れ上流側に接続されていることを特徴とする請求項3に記載のアイソレータ。 - 前記第1の微粒子捕集フィルターおよび第2の微粒子捕集フィルターを昇温させる加熱手段をさらに備え、
前記制御部は、前回の作業に用いられた流通路から前回の作業に用いられなかった流通路に気体流路を切換えた後、前記加熱手段により、前回の作業に用いられた流通路に設けられた微粒子捕集フィルターを昇温させるように制御することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載のアイソレータ。 - 前記滅菌物質は、過酸化水素であることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載のアイソレータ。
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