JP4878109B2 - 基板移載システムおよび基板移載方法 - Google Patents
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Description
11 真空槽
12 本体
13 チャック台
16(16A〜16E) チャック領域
17 島状部
18 流出孔
19 流路
20a,20b 電極層
40 トレー
41 トレー本体
42 開口
43 基板支持部
W 基板
Claims (2)
- 上面に複数の基板各々を静電的に吸着するチャック領域を有する島状部が前記基板の面積よりも小さい面積で島状に複数突出形成された静電チャックと、
前記静電チャックの上面に載置されるトレー本体と、このトレー本体の面内に形成され前記複数の島状部をそれぞれ収容できる大きさに形成された複数の開口と、これら複数の開口の各々の周縁に形成され前記基板の下面周縁を支持する基板支持部とを有し、前記トレー本体の下面に対する前記基板支持部の高さが、前記静電チャック上面に対する前記チャック領域の高さよりも小さく形成された基板搬送用トレーと
を備えた基板移載システム。 - 基板搬送用トレーの複数の開口に基板を一枚ずつ載置することで、前記開口の各々の周縁に形成された基板支持部で前記基板の下面周縁をそれぞれ支持し、
複数の前記基板各々を静電的に吸着可能なチャック領域を有する島状部が前記基板の面積よりも小さい面積で島状に複数、前記基板搬送用トレーの下面に対する前記基板支持部の高さよりも大きい高さで突出形成された静電チャックの上面に前記基板搬送用トレーを載置することで、前記基板支持部から前記チャック領域へ前記複数の基板を同時に載置する
基板移載方法。
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