JP4898419B2 - 露光量のおよびフォーカス位置のオフセット量を求める方法、プログラムおよびデバイス製造方法 - Google Patents
露光量のおよびフォーカス位置のオフセット量を求める方法、プログラムおよびデバイス製造方法 Download PDFInfo
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Description
2 露光装置
3 形状測定装置
4 中央処理装置
5 データベース
Claims (8)
- 原版を介して基板を露光する露光装置における露光量のオフセット量およびフォーカス位置のオフセット量を求める方法において、
前記露光装置を用いて形成された前記基板上のパターンの形状の情報を取得する第1のステップと、
前記パターンの形状の情報のうちの線幅と前記線幅の基準値とのずれ量を求める第2のステップと、
前記パターンの形状の情報に基づいて前記フォーカス位置のオフセット量を求め、前記露光量のオフセット量を前記ずれ量及び前記フォーカス位置のオフセット量に基づいて求める第3のステップと
を備えることを特徴とする方法。 - 前記第3のステップにおいて、前記露光量と前記線幅との関係を表す第1のライブラリー、前記線幅と前記フォーカス位置との関係を表す第2のライブラリー及び前記フォーカス位置と前記パターンの形状の情報との関係を表す第3のライブラリーを求めておき、前記フォーカス位置のオフセット量を前記第3のライブラリーを用いて求め、前記露光量のオフセット量を前記第1のライブラリー、第2のライブラリー及び第3のライブラリーを用いて求めることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第1のステップにおいて、前記基板上の複数の領域の各々について、前記パターンの形状の情報を取得することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第3のステップにおいて、前記基板上の複数の領域の各々について、前記露光量のオフセット量及び前記フォーカス位置のオフセット量を求めることを特徴とする請求項3に記載の方法。
- 請求項1に記載の方法を用いて求められた露光量のオフセット量及びフォーカス位置のオフセット量に基づいて、基板を露光することを特徴とする露光方法。
- 請求項5に記載の露光方法を用いて基板を露光する露光ステップと、
前記露光ステップで露光された基板を現像するステップと
を備えることを特徴とするデバイス製造方法。 - 原版を介して基板を露光する露光装置における露光量のオフセット量およびフォーカス位置のオフセット量をコンピュータに実行させるプログラムにおいて、
前記露光装置を用いて形成された前記基板上のパターンの形状の情報を取得する第1のステップと、
前記パターンの形状の情報のうちの線幅と前記線幅の基準値とのずれ量を求める第2のステップと、
前記パターンの形状の情報に基づいて前記フォーカス位置のオフセット量を求め、前記露光量のオフセット量を前記ずれ量及び前記フォーカス位置のオフセット量に基づいて求める第3のステップと
を備えることを特徴とするプログラム。 - 前記第3のステップにおいて、前記露光量と前記線幅との関係を表す第1のライブラリー、前記線幅と前記フォーカス位置との関係を表す第2のライブラリー及び前記フォーカス位置と前記パターンの形状の情報との関係を表す第3のライブラリーを求めておき、前記フォーカス位置のオフセット量を前記第3のライブラリーを用いて求め、前記露光量のオフセット量を前記第1のライブラリー、第2のライブラリー及び第3のライブラリーを用いて求めることを特徴とする請求項7に記載のプログラム。
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