JP4866312B2 - Sheet manufacturing apparatus and method for sticking - Google Patents
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Description
本発明は貼付用シート製造装置及び製造方法に係り、特に、半導体ウエハ等の被着体に貼付することに適した貼付用シート製造装置及び製造方法に関する。 The present invention relates to a sticking sheet manufacturing apparatus and manufacturing method, and more particularly to a sticking sheet manufacturing apparatus and manufacturing method suitable for sticking to an adherend such as a semiconductor wafer.
従来より、半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」という)には、ダイシングに先立ってダイボンディング用の接着シートを貼付することが行われている。ダイボンディング用のシートをウエハに貼付する場合には、接着性シートに剥離シートが仮着された帯状の原反を用い、接着性シートをウエハに貼付した後に、接着性シートと剥離シートとをウエハの大きさに合うように切断してウエハ外周側部分を不要シートとして回収する構成が採用されている(例えば、特許文献1参照)。 Conventionally, an adhesive sheet for die bonding is attached to a semiconductor wafer (hereinafter simply referred to as “wafer”) before dicing. When sticking a sheet for die bonding to a wafer, use a strip-shaped raw material in which a release sheet is temporarily attached to an adhesive sheet. After sticking the adhesive sheet to the wafer, the adhesive sheet and the release sheet are bonded together. A configuration is adopted in which the wafer outer peripheral side portion is cut to fit the size of the wafer and recovered as an unnecessary sheet (see, for example, Patent Document 1).
特許文献1の構成においては、接着性シートをウエハ形状に切断する切断手段が必要となるうえ、この切断後に接着性シートの上面に位置する剥離シートを剥離するシート剥離手段も必要となる。
In the configuration of
[発明の目的]
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、ウエハ等の被着体に接着するときに、前述した剥離手段や切断手段を必要とすることのない貼付用シート製造装置及び製造方法を提供することにある。
[Object of invention]
The present invention has been devised paying attention to such inconveniences, and the object thereof is not to require the above-described peeling means or cutting means when adhering to an adherend such as a wafer. An object of the present invention is to provide a sticking sheet manufacturing apparatus and manufacturing method.
前記目的を達成するため、本発明に係る接着シート製造装置は、接着性シートの一方の面に第1の剥離シートが仮着されるとともに、他方の面に第2の剥離シートが仮着された帯状の原反を繰り出す繰出手段と、前記原反を繰り出す過程で第1の剥離シート側から第2の剥離シートまで達する閉ループ状の切り込みを形成して当該切り込みで囲まれる接着性シート部分を貼付用シートとして形成する切込手段と、前記貼付用シートの外側に位置する外側接着性シート部分とこれの上面に位置する第1の剥離シート部分とを外側不要シートとする一方、前記貼付用シート上に位置する第1の剥離シート部分を内側不要シートとして回収する回収手段と、前記外側不要シートと内側不要シートとを連結部材を介して連結する連結手段とを含み、
前記外側不要シートを回収するときに前記内側不要シートを同時に回収可能に設ける、という構成を採っている。
In order to achieve the above object, the adhesive sheet manufacturing apparatus according to the present invention has a first release sheet temporarily attached to one surface of an adhesive sheet and a second release sheet temporarily attached to the other surface. A feeding means for feeding the strip-shaped original fabric, and an adhesive sheet portion surrounded by the cut by forming a closed loop-shaped cut from the first release sheet side to the second release sheet in the course of feeding the original fabric. An incision means formed as a sticking sheet, an outer adhesive sheet portion located outside the sticking sheet and a first release sheet portion located on the upper surface thereof are used as outer unnecessary sheets, A collecting means for collecting the first release sheet portion positioned on the sheet as an inner unnecessary sheet; and a connecting means for connecting the outer unnecessary sheet and the inner unnecessary sheet via a connecting member,
A configuration is adopted in which the inner unnecessary sheet is provided so that it can be recovered simultaneously when the outer unnecessary sheet is recovered.
本発明において、前記連結手段は、連結用接着テープの供給手段と、前記連結用接着テープを保持して前記切り込みを横切るように第1の剥離シートに貼付する押圧手段とを備えた構成が採用されている。 In the present invention, the connection means includes a connection adhesive tape supply means and a pressing means that holds the connection adhesive tape and affixes to the first release sheet so as to cross the cut. Has been.
また、前記連結用接着テープは、原反繰出方向先端側における切り込み部分を横切るように貼付する、という構成を採ることができる。 In addition, the connecting adhesive tape may be configured to be pasted so as to cross the cut portion at the leading end side in the raw fabric feeding direction.
更に、本発明に係る接着シート製造方法は、接着性シートの一方の面に第1の剥離シートが仮着されるとともに、他方の面に第2の剥離シートが仮着された帯状の原反を繰り出す工程と、
前記原反を繰り出す過程で第1の剥離シート側から第2の剥離シートまで達する閉ループ状の切り込みを形成して当該切り込みで囲まれる接着性シート部分を貼付用シートとして形成する工程と、
前記貼付用シートの外側に位置する外側接着性シート部分とこれの上面に位置する第1の剥離シート部分とを外側不要シートとする一方、前記貼付用シート上の第1の剥離シート部分を内側不要シートとしてこれらを相互に連結する連結工程と、
前記外側不要シートと内側不要シートとを同時に回収する回収工程とを含む、という方法を採っている。
Furthermore, the method for producing an adhesive sheet according to the present invention includes a belt-shaped original fabric in which a first release sheet is temporarily attached to one surface of an adhesive sheet and a second release sheet is temporarily attached to the other surface. And the process of
Forming a closed-loop cut that reaches from the first release sheet side to the second release sheet in the course of feeding out the original fabric, and forming an adhesive sheet portion surrounded by the cut as an adhesive sheet; and
The outer adhesive sheet portion positioned on the outer side of the sticking sheet and the first release sheet portion positioned on the upper surface thereof are used as outer unnecessary sheets, while the first release sheet portion on the sticking sheet is set on the inner side. A connecting step for connecting them together as an unnecessary sheet;
The method includes a recovery step of simultaneously recovering the outer unnecessary sheet and the inner unnecessary sheet.
本発明によれば、3層構造となる原反を用い、連結手段を介して外側不要シートと内側不要シートとを連結するように構成したから、連続する外側不要シートを巻き取ることによって不連続な内側不要シートも同時に回収できることとなる。従って、貼付用シート上に剥離シートが残るようなことはなくなり、被着体に貼付用シートを貼付した後、第2の剥離シートを剥離するだけで足りることとなり、貼付用シートを被着体に貼付する装置において、切断手段や剥離手段を設ける必要はなくなる。
更に、ダイボンディングシートのような剛性の低いシートの外側不要シートを巻き取る場合、その上面に位置する第1の剥離シートと共に巻き取ることで、外側不要シートが切れて巻取不良が発生するようなことを防止することができる。
また、前記切り込みを横切るように第1の剥離シートに連結用接着テープを貼付する構成であるため、外側不要シートと内側不要シートとの連結を簡易に行うことができる。特に、原反繰出方向先端側における切り込み部分を横切るように連結用接着テープを貼付する構成とした場合には、連結用テープの消費量を抑制することもできる。
According to the present invention, the raw material having a three-layer structure is used to connect the outer unnecessary sheet and the inner unnecessary sheet via the connecting means. The unnecessary inner sheets can be collected at the same time. Therefore, the release sheet does not remain on the sticking sheet, and it is only necessary to peel the second release sheet after sticking the sticking sheet to the adherend. There is no need to provide a cutting means or a peeling means in the device for attaching to the tape.
Furthermore, when winding an unnecessary outer sheet of a low-rigidity sheet such as a die bonding sheet, the outer unnecessary sheet is cut off by winding together with the first release sheet positioned on the upper surface, so that winding failure occurs. This can prevent anything.
Moreover, since it is the structure which affixes the adhesive tape for a connection to a 1st peeling sheet so that the said notch may be crossed, a connection with an outer unnecessary sheet | seat and an inner unnecessary sheet | seat can be performed easily. In particular, when the connecting adhesive tape is applied so as to cross the cut portion at the leading end side in the original feed direction, the consumption of the connecting tape can be suppressed.
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1には、本実施形態に係る貼付用シート製造装置の概略正面図が示され、図2には貼付用シートを製造する過程における要部拡大斜視図が示されている。これらの図において、貼付用シート製造装置10は、接着性シートSの一方の面(図中上面)に第1の剥離シートAが仮着されるとともに、他方の面(図中下面)に第2の剥離シートBが仮着された帯状の原反Rを繰り出す繰出手段11と、前記原反Rを繰り出す過程で第1の剥離シートA側から第2の剥離シートBまで達する閉ループ状の切り込みCを形成して当該切り込みCで囲まれる接着性シート部分を貼付用シートS1として形成する切込手段12と、前記貼付用シートS1の外側に位置する外側接着性シート部分S2とこの上面側に位置する外側剥離シート部分A1とを外側不要シートDとする一方、前記貼付用シートS1上に位置する内側剥離シート部分A2を内側不要シートEとして回収する回収手段14と、前記外側不要シートDと内側不要シートEとを連結用接着テープTを介して連結する連結手段15と、前記第2の剥離シートBと貼付用シートS1とを巻き取る巻取手段16とを備えて構成されている。ここで、本実施形態では、前記接着性シートSは、特に、ウエハの裏面に接着され、ダイシング後のチップをリードフレームにボンディングする際に利用される感熱接着性の接着シートにより構成されている。 FIG. 1 shows a schematic front view of a sticking sheet manufacturing apparatus according to this embodiment, and FIG. 2 shows an enlarged perspective view of a main part in the process of manufacturing a sticking sheet. In these drawings, the sticking sheet manufacturing apparatus 10 has a first release sheet A temporarily attached to one surface (upper surface in the drawing) of the adhesive sheet S and the first surface on the other surface (lower surface in the drawing). A feeding means 11 for feeding the strip-shaped original fabric R temporarily attached with the second release sheet B, and a closed-loop cut that reaches from the first release sheet A to the second release sheet B in the course of feeding the original fabric R; A cutting means 12 for forming an adhesive sheet portion surrounded by the cut C and forming an adhesive sheet S1, an outer adhesive sheet portion S2 located outside the adhesive sheet S1, and an upper surface side thereof. The outer release sheet portion A1 positioned as an outer unnecessary sheet D, and the recovery means 14 for recovering the inner release sheet portion A2 positioned on the sticking sheet S1 as an inner unnecessary sheet E; Connecting means 15 for connecting the sheet D and the inner unnecessary sheet E via the connecting adhesive tape T, and a winding means 16 for winding the second release sheet B and the sticking sheet S1. ing. Here, in the present embodiment, the adhesive sheet S is particularly composed of a heat-sensitive adhesive sheet that is bonded to the back surface of the wafer and used when bonding the diced chip to the lead frame. .
前記繰出手段11はロール状に巻回された原反Rを支持する支持ローラ19の下方に配置された駆動ローラ20と、当該駆動ローラ20との間に原反Rを挟み込むピンチローラ21と、前記駆動ローラ20を回転させるモータM1とにより構成されている。
The feeding means 11 includes a
前記切込手段12は、第1の剥離シートA側に配置されたダイカットローラ23と、第2の剥離シートB側に配置され、図示しない機構によりダイカットローラ23と同期回転するアンビルローラ24と、ダイカットローラ23を回転させるモータM2とからなる。ダイカットローラ23は、ローラ本体23Aと、当該ローラ本体23Aの外周面に設けられた切断刃23Bとからなる。この切断刃23Bは、平面に展開したときに、ウエハ形状と略同形となるように形成されており、従って、切込手段12を通過した後の原反Rには、略円形の切り込みC(図2参照)が形成されることとなる。なお、ローラ本体23Aには、図1に示されるように、切断刃不存在領域23Cが形成されて原反Rの素通しが行えるようになっており、当該切断刃不存在領域23Cがアンビルローラ24側に位置したときに、原反Rの繰出速度を変化させて貼付用シートS1の形成間隔を任意に設定することができる。また、切断刃23Bは、ウエハに形成されたVノッチやオリエンテーションフラットに対応した形状とすることもできる。
The
前記回収手段14は、剥離用ブロック26と、この剥離用ブロック26の上方に配置された回収ローラ27と、当該回収ローラ27を回転させるモータM3とを含む。剥離用ブロック26は、外側不要シートD及び内側不要シートEを第2の剥離シートB及び貼付用シートS1から剥離するためのものであり、本実施形態では、略水平方向に対して直交する上方に剥離できるガイド面を備えて構成されているが、特に限定されるものではなく、ローラや、板状のブレード材で構成してもよい。
The collecting means 14 includes a
前記連結手段15は、連結用接着テープTの供給手段30と、連結用テープTを前記切り込みC部分に貼付する押圧手段31とからなる。供給手段30は、帯状剥離シートRLの一方の面に連結用テープTが仮着されたテープ原反TRを繰出可能に支持するテープ原反支持ローラ33と、前記帯状剥離シートRLのシート巻取ローラ34と、これらテープ原反支持ローラ33及びシート巻取ローラ34の間に配置されて前記帯状剥離シートRLから連結用接着テープTを剥離するピールプレート36とからなる。この一方、押圧手段31は、下面側に図示しない吸着孔が形成された吸着グリッド38を備え、当該吸着グリッド38は、シリンダ39を介して上下方向に沿って進退可能に設けられている。なお、ここでは図示省略しているが、第2の剥離シートB側には、吸着グリッド38による押圧力の受け面となる受け台が設けられる。
The
前記巻取手段16は、巻取駆動ローラ40と、当該巻取駆動ローラ40との間に第2の剥離シートB及び貼付用シートS1を挟み込むピンチローラ41と、巻取駆動ローラ40を回転させるモータM4と、巻取ローラ43と、巻取ローラ43を所定のトルクで回転させるモータM5とにより構成されている。
The winding means 16 rotates the winding
次に、本実施形態における貼付用シートの製造方法について説明する。 Next, the manufacturing method of the sticking sheet in this embodiment will be described.
図1に示されるように、ロール状の原反Rを所定長さ引き出して、駆動ローラ20とピンチローラ21との間と、ダイカットローラ23とアンビルローラ24との間に通紙する。そして、第1の剥離シートA及び接着性シートSを第2の剥離シートBから剥離し、当該第1の剥離シートA及び接着性シートSのリード端を回収ローラ27に固定する。この一方、第2の剥離シートBは、駆動ローラ40とピンチローラ41との間を通紙してそのリード端を巻取ローラ43に固定し、これにより初期設定を完了する。なお、この初期設定段階では、ダイカットローラ23及び、各ピンチローラ21、41は、図示しない駆動手段によってアンビルローラ24及び、各駆動ローラ20、40の上方へ退避し、所定のクリアランスを確保するようになっている。
As shown in FIG. 1, a roll-shaped original fabric R is pulled out by a predetermined length and passed between the
次に、図示しない制御装置を介して装置の駆動が開始される。すなわち、繰出手段11のモータM1が回転することにより原反Rが引き出されるとともに、回収手段14及び巻取手段16のモータM3、M4、M5がそれぞれ駆動して回収及び巻取がそれぞれ開始される。同時に、切込手段12のモータM2を介してダイカットローラ23が回転し、切断刃23Bによって第1の剥離シートA側から第2の剥離シートBに達する深さの切り込みCが形成される。この切り込みCにより接着性シートSは貼付用シートS1と外側接着性シート部分S2とに区分される。また、第1の剥離シートAは、内側剥離シート部分A2と、外側剥離シート部分A1とに区分される。
Next, driving of the apparatus is started via a control apparatus (not shown). That is, when the motor M1 of the feeding means 11 rotates, the original fabric R is pulled out, and the motors M3, M4, and M5 of the collecting means 14 and the
原反Rが切込手段12を通過した後において、第1の剥離シートAに対し、切り込みCが形成された部分に連結用接着テープTが貼付される。すなわち、連結用接着テープTが供給手段30から吸着グリッド38に一枚ずつ供給され、原反繰出方向先端側における切り込みCを横切るように、つまり、外側剥離シート部分A1と内側剥離シート部分A2を跨ぐように貼付される(図2参照)。なお、連結用接着テープTの貼付は、切り込みCの原反繰出方向先端側が所定位置に達したことを図示しないセンサが検出することによりタイミング調整される。
After the original fabric R passes through the cutting means 12, the connecting adhesive tape T is applied to the first release sheet A at the portion where the cut C is formed. That is, the connecting adhesive tape T is supplied one by one from the supply means 30 to the
連結手段15の下部領域を通過した原反Rは、外側不要シートD及び内側不要シートEが前記剥離用ブロック26で上方に剥離されることとなり、第2の剥離シートB上には、貼付用シートS1のみが残され、当該貼付用シートS1が残された第2の剥離シートBが順次巻取ローラ43に巻き取られることとなる。
The raw fabric R that has passed through the lower region of the connecting
従って、このような実施形態によれば、巻取手段16によってロール状に巻き取られた製品は、例えば、別途のシート貼付装置に装填され、第2の剥離シートBと共に貼付用シートS1が加熱されてウエハの裏面に接着される。その後、第2の剥離シートBが貼付用シートS1から剥離されて貼付が完了する。このように、シート貼付装置内にウエハ形状に合わせて切断する切断手段や、貼付用シートS1上の剥離シートを剥離する剥離手段を設ける必要がなくなる。
Therefore, according to such an embodiment, the product wound in a roll shape by the winding
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
As described above, the best configuration, method and the like for carrying out the present invention have been disclosed in the above description, but the present invention is not limited to this.
In other words, the present invention has been illustrated and described mainly with respect to specific embodiments, but without departing from the scope of the technical idea and object of the present invention, the shape, position, or With respect to the arrangement and the like, those skilled in the art can make various changes as necessary.
例えば、前記実施形態では、感熱性の接着シートを接着性シートSとして用いた場合を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、感圧接着性の接着シートや、エネルギー線硬化型の接着シート等を用いることもできる。 For example, in the above-described embodiment, a case where a heat-sensitive adhesive sheet is used as the adhesive sheet S has been described. However, the present invention is not limited to this, and a pressure-sensitive adhesive sheet or energy ray curing is used. A mold adhesive sheet or the like can also be used.
また、貼付用シートS1の平面形状は円形に限定されるものではなく、被着体の平面形状に応じて種々の形状が採用可能であり、これに応じた閉ループをなすダイカットローラ23を用いればよい。更に、切込手段12のダイカットローラ23に替え、平面内に切断刃が形成されたプレス型を用いてもよい。
Further, the planar shape of the sticking sheet S1 is not limited to a circle, and various shapes can be adopted according to the planar shape of the adherend, and if a die-
更に、連結部材は、連結用テープTとして感圧接着性の接着テープや、感熱接着性の接着テープを使用することができ、感熱接着性の接着テープを使用する場合は、吸着グリッド38に加熱手段を設ければよい。
Further, the connecting member can be a pressure-sensitive adhesive tape or a heat-sensitive adhesive tape as the connecting tape T. When using a heat-sensitive adhesive tape, the
また、連結部材は、原反Rの繰出方向先端側のみならず、複数個所に貼付するように構成してもよいし、本実施形態に示した枚葉タイプに替え、連続した帯状の連結テープを第1の剥離シートAの繰り出し方向に沿って連続して貼付するような構成としてもよい。 In addition, the connecting member may be configured to be affixed not only to the leading end side in the feed direction of the raw fabric R but also to a plurality of locations, or instead of the single wafer type shown in the present embodiment, a continuous strip-shaped connecting tape It is good also as a structure which sticks continuously along the delivery direction of the 1st peeling sheet A. FIG.
更に、接着性シートとして、基材の両面に接着剤層を有する原反を対象とすることもできる。 Furthermore, as an adhesive sheet, an original fabric having an adhesive layer on both surfaces of a substrate can be used.
なお、前記巻取手段16の前段すなわち回収手段14との間に、ウエハ等を被着体としたシート貼付装置を介在させることもでき、この場合には、巻取手段16で第2の剥離用シートBのみを巻き取ることとなる。
In addition, a sheet sticking device having a wafer or the like as an adherend can be interposed between the winding
10 貼付用シート製造装置
11 繰出手段
12 切込手段
14 回収手段
15 連結手段
30 供給手段
31 押圧手段
A 第1の剥離シート
A1 外側剥離シート部分
A2 内側剥離シート部分
B 第2の剥離シート
C 切り込み
D 外側不要シート
E 内側不要シート
R 原反
S 接着性シート
S1 貼付用シート
S2 外側接着性シート部分
T 連結用接着テープ(連結部材)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Sticking sheet manufacturing apparatus 11 Feeding means 12 Cutting means 14 Collecting means 15 Connection means 30 Supply means 31 Pressing means A 1st release sheet A1 Outer release sheet part A2 Inner release sheet part B 2nd release sheet C Notch D Outer unnecessary sheet E Inner unnecessary sheet R Original fabric S Adhesive sheet S1 Adhesive sheet S2 Outer adhesive sheet part T Connecting adhesive tape (connecting member)
Claims (4)
前記外側不要シートを回収するときに前記内側不要シートを同時に回収可能としたことを特徴とする貼付用シート製造装置。 A feeding means for feeding out a belt-like original fabric in which the first release sheet is temporarily attached to one surface of the adhesive sheet and the second release sheet is temporarily attached to the other surface, and a process of delivering the original fabric A cutting means for forming an adhesive sheet portion surrounded by the cut as an adhesive sheet, and an outer side of the adhesive sheet, and forming a closed loop notch that reaches from the first release sheet side to the second release sheet The outer adhesive sheet portion positioned on the upper surface and the first release sheet portion positioned on the upper surface thereof are used as outer unnecessary sheets, while the first release sheet portion positioned on the sticking sheet is recovered as an inner unnecessary sheet. Collecting means for connecting, and a connecting means for connecting the outer unnecessary sheet and the inner unnecessary sheet via a connecting member,
The sticking sheet manufacturing apparatus, wherein the inner unnecessary sheet can be simultaneously recovered when the outer unnecessary sheet is recovered.
前記原反を繰り出す過程で第1の剥離シート側から第2の剥離シートまで達する閉ループ状の切り込みを形成して当該切り込みで囲まれる接着性シート部分を貼付用シートとして形成する工程と、
前記貼付用シートの外側に位置する外側接着性シート部分とこれの上面に位置する第1の剥離シート部分とを外側不要シートとする一方、前記貼付用シート上の第1の剥離シート部分を内側不要シートとしてこれらを相互に連結する連結工程と、
前記外側不要シートと内側不要シートとを同時に回収する回収工程とを含むことを特徴とする貼付用シート製造方法。 A step of feeding a strip-shaped raw material in which the first release sheet is temporarily attached to one surface of the adhesive sheet and the second release sheet is temporarily attached to the other surface;
Forming a closed-loop cut that reaches from the first release sheet side to the second release sheet in the course of feeding out the original fabric, and forming an adhesive sheet portion surrounded by the cut as an adhesive sheet; and
The outer adhesive sheet portion positioned on the outer side of the sticking sheet and the first release sheet portion positioned on the upper surface thereof are used as outer unnecessary sheets, while the first release sheet portion on the sticking sheet is set on the inner side. A connecting step for connecting them together as an unnecessary sheet;
A method for manufacturing a sticking sheet, comprising: a collecting step of simultaneously collecting the outer unnecessary sheet and the inner unnecessary sheet.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
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JP2009023783A JP2009023783A (en) | 2009-02-05 |
JP4866312B2 true JP4866312B2 (en) | 2012-02-01 |
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ID=40395966
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4866312B2 (en) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5423563B2 (en) * | 2010-04-23 | 2014-02-19 | デクセリアルズ株式会社 | Manufacturing method of semiconductor chip |
JP6463160B2 (en) * | 2015-02-05 | 2019-01-30 | リンテック株式会社 | Sheet manufacturing equipment |
JP6412442B2 (en) * | 2015-02-20 | 2018-10-24 | リンテック株式会社 | Sheet feeding apparatus and feeding method |
KR102443314B1 (en) * | 2020-08-12 | 2022-09-16 | 주식회사 야스 | Automatic system for replacement of adhesion sheets of adhesives chuck |
-
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009023783A (en) | 2009-02-05 |
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