JP4901219B2 - Vibration testing machine - Google Patents
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Description
この発明は、直線的に伸縮する流体アクチュエータの駆動により、被試験物を高周波で加振可能な振動試験機に関する。 The present invention relates to a vibration testing machine capable of exciting a device under test at a high frequency by driving a fluid actuator that linearly expands and contracts.
この種の振動試験機においては、高周波の加振特性を得るため、電動型の振動発生機が使用される(特許文献1)。
このような従来の振動試験機にあっては、振動発生機が電動型のため、被試験物が大重量の場合、十分な加振力が得られず、高周波の振動試験が困難になりやすい。なお、従来の振動試験機において、振動発生機に油圧シリンダを用いる例も見られるが、高周波の加振特性を要求される振動試験機としては不十分なものであった。 In such a conventional vibration testing machine, since the vibration generator is an electric type, when the DUT is heavy, sufficient excitation force cannot be obtained, and high-frequency vibration testing tends to be difficult. . In the conventional vibration testing machine, there is an example in which a hydraulic cylinder is used as the vibration generator, but it is insufficient as a vibration testing machine that requires high-frequency excitation characteristics.
この発明は、このような従来技術を踏まえつつ、油圧シリンダ等の流体アクチュエータにより被試験体を高周波で加振可能な振動試験機の提供を目的とする。 An object of this invention is to provide the vibration testing machine which can vibrate a to-be-tested object at high frequency with fluid actuators, such as a hydraulic cylinder, in view of such a prior art.
本発明は、被試験物を載置するテーブルと、垂直方向への振動を発生する第1の流体アクチュエータと、水平方向への振動を発生する第2の流体アクチュエータと、前記テーブルと前記第1の流体アクチュエータとの間に水平軸およびこれに嵌合する軸受から構成される第1の連結部と、前記テーブルと前記第2の流体アクチュエータとの間に垂直軸およびこれに嵌合する軸受から構成される第2の連結部と、前記第1の連結部の前記水平軸とこれに嵌合する前記軸受との間を非接触状態に保持する第1の静圧軸受と、前記第2の連結部の前記垂直軸とこれに嵌合する前記軸受との間を非接触状態に保持する第2の静圧軸受と、を備え、前記第1の連結部は、前記水平軸の中央部に前記第1の流体アクチュエータが連結され、前記水平軸に嵌合する前記軸受として軸穴が同軸上に対向する1対の軸受が前記テーブルに配置され、これら軸受が前記水平軸の両端部にそれぞれ嵌合してなり、これら軸受および前記水平軸によって前記第2の流体アクチュエータが発生する振動に伴う前記テーブルの水平方向への動きを案内する一方、前記第2の連結部は、前記垂直軸が前記テーブルに固定され、前記垂直軸に嵌合する前記軸受に前記第2の流体アクチュエータが連結され、前記垂直軸およびこれに嵌合する前記軸受によって前記第1の流体アクチュエータが発生する振動に伴うテーブルの垂直方向への動きを案内することを特徴とする振動試験機である。 The present invention includes a table for placing the DUT, and a first fluid actuator that generates a vibration in the vertical direction, and the second fluid actuator for generating a vibration in the horizontal direction, the first and the table a first connecting portion composed of a bearing for the horizontal axis and fitted thereto between the fluid actuator, the bearing of the vertical shaft and fitted thereto between the said table second fluid actuator a second connecting portion formed, and the first hydrostatic bearing that holds between the first said bearing to said horizontal axis and fitted to the connecting portion of the non-contact state, the second and a second hydrostatic bearing holding the non-contact state between said vertical axis of the coupling part and the bearing to be fitted thereto, said first connecting portion, the central portion of the horizontal axis The first fluid actuator is connected and fitted to the horizontal shaft. A pair of bearings whose shaft holes are coaxially opposed as the bearings are arranged on the table, and these bearings are respectively fitted to both end portions of the horizontal shaft, and the second shaft is supported by the bearings and the horizontal shaft. The second connecting portion guides the horizontal movement of the table accompanying the vibration generated by the fluid actuator, while the vertical shaft is fixed to the table and fitted to the vertical shaft. The second fluid actuator is connected, and the vertical shaft and the bearing fitted thereto guide the vertical movement of the table accompanying the vibration generated by the first fluid actuator. It is a testing machine .
本発明においては、第1の静圧軸受および第2の静圧軸受により、フリクションが低減され、第1の流体アクチュエータおよび第2の流体アクチュエータにより、テーブルを高周波の加振特性で振動させることが可能となる。また、第1の連結部および第2の連結部が軸とこれに嵌合する軸受とから構成され、これらの2面間を非接触状態に保持する静圧軸受により、テーブルを水平方向および垂直方向へ円滑かつ適確に案内しえるのである。 In the present invention , friction is reduced by the first hydrostatic bearing and the second hydrostatic bearing, and the table can be vibrated with high-frequency excitation characteristics by the first fluid actuator and the second fluid actuator. It becomes possible. In addition, the first and second connecting portions are composed of a shaft and a bearing fitted to the shaft, and the table is horizontally and vertically fixed by a hydrostatic bearing that keeps the two surfaces in a non-contact state. It can guide the direction smoothly and accurately.
図1〜図4において、1は設置面に固定される機台(フレーム)であり、2は被試験物を載置するテーブルであり、フレーム1に垂直方向への振動を発生する第1の油圧シリンダ3(流体アクチュエータ)と、水平方向への振動を発生する第2の油圧シリンダ4(流体アクチュエータ)と、が配設される。 1 to 4, reference numeral 1 denotes a machine base (frame) fixed to the installation surface, 2 denotes a table on which a test object is placed, and a first vibration that generates vibration in the vertical direction on the frame 1 is shown. A hydraulic cylinder 3 (fluid actuator) and a second hydraulic cylinder 4 (fluid actuator) that generates vibration in the horizontal direction are disposed.
テーブル2の下面に4個の軸受5a,5bが所定の配置状態に固定される。各軸受5a,5bは、同一方向に配置され、軸穴が同軸上に対向する1対の軸受5a,5a、5b,5b間に2本の水平軸6a,6bが1本ずつ支持される。第1の油圧シリンダ3のピストンロッドに連結するU字アーム7が設けられ、その両端7a,7bに水平軸6a,6bがボルト8a,8bにより結合される。これらにより、テーブル2と第1の油圧シリンダ3との間に第1の連結部が構成される。
Four
テーブル2の中央にその下方へ突き出る垂直軸10が固定される。垂直軸10に嵌合する軸受11が設けられ、軸受11に第2の油圧シリンダ4のピストンロッドが連結される。これらにより、テーブル2と第2の油圧シリンダ4との間に第2の連結部が構成される。
A
各水平軸6a,6bとこれらの端部に嵌合する各軸受5a,5bとの2面間を非接触状態に保持する第1の静圧軸受と、垂直軸10とこれに嵌合する軸受11との2面間を非接触状態に保持する第2の静圧軸受と、が設けられる。
A first hydrostatic bearing that keeps the two surfaces of the
静圧軸受は、外部の油圧源から軸受隙間へ高圧流体を供給する油圧設備を備えるものであり、図7のように高圧流体の供給を受ける複数のポケットa〜dが軸受面に形成される。軸Aの偏心に対しては、ポケットa〜dの内圧を駆動源に自動調心が働くようになっている。図7において、Bは制御オリフィスである。 The hydrostatic bearing is provided with a hydraulic equipment that supplies high-pressure fluid from an external hydraulic source to the bearing gap, and a plurality of pockets a to d that receive supply of high-pressure fluid are formed on the bearing surface as shown in FIG. . For the eccentricity of the axis A, self-alignment works by using the internal pressure of the pockets a to d as a driving source. In FIG. 7, B is a control orifice.
ポケットa〜bについては、第1の静圧軸受の場合、水平軸6a,6bと直交する断面において、垂直軸10と平行な上下方向に対称なポケットa-bおよび垂直軸10と直交する左右方向に対称なポケットc-dが設定される。第2の静圧軸受の場合、垂直軸10と直交する断面において、水平軸6a,6bと直交する左右方向に対称なポケットa-bおよび水平軸6a,6bと平行な前後方向に対称なポケットc-dが設定される。
Regarding the pockets a to b, in the case of the first hydrostatic bearing, in the cross section orthogonal to the
油圧シリンダ3,4は、油圧源からシリンダ内部の2つの室(ピストンにより仕切られる)へ供給される油圧を調整するサーボ弁と、所定の加振特性に基づいてサーボ弁を制御するコントローラと、が備えられる。コントローラからの制御信号に基づいて、サーボ弁が2つの室への油圧を調整することにより、所定の加振特性に応じたピストンロッドの伸縮動作(振動)が発生するのである。 The hydraulic cylinders 3 and 4 include a servo valve that adjusts the hydraulic pressure supplied from a hydraulic source to two chambers inside the cylinder (partitioned by a piston), a controller that controls the servo valve based on a predetermined excitation characteristic, Is provided. The servovalve adjusts the hydraulic pressure to the two chambers based on the control signal from the controller, so that the expansion / contraction operation (vibration) of the piston rod according to a predetermined excitation characteristic occurs.
第1の油圧シリンダ3が発生する振動は、U字アーム7の水平軸6a,6bから第1の静圧軸受による自動調心の作用(動的保持力)を介して軸受5a,5bに伝達され、テーブル2を垂直方向へ加振する。第2の静圧軸受が垂直軸10と軸受11との2面間を非接触状態に保持するので、テーブル2の垂直方向への加振が円滑に案内される。第2の油圧シリンダ4が発生する振動は、軸受11から第2の静圧軸受による自動調心の作用(動的保持力)を介して垂直軸10に伝達され、テーブル2を水平方向へ加振する。第1の静圧軸受が水平軸6a,6bと軸受5a,5bとの2面間を非接触状態に保持するので、テーブル2の水平方向への加振が円滑に案内される。
The vibration generated by the first hydraulic cylinder 3 is transmitted from the
第1の油圧シリンダ3および第2の油圧シリンダ4においては、ピストンロッドのフリクションを低減するため、シリンダ端部の軸受とこれを貫通するピストンロッドとの2面間に所定の隙間を設定するべく、シリンダ端部の軸受がシールレスに構成される。 In the first hydraulic cylinder 3 and the second hydraulic cylinder 4, in order to reduce the friction of the piston rod, a predetermined gap should be set between the two surfaces of the bearing at the cylinder end and the piston rod passing through the cylinder end. The cylinder end bearing is configured to be sealless.
第1の油圧シリンダ3および第2の油圧シリンダ4においては、シリンダ内部の油圧がピストンロッドとシールレスの軸受との2面間から流出する一方、第1の静圧軸受および第2の静圧軸受においては、ポケットに導入される油圧が軸受隙間から流出するようになる。これら油圧の流出部を囲う槽15が備えられ、槽15に溜まる油圧の漏れ量を油圧源に回収するようになっている。
In the first hydraulic cylinder 3 and the second hydraulic cylinder 4, the hydraulic pressure inside the cylinder flows out from between the two surfaces of the piston rod and the sealless bearing, while the first hydrostatic bearing and the second hydrostatic pressure. In the bearing, the hydraulic pressure introduced into the pocket flows out from the bearing gap. A
このように構成すると、第1の静圧軸受および第2の静圧軸受により、軸6a,6b、10と軸受5a,5b、11との2面間のフリクションが低減され、第1の油圧シリンダ3および第2の油圧シリンダ4が発生する振動(ピストンロッドの伸縮動作)により、被試験物を載置するテーブルを高周波の加振特性で試験することが可能となる。また、第1の連結部および第2の連結部が軸とこれに嵌合する軸受とから構成され、これらの2面間を非接触状態に保持する静圧軸受により、テーブル2を水平方向および垂直方向へ円滑かつ適確に案内しえるのである。
With this configuration, the first hydrostatic bearing and the second hydrostatic bearing reduce the friction between the two surfaces of the
第1の油圧シリンダ3および第2の油圧シリンダ4においても、シリンダ内部の油圧がピストンロッドとシールレスの軸受との2面間に入り、ピストンロッドとシールレスの軸受との2面間が非接触状態に保持されるため、フリクションが低減され、高周波の加振特性が得やすくなる。 In the first hydraulic cylinder 3 and the second hydraulic cylinder 4 as well, the hydraulic pressure inside the cylinder enters between the two surfaces of the piston rod and the sealless bearing, and the distance between the two surfaces of the piston rod and the sealless bearing is not. Since the contact state is maintained, friction is reduced and high-frequency excitation characteristics are easily obtained.
第1の連結部において、テーブル2側に水平軸を固定する一方、第1の油圧シリンダ3側に水平軸に嵌合する軸受を設けるようにしても良い。また、第2の連結部において、第2の油圧シリンダ4側に垂直軸を固定する一方、テーブル2側に垂直軸を嵌合する軸受を設けるようにしても良い。図2〜図4において、16はテーブル2のロワデッキであり、4つの軸受5a,5bは、テーブル2とロワデッキ16との間において、x形のロワデッキ16の各先端部に配置される。
In the first connecting portion, a horizontal shaft may be fixed on the table 2 side, while a bearing that fits the horizontal shaft may be provided on the first hydraulic cylinder 3 side. Further, in the second connecting portion, a bearing that fixes the vertical shaft to the second hydraulic cylinder 4 side and fits the vertical shaft to the table 2 side may be provided. 2 to 4,
図5,図6は、別の実施形態を説明するものであり、2本の垂直軸10a,10bが備えられる。テーブル2aの両側およびロワデッキ16aの両側にステイ20が形成され、2本の垂直軸10a,10bは、上下のステイ20間にこれら軸穴を介して固定される。21はU字アームであり、両端11a,11bが垂直軸10a,10bに嵌合する軸受に形成され、中央部が第2の油圧シリンダ4のピストンロッドに連結される。
5 and 6 illustrate another embodiment, and two
テーブル2aとロワデッキ16aとの間に4個の軸受5a,5bが所定の配置状態に固定される。各軸受5a,5bは、同一方向に配置され、軸穴が同軸上に対向する1対の軸受5a,5a、5b,5b間に2本の水平軸6a,6bが1本ずつ支持される。各水平軸6a,6bの中央が角軸部22に形成され、角軸部22に対応する角穴23を形成するブロック24が第1の油圧シリンダ3のピストンロッドに連結される。
Four
ブロック24は、角穴部23aが上下に分割可能な2部品から構成され、ロワデッキ16aの中央部にブロック24が通過可能な開口部25が設けられる。図5において、30はテーブル2aの中央部を形成する嵌め付け板であり、1対の軸受5a,5a、5b,5b間に水平軸6a,6bを取り付け、ブロック24の2部品を上下から組み合わせることにより、ブロック24の角穴23に水平軸6a,6bの角軸部22が嵌合状態に固定されるのである。嵌め付け板30は、水平軸6a,6bおよびブロック24の組付作業の完了後にテーブル2aの中央部の開口部31を塞ぐように取り付けられる。
The
各水平軸6a,6bとこれらの端部に嵌合する各軸受5a,5bとの2面間を非接触状態に保持する第1の静圧軸受と、垂直軸10,10bとこれに嵌合する軸受11a,11bとの2面間を非接触状態に保持する第2の静圧軸受と、が備えられる。
A first hydrostatic bearing that keeps the two surfaces of the
このような構成により、図1〜図4の実施形態と同様の効果が得られるほか、油圧シリンダの本数を増やすことなく、2本の水平軸6a,6bおよび2本の垂直軸10a,10bにより、良好な加振性能が得られる。
With such a configuration, the same effect as the embodiment of FIGS. 1 to 4 can be obtained, and the two
1 フレーム(機台)
2、2a テーブル
3 第1の油圧シリンダ
4 第2の油圧シリンダ
5a,5b 水平軸の軸受
6a,6b 水平軸
7、21 U字アーム
8a,8b ボルト
10、10a,10b 垂直軸
11、11a,11b 垂直軸の軸受
15 槽
16、16b テーブルのロワデッキ
20 ステイ
22 水平軸の角軸部
23a ブロックの角穴部
24 ブロック
1 frame (machine stand)
2, 2a Table 3 First hydraulic cylinder 4 Second
Claims (7)
前記第1の連結部は、前記水平軸の中央部に前記第1の流体アクチュエータが連結され、前記水平軸に嵌合する前記軸受として軸穴が同軸上に対向する1対の軸受が前記テーブルに配置され、これら軸受が前記水平軸の両端部にそれぞれ嵌合してなり、これら軸受および前記水平軸によって前記第2の流体アクチュエータが発生する振動に伴う前記テーブルの水平方向への動きを案内する一方、前記第2の連結部は、前記垂直軸が前記テーブルに固定され、前記垂直軸に嵌合する前記軸受に前記第2の流体アクチュエータが連結され、前記垂直軸およびこれに嵌合する前記軸受によって前記第1の流体アクチュエータが発生する振動に伴うテーブルの垂直方向への動きを案内することを特徴とする振動試験機。 A table on which the DUT is placed, a first fluid actuator that generates vibration in the vertical direction, a second fluid actuator that generates vibration in the horizontal direction, the table, and the first fluid actuator, A first connecting portion composed of a horizontal shaft and a bearing fitted to the horizontal shaft, and a vertical shaft and a bearing fitted to the vertical shaft between the table and the second fluid actuator. Two connecting portions, a first hydrostatic bearing that holds the horizontal shaft of the first connecting portion and the bearing fitted thereto in a non-contact state, and the second connecting portion. A second hydrostatic bearing for maintaining a non-contact state between the vertical shaft and the bearing fitted therein,
The first connecting portion is connected to the central portion of the horizontal shaft with the first fluid actuator, and a pair of bearings whose shaft holes are coaxially opposed as the bearings to be fitted to the horizontal shaft are the table. These bearings are respectively fitted to both ends of the horizontal shaft, and the horizontal movement of the table accompanying the vibration generated by the second fluid actuator is guided by these bearings and the horizontal shaft. On the other hand, the second connecting portion is configured such that the vertical shaft is fixed to the table, the second fluid actuator is connected to the bearing that is fitted to the vertical shaft, and the second shaft is fitted to the vertical shaft. A vibration tester for guiding a vertical movement of a table accompanying vibration generated by the first fluid actuator by the bearing.
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