JP4871145B2 - 露光方法及び露光装置 - Google Patents
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Description
先ず、図示省略の操作手段によって、被露光体8の移動速度V、被露光体8の全移動距離、露光時間、光源2の出力パワー等が初期設定され、制御手段7のメモリ14に記憶される。なお、被露光体8の移動速度Vは、光源2の出力パワー、露光時間及び露光パターンの搬送方向両端縁部の分解能の許容値に基づいて適切に設定される。
2…光源
3…DMD(マイクロミラーデバイス)
4…投影レンズ
5…撮像手段
7…制御手段
8…被露光体
10…マイクロミラー
11a,11b…マイクロミラー群
L1…光源からの光
L2…可視光
L3…露光光
Claims (6)
- 被露光体を所定方向に搬送しながら、前記被露光体の搬送方向及び該搬送方向と交差する方向に沿って複数のマイクロミラーがマトリクス状に配置されたマイクロミラーデバイスの所定のマイクロミラーを、光源から入射する光が前記被露光体方向に反射されるように傾動させて露光パターンを生成し、前記被露光体上に前記露光パターンを投影して露光する露光方法であって、
前記マイクロミラーデバイスの複数のマイクロミラーを、前記被露光体方向から入射する可視光が前記光源からの光の入射方向と異なる方向に反射されるように傾動させ、該マイクロミラーデバイスで反射された可視光を撮像手段により受光して被露光体に予め形成された所定の基準パターンを撮像し、
前記撮像手段により撮像された基準パターンの画像データと記憶部に予め保存された設計データとに基づいて前記露光パターンに対応した画像のビットマップデータを生成し、
前記ビットマップデータに基づいて前記マイクロミラーデバイスの複数のマイクロミラーを傾動させて所定の露光パターンを生成し、
前記被露光体に形成された基準パターン上に前記所定の露光パターンを露光する、
ことを特徴とする露光方法。 - 前記マイクロミラーデバイスは、前記被露光体の搬送方向と交差する方向を境界として搬送方向手前側のマイクロミラー群と搬送方向奥側のマイクロミラー群とに分割され、前記搬送方向手前側のマイクロミラー群のうちの所定のマイクロミラーを傾動して前記露光パターンを生成し、搬送方向奥側のマイクロミラー群のうちの少なくとも一列のマイクロミラーを傾動して前記被露光体方向からの可視光を前記撮像手段へ反射することを特徴とする請求項1記載の露光方法。
- 載置面に被露光体を載置して所定方向に搬送する搬送手段と、
前記搬送手段の上方に配設され、光源から入射する光が前記被露光体方向に反射されるように傾動されて露光パターンを生成すると共に、前記被露光体方向から入射する可視光が前記光源から光の入射方向と異なる方向に反射されるように傾動される複数のマイクロミラーが前記被露光体の搬送方向及び該搬送方向と交差する方向に沿ってマトリクス状に配置されたマイクロミラーデバイスと、
前記マイクロミラーデバイスで生成された露光パターンを前記被露光体上に投影する投影レンズと、
前記マイクロミラーデバイスによって前記被露光体方向から入射する可視光が反射される方向に配設され、被露光体の表面を撮像する撮像手段と、
前記各構成要素を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする露光装置。 - 前記マイクロミラーデバイスは、前記被露光体の搬送方向と交差する方向を境界として搬送方向手前側のマイクロミラー群と搬送方向奥側のマイクロミラー群とに分割され、前記搬送方向手前側のマイクロミラー群のうちの所定のマイクロミラーを傾動して前記露光パターンを生成し、搬送方向奥側のマイクロミラー群のうちの少なくとも一列のマイクロミラーを傾動して前記被露光体方向からの可視光を前記撮像手段へ反射することを特徴とする請求項3記載の露光装置。
- 前記撮像手段は、前記被露光体の搬送方向と交差する方向に複数の受光素子を一直線状に並べて備えたことを特徴とする請求項3又は4記載の露光装置。
- 前記撮像手段は、前記被露光体の搬送方向及び該搬送方向と交差する方向に沿って複数の受光素子をマトリクス状に備えたことを特徴とする請求項3又は4記載の露光装置。
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