JP4888241B2 - マイクロレンズアレイ付き部品の製造方法 - Google Patents
マイクロレンズアレイ付き部品の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4888241B2 JP4888241B2 JP2007159836A JP2007159836A JP4888241B2 JP 4888241 B2 JP4888241 B2 JP 4888241B2 JP 2007159836 A JP2007159836 A JP 2007159836A JP 2007159836 A JP2007159836 A JP 2007159836A JP 4888241 B2 JP4888241 B2 JP 4888241B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- microlens array
- component
- microlens
- mark
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Description
この方法によれば、マスク除去後のウェットエッチングにより第1アライメントマークが消失しても、第1アライメントマークから正確に位置決めした第2アライメントマークを工程の途中で形成することができる。そのため、第2アライメントマークを第1アライメントマークの代わりとして用い、正確な位置決めをすることができる。また、第2アライメントマークをマイクロレンズアレイ付き部品に転写することができる。そのため、アライメントマークとして利用可能なレンズ側マークを設けたマイクロレンズアレイ付き部品を作製することができる。
この方法によれば、作成される複数の第2アライメントマークおよびレンズ側マークを基準として正確な位置決めが可能となる。
この方法によれば、その後の透明樹脂を塗布する工程において、着色樹脂と透明樹脂が混ざり合い、樹脂の界面の輪郭が不定形になることや着色樹脂の位置がずれることを防ぐことができる。それにより、正確な位置に第2アライメントマークを形成することができ正確な位置決めができる。
この方法によれば、第5の工程で透明樹脂を塗布する場合に第1成形面のみに選択的に塗布する必要がない。そのため、透明樹脂を成形型に全面塗布することが可能になり、工程が平易になり簡略化ができる。
この方法によれば、使用する樹脂の硬化方法が同じであるため共通の設備で硬化をすることが出来る。そのため、製造工程や製造設備が簡略化できる。
この方法によれば、基板の両面に配置される成形型に含まれる第2アライメントマークと、基板に含まれる基板側マークとを利用して、互いのマイクロレンズアレイの相対位置を確認することができる。そのため、両面のマイクロレンズの光軸が正確に揃ったマイクロレンズアレイ付き部品が容易に製造できる。また、両面の透明樹脂を同時に硬化させてマイクロレンズを作製することができる。そのため、透明樹脂を硬化させる工程を減らすことができ、工程の効率化を図ることができる。
この方法によれば、位置決めを行う際に第2アライメントマークの像を重ね合わせた場合、互いの色が異なるため輪郭が明確になり判別し易い。そのため、位置決めが容易に行える。
この方法によれば、マイクロレンズアレイ付き部品に含まれるレンズ側マークと、成形型に含まれる第2アライメントマークと、基板に含まれる基板側マークとを利用して、互いのマイクロレンズアレイの相対位置を確認することができる。そのため、両面のマイクロレンズの光軸が正確に揃ったマイクロレンズアレイ付き部品が容易に製造できる。また基板に対して片面ずつマイクロレンズを成形するために、同じ成形型を用いて成形したマイクロレンズを両面に作製することができる。そのため、両面のマイクロレンズのレンズ形状を精度良く再現することができる。
この方法によれば、位置決めを行う際にレンズ側マークと第2アライメントマークの像を重ね合わせた場合、互いの色が異なるため輪郭が明確になり判別し易い。そのため、位置決めが容易に行える。
この方法によれば、それぞれのマイクロレンズアレイ付き部品に含まれるレンズ側マーク同士を用いて、互いのマイクロレンズアレイの相対位置を確認することができる。そのため、両面のマイクロレンズの光軸が正確に揃ったマイクロレンズアレイ付き部品が容易に製造できる。また、マイクロレンズアレイ付き部品同士を任意に組み合わせることで新たな製品を製造することが可能である。そのため、設計変更や顧客の要求にすばやく対応することができる。
この方法によれば、位置決めを行う際にレンズ側マークの像を重ね合わせた場合、互いの色が異なるため輪郭が明確になり判別し易い。そのため、位置決めが容易に行える。
この構成によれば、マイクロレンズアレイ付き部品中には着色されたレンズ側マークが含まれている。そのため、マイクロレンズアレイ付き部品を他の部品と組み合わせる場合にレンズ側マークを利用して正確な位置決めをすることができる。
以下、図1〜図3を参照しながら、本発明の第1実施形態に係るマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法およびマイクロレンズアレイ付き部品について説明する。図1は本発明の第1実施形態におけるマイクロレンズアレイ付き部品の一例を示すもので、(a)が平面図、(b)がIbを結ぶ線での断面図である。なお、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の寸法の比率は適宜異ならせてある。また、多数存在する構成要素については、その一部を省略して図示している。
図4〜図5は、本発明の第2実施形態のマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法およびマイクロレンズアレイ付き部品の説明図である。本実施形態のマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法は、第1実施形態のマイクロレンズアレイの製造方法と一部共通している。異なるのは、基板の両面に成形型を配置してマイクロレンズを形成し、両面にマイクロレンズおよびレンズ側マークを形成したマイクロレンズアレイ付き部品を製造することである。したがって、本実施形態において第1実施形態と共通する構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
図6は、本発明の第3実施形態のマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法の説明図である。本実施形態のマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法は、第1実施形態のマイクロレンズアレイの製造方法と一部共通している。異なるのは、片面にマイクロレンズを付したマイクロレンズアレイ付き部品のもう一方の面に成形型を配置してマイクロレンズを形成し、両面にマイクロレンズおよびレンズ側マークを形成したマイクロレンズアレイ付き部品を製造することである。したがって、本実施形態において第1実施形態と共通する構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
図7〜図8は、本発明の第4実施形態のマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法およびマイクロレンズアレイ付き部品の説明図である。本実施形態のマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法は、第1実施形態のマイクロレンズアレイの製造方法と一部共通している。異なるのは、片面にマイクロレンズを付した2つのマイクロレンズアレイ付き部品のもう一方の面同士を対向させて一体とし、両面にマイクロレンズおよびレンズ側マークを形成したマイクロレンズアレイ付き部品を製造することである。したがって、本実施形態において第1実施形態と共通する構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
Claims (11)
- 複数のマイクロレンズを有するマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法であって、
第1アライメントマークが付された成形基板上に、複数の第1開口部と、第2開口部とを備えたマスクを形成する第1の工程と、
前記成形基板に前記マスクを介してウェットエッチングを施し、前記成形基板上の前記第1開口部に対応した箇所に第1凹部を、前記第2開口部に対応した箇所に第2凹部をそれぞれ形成する第2の工程と、
前記成形基板から前記マスクを除去し、前記成形基板に再度ウェットエッチングを施すことにより、前記第1凹部にマイクロレンズ形成用の第1成形面を、前記第2凹部に第2アライメントマーク形成用の第2成形面を同時に設けた成形型を作製する第3の工程と、
前記第2成形面に着色樹脂を充填し、前記着色樹脂で構成される第2アライメントマークを形成する第4の工程と、
前記成形型または基板側マークを付した基板に透明樹脂を塗布する第5の工程と、
前記成形型の前記第2アライメントマークと、前記基板側マークとを用いて両者を位置決めし、前記透明樹脂が塗布された面に前記基板を配置する第6の工程と、
前記成形型と前記基板とを密着させたまま前記透明樹脂を硬化させることにより、前記基板上に前記透明樹脂で構成される前記マイクロレンズを作製すると同時に、前記第2アライメントマークを前記基板上に転写しレンズ側マークを作製する第7の工程と、を含むことを特徴とするマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法。 - 前記第1の工程では、前記第2開口部を複数形成することを特徴とする請求項1に記載のマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法。
- 前記第4の工程では、前記着色樹脂を充填後に硬化させることを特徴とする請求項1または2に記載のマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法。
- 前記第5の工程では、前記第2成形面で前記着色樹脂と前記透明樹脂が積層されることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法。
- 前記着色樹脂と前記透明樹脂が、同じ硬化手段を用いる硬化性樹脂であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法。
- 前記第1の工程から前記第5の工程を用いて、前記第2アライメントマークを形成した後に前記透明樹脂を塗布した前記成形型を2つ用意し、前記第6の工程を用いて、前記基板の両面に2つの前記成形型を配置し、前記基板を挟んで隣接する2つの前記第2アライメントマークと、前記基板に含まれる前記基板側マークとを用いて前記成形型と前記基板との位置決めを行い、前記基板の両面に前記マイクロレンズアレイを作製すると同時に、前記基板の両面に前記第2アライメントマークを転写し前記レンズ側マークを作製することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法。
- 前記基板を挟んで隣接する2つの前記第2アライメントマークが、互いに異なる色に着色していることを特徴とする請求項6に記載のマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法。
- 前記第1の工程から前記第7の工程を用いて、片面に前記マイクロレンズ及び前記レンズ側マークが形成されている前記マイクロレンズ付き部品を用意し、前記第1の工程から前記第5の工程を用いて、前記第2アライメントマークを形成した後に前記透明樹脂を塗布した前記成形型を用意し、前記第6の工程を用いて、前記マイクロレンズ付き部品の、前記マイクロレンズが形成されていない面に前記成形型を対向させて配置し、前記基板を挟んで隣接する前記マイクロレンズアレイ付き部品に含まれる前記レンズ側マークと、前記成形型に含まれる前記第2アライメントマークと、前記基板に含まれる前記基板側マークとを用いて位置決めを行い、前記基板に前記マイクロレンズアレイを作製すると同時に、前記第2アライメントマークを前記基板に転写し前記レンズ側マークを作製することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法。
- 前記基板を挟んで隣接する前記レンズ側マークと前記第2アライメントマークとが、互いに異なる色に着色していることを特徴とする請求項8に記載のマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法。
- 前記第1の工程から前記第7の工程を用いて、片面に前記マイクロレンズ及び前記レンズ側マークが形成されている前記マイクロレンズ付き部品を2つ用意し、前記マイクロレンズアレイ付き部品の、前記マイクロレンズが形成されていない面同士を対向させて配置し、前記基板を挟んで隣接する2つの前記レンズ側マーク同士を用いて位置決めを行い、2つの前記マイクロレンズアレイ付き部品を一体とすることにより、前記基板の両面に前記マイクロレンズアレイを配置すると同時に、前記基板の両面に前記レンズ側マークを配置することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法。
- 前記基板を挟んで隣接する2つの前記レンズ側マークが、互いに異なる色に着色していることを特徴とする請求項10に記載のマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007159836A JP4888241B2 (ja) | 2007-06-18 | 2007-06-18 | マイクロレンズアレイ付き部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007159836A JP4888241B2 (ja) | 2007-06-18 | 2007-06-18 | マイクロレンズアレイ付き部品の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008310213A JP2008310213A (ja) | 2008-12-25 |
JP2008310213A5 JP2008310213A5 (ja) | 2010-07-08 |
JP4888241B2 true JP4888241B2 (ja) | 2012-02-29 |
Family
ID=40237839
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007159836A Expired - Fee Related JP4888241B2 (ja) | 2007-06-18 | 2007-06-18 | マイクロレンズアレイ付き部品の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4888241B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021020611A1 (ko) * | 2019-07-29 | 2021-02-04 | 엘지전자 주식회사 | 마이크로 렌즈 어레이 및 그 제조 방법 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5141150B2 (ja) * | 2007-09-20 | 2013-02-13 | 大日本印刷株式会社 | 両面賦型シートの製造方法、両面賦型シートの製造装置、両面賦型シート |
KR101931402B1 (ko) * | 2011-07-29 | 2018-12-20 | 브이 테크놀로지 씨오. 엘티디 | 마이크로 렌즈 어레이 및 그것을 사용한 스캔 노광 장치 |
JPWO2013191034A1 (ja) * | 2012-06-22 | 2016-05-26 | コニカミノルタ株式会社 | ウエハレンズ、ウエハレンズ用の成形型及びウエハレンズの製造方法 |
JP6145990B2 (ja) * | 2012-10-29 | 2017-06-14 | セイコーエプソン株式会社 | マイクロレンズアレイ基板の製造方法 |
JP2014165333A (ja) * | 2013-02-25 | 2014-09-08 | Kyocera Corp | 光照射デバイス、光照射モジュールおよび印刷装置 |
KR101626749B1 (ko) * | 2014-11-14 | 2016-06-02 | 해성옵틱스(주) | 어레이렌즈 제조장치와 어레이렌즈 제조방법 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11352468A (ja) * | 1998-06-05 | 1999-12-24 | Sony Corp | アライメントマークおよびアライメントマークの認識方法 |
JP2002006114A (ja) * | 2000-06-27 | 2002-01-09 | Seiko Epson Corp | マイクロレンズ基板の製造方法、マイクロレンズ基板、電気光学装置、液晶パネル用対向基板、液晶パネル、および投射型表示装置 |
JP2002192534A (ja) * | 2000-12-27 | 2002-07-10 | Seiko Epson Corp | マイクロレンズアレイ、その製造方法及びその製造用原盤並びに光学装置 |
-
2007
- 2007-06-18 JP JP2007159836A patent/JP4888241B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021020611A1 (ko) * | 2019-07-29 | 2021-02-04 | 엘지전자 주식회사 | 마이크로 렌즈 어레이 및 그 제조 방법 |
US11668860B2 (en) | 2019-07-29 | 2023-06-06 | Lg Electronics Inc. | Micro-lens array and method of manufacturing the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008310213A (ja) | 2008-12-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4888241B2 (ja) | マイクロレンズアレイ付き部品の製造方法 | |
JP4420141B2 (ja) | ウエハレンズの製造方法及びウエハレンズ | |
US10126537B2 (en) | Marker | |
JP3154544U (ja) | 小型積層光学ガラスレンズモジュール | |
KR101522977B1 (ko) | 마이크로 광학 장치의 대량 생산, 그에 대응하는 도구 및 결과적인 구조물 | |
JPWO2007043383A1 (ja) | 微小構造体およびその製造方法 | |
CN101870151A (zh) | 光学元件的制造方法及压印模具 | |
TWI486623B (zh) | 晶圓級鏡頭、鏡頭片及其製造方法 | |
JP2005043897A (ja) | マイクロレンズの製造方法 | |
CN102405129A (zh) | 用于制造透镜阵列的方法及装置 | |
KR101065512B1 (ko) | 촬영렌즈 및 그 제조방법 및 복합렌즈 | |
JP4153442B2 (ja) | 光モジュールの製造方法 | |
TW201404567A (zh) | 薄片透鏡、薄片透鏡用成型模具及薄片透鏡的製造方法 | |
US8792190B2 (en) | Lens and method for manufacturing same | |
WO2011132520A1 (ja) | レンズアレイの製造方法および積層型レンズアレイの製造方法 | |
KR101644830B1 (ko) | 미크론 단위 두께를 가지는 마이크로 렌즈 기반의 보안 이미지 필름 제조 방법 | |
JP4281512B2 (ja) | 光学素子の製造方法 | |
KR100647283B1 (ko) | 마이크로 렌즈 제조 방법 | |
TWI581031B (zh) | 晶圓級透鏡系統及其製造方法 | |
US20220168978A1 (en) | Wafer alignment features | |
KR100983043B1 (ko) | 마이크로 렌즈용 마스터 및 마이크로 렌즈 제조방법 | |
US20220040941A1 (en) | Yard control | |
JP2012240352A (ja) | レンズ用金型及びウェーハレベルレンズ | |
TWI398670B (zh) | 鏡片陣列製造方法 | |
KR20120061419A (ko) | 렌즈 어레이 모듈 및 이의 성형방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100525 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100525 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110907 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110913 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111021 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111115 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111128 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141222 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |