JP4911373B2 - X線測定装置 - Google Patents
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Description
(1)X線源から出射されるX線を試料に照射し、試料の透過線量をX線検出器で検出するX線測定装置において、
前記X線源より円錐状に出射されたX線ビームを、スライスした扇状ビームX線に成形するコリメータと、
このコリメータと前記試料の間に介在し、前記扇状ビームX線のフラックスの一部を通過または遮蔽し、ビームハードニングを抑制すると共に前記フラックスの強度分布を調整するフラックス遮蔽板と、を具備し、
前記フラックス遮蔽板は、微細加工により前記X線検出器の検出素子サイズ及び素子ピッチに対して十分小さい複数のスリット、孔、若しくは複数に仕切られた開口部を備えることを特徴とするX線測定装置。
(1)線量の多い中央部の線量を制限して、周辺線量と中央線量を揃えることが可能であり、X線検出器の出力を揃え、測定場所によってダイナミックレンジが十分取れないという問題を解消できる。
2 コリメータ
21 スリット
3 試料
4 X線検出器
100 フラックス遮蔽板
101 スリット
Claims (8)
- X線源から出射されるX線を試料に照射し、試料の透過線量をX線検出器で検出するX線測定装置において、
前記X線源より円錐状に出射されたX線ビームを、スライスした扇状ビームX線に成形するコリメータと、
このコリメータと前記試料の間に介在し、前記扇状ビームX線のフラックスの一部を通過または遮蔽し、ビームハードニングを抑制すると共に前記フラックスの強度分布を調整するフラックス遮蔽板と、を具備し、
前記フラックス遮蔽板は、微細加工により前記X線検出器の検出素子サイズ及び素子ピッチに対して十分小さい複数のスリット、孔、若しくは複数に仕切られた開口部を備えることを特徴とするX線測定装置。 - 前記フラックス遮蔽板は、フラックスの線量分布またはエネルギー強度分布に対応して、最も線量の多い分布の中心部を透過するフラックスの遮蔽率を大きくしたことを特徴とする請求項1に記載のX線測定装置。
- 前記フラックス遮蔽板は、フラックスの線量分布またはエネルギー強度分布を中心部と周辺部で均一化したことを特徴とする請求項1または2に記載のX線測定装置。
- 前記フラックス遮蔽板は、不等間隔に開けた孔またはスリットの配列構成で、孔部とリブ部の面積比によりフラックスの線量分布及びエネルギー強度分布を制御することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のX線測定装置。
- 前記フラックス遮蔽板は、金属箔または金属薄板にエッチングで微細孔加工を施したもので構成され、微細孔加工した金属箔または金属薄板を積層して構成したことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のX線測定装置。
- 前記フラックス遮蔽板は、前記X線源のフォーカスポイントからの広がりを考慮して、微細孔ピッチを層毎に変えて微細加工を施したことを特徴とする請求項5に記載のX線測定装置。
- 前記フラックス遮蔽板は、1枚でフラックス遮蔽効果のある材質または板厚の板材に対して、ワイヤーカット加工機により櫛歯状に微細加工を施したことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のX線測定装置。
- 前記フラックス遮蔽板は、前記X線源のフォーカスポイントからの広がりを考慮して、前記櫛歯状の微細加工に扇状の末広がりを持たせたことを特徴とする請求項7に記載のX線測定装置。
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