JP4871217B2 - アリ溝用シール材 - Google Patents
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Description
図1は、アリ溝用シール材11(以下、「シール材」という。)と、このシール材11が取付けられるアリ溝21とを示す断面図であり、図2は、シール材11の使用状態を示す説明図である。すなわち、図2(a)は、半導体製造等において用いられ、内部空間を真空にする真空装置31の一部を示す断面図である。図2(b)は、この真空装置に開閉可能に取付けられる蓋体の内側面を示す正面図である。このように、シール材11は、蓋体32の内側面に装着され、真空装置31内の気密性を得るのに使用される。
シール材11は、左右対称形状で、アリ溝21内に収容される溝収容部12と、この溝収容部12の上に一体に形成され、アリ溝21の開口部22から突出してアリ溝21の幅方向の両側に張り出す頭部13とを有する。
比較例品は、前記特許文献1に開示されたシール材101で、その断面形状は次のとおりである。
下端部102が平らで、その幅は、アリ溝21の開口部22のそれよりも狭い。また、下端部102の両側から上に向けてテーパ状の傾斜面103,103有し、アリ溝21の深さ内において断面形状のうち最も幅広の最大幅部104を有する。この最大幅部104の上には、アリ溝21の傾斜面24,24における開口部22の下側部分に面で当接して抜け止めする抜け止め部105,105が形成され、抜け止め部105からは、上へ滑らかに連続して湾曲し、アリ溝21の開口部22から突出する上端面106が形成されている。
図8は、真空チャンバ内での異物の数を示すグラフで、たて軸に異物の数、よこ軸に日付をとったものである。グラフ中、「Cタイプ」とは、本実施品のことである。つまり、最初の1年間は比較例品を用いた場合で、後の1年間は本実施品を用いた場合である。
たとえば、張り出し部は、アリ溝の溝幅方向の一方のみに張り出すように形成されるもよい。
また、溝収容部は、上記のような形態以外のものであるもよい。
12…溝収容部
13…頭部
14…底面部
15…嵌め込み傾斜面
16…湾曲部
16a…最大幅部
17…抜け止め傾斜面
18…張り出し部
18a…下面
19…上面
21…アリ溝
22…開口部
23…底面
24…傾斜面
Claims (4)
- アリ溝が形成された部材とこれに対向する部材とのメタルタッチを防止すべく前記アリ溝に嵌め込んで使用されるアリ溝用シール材であって、
当該アリ溝用シール材の断面形状におけるアリ溝内に収容される溝収容部の上に、アリ溝の開口部から突出する頭部が形成されるとともに、
該頭部には、アリ溝の溝幅方向外側の側部に張り出す張り出し部が形成され、
該張り出し部の下面が、前記アリ溝の外側縁部の上面に密着する平面で、かつ溝幅方向の外側に向けて下がるように傾斜して形成され、
前記溝収容部が、アリ溝の開口部の幅よりも幅狭で平らな底面部と、
該底面部から上方に先太りになるように傾く嵌め込み傾斜面と、
該嵌め込み傾斜面の上方において溝幅方向に張り出し、アリ溝の開口部よりも幅広で断面形状における最も幅広となる最大幅部を形成する湾曲部と、
該湾曲部から先細るように上に延びてアリ溝の開口部より下側の傾斜面に当接する抜け止め傾斜面とを有するとともに、
前記底面部が、アリ溝内に収容された非加圧状態で、アリ溝の底面から浮くように形成された
アリ溝用シール材。 - 前記張り出し部の下面の傾斜角度が3度である
請求項1に記載のアリ溝用シール材。 - 前記頭部の上面が、円弧状に形成された
請求項1または請求項2に記載のアリ溝用シール材。 - 前記溝収容部の上端部分の幅が、アリ溝の開口部よりも幅狭である
請求項1から請求項3のうちのいずれか一項に記載のアリ溝用シール材。
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