JP4857508B2 - 金属酸化物膜形成用塗布液 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本願発明は、基板表面などに金属酸化物膜を形成するのに用いられる金属酸化物膜形成用塗布液、及びそれを用いた金属酸化物膜、金属酸化物パターンの形成方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
金属薄膜あるいは金属酸化物薄膜を形成する方法として、通常の厚膜ペーストと同様に、塗布・焼成というような単純なプロセスで金属薄膜あるいは金属酸化物薄膜を形成することが可能な有機金属塗布熱分解法(MOD法)が、近年、広く用いられつつあり、金属配線あるいは強誘電体や透明導電膜、抵抗体などの電気素子の形成に応用することが検討されている(特開平4−240792号、特開平9−120906号、特開平9−069614号など)。
【0003】
このMOD法は、ハイブリッドICに用いられているような通常の厚膜ペーストと同様に、塗布・焼成というような単純なプロセスで金属薄膜あるいは金属酸化物膜を形成することが可能な方法であり、低コストで高精度の金属薄膜あるいは金属酸化物膜を形成することができるという特徴と有しているとともに、低温で焼成することができるという利点を備えている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、MOD法により、膜厚の大きい金属酸化物膜を形成しようとすると、有機金属化合物溶液(塗布液)の塗布厚を厚く塗布することが必要となる。しかし、必要な膜厚を得るために、有機金属化合物溶液(塗布液)を一度に厚く塗布すると、焼成時に、金属酸化物膜にクラックが入るという問題点がある。
【0005】
そのため、膜厚の大きい金属酸化物膜を形成する場合には、通常、塗布・焼成の工程を複数回繰り返すことにより膜厚の大きい金属酸化物膜を形成する方法がとられている。そのため、金属酸化物膜の形成工程が複雑化し、コストが増大するという問題点がある。
【0006】
また、有機金属に樹脂を添加してペースト状とし、スクリーン印刷を可能ならしめるようにした方法も提案されているが(特開平9−120906号)、この方法は、あくまでも塗布性を考慮して、粘度を調整するために添加されたものであり、焼成時にクラックが発生するという問題点を解決するものではない。
【0007】
さらに、特開平10−083718号には、塗膜に紫外線を照射し、現像した後、焼成して金属酸化物透明導電膜パターンを得る方法が開示されているが、この方法は、あくまでもフォトリソグラフィー法により金属酸化物透明導電膜パターンを得ることができるようにしたものであり、この方法においても、焼成時にクラックが発生するという問題点を解決することができていないのが実情である。
【0008】
本願発明は上記実情に鑑みてなされたものであり、MOD法により、厚みが大きく、クラックのない金属酸化物膜もしくは金属酸化物パターンを形成することが可能な金属酸化物膜形成用塗布液を提供することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本願発明(請求項1)の金属酸化物膜形成用塗布液は、
(a)熱分解可能な有機金属A、
(b)溶剤B、
(c)有機金属Aの熱分解温度よりも高い温度で熱分解が終了する有機化合物C及び/又は成膜過程で有機金属Aの熱分解温度より高い温度で熱分解が終了する有機化合物Cxになる有機化合物D
を含有し、かつ、
有機化合物C及び/又は有機化合物Cxが、有機金属Aより20〜70℃高い温度で熱分解が終了するものであること
を特徴としている。
【0010】
本願発明(請求項1)の金属酸化物膜形成用塗布液は、熱分解可能な有機金属Aと、溶剤Bと、有機金属Aの熱分解温度よりも高い温度で熱分解が終了する有機化合物C及び/又は成膜過程で有機金属Aの熱分解温度より高い温度で熱分解が終了する有機化合物Cxになる有機化合物Dとを含有させるようにしているので、この金属酸化物膜形成用塗布液を用いることにより、クラックを防止して、膜厚が大きく、均一な組成の金属酸化物膜を形成することが可能になる。
【0011】
すなわち、本願発明の金属酸化物膜形成用塗布液を用いた場合、有機金属Aが熱分解する時点では、有機金属Aよりも熱分解温度の高い有機化合物C及び/又は有機化合物Cxが存在するため、有機金属Aの熱分解時のクラックの発生を抑制、防止して、クラックのない均一な金属酸化物膜を確実に形成することが可能になる。
【0012】
なお、本願発明において用いることが可能な有機金属Aとしては、有機酸の金属塩(例えば、酢酸塩、プロピオン酸塩、2−エチルヘキサン酸塩、ナフテン酸塩、オレイン酸塩など)、あるいは、アセチルアセトン錯体、アミン錯体のような錯体などが例示されるが、その他の種々の熱分解可能な有機金属を使用することが可能である。
【0013】
また、有機化合物C及びDとしては、使用する有機金属Aの熱分解温度によって適切なものを選択して用いることが可能である。例えば、エチルセルロース、アルキッド、アクリルなどの樹脂、アクリル酸、ブタジエンのようなラジカル重合可能な有機化合物、あるいは上記のような有機金属を使用することが可能である。
さらに、有機金属A、溶剤B、有機化合物C、有機化合物Dは、それぞれ1種類を用いてもよく、また、複数種類を混合して用いてもよい。
【0014】
また、有機化合物Cとして、有機金属Aより20〜70℃高い温度で熱分解が終了するものを用い、Dとして、成膜過程で有機金属Aより20〜70℃高い温度で熱分解が終了する有機化合物Cxになるものを用いるようにしているので、有機金属Aが熱分解する際に、有機化合物C及び/又は有機化合物Cxを確実に存在させることが可能になり、クラックの発生を確実に防止して、均一な金属酸化物膜を形成することができるようになる。
【0015】
また、請求項2の金属酸化物膜形成用塗布液は、有機化合物Dが熱重合性を有し、熱重合によって有機化合物Cxとなるものであることを特徴としている。
【0016】
有機化合物Dとして、熱重合性を有し、熱重合によって有機金属Aの熱分解温度より高い温度で熱分解が終了する有機化合物Cxとなるものを用いた場合、例えば、レーザー光を所望のパターンを描画するように照射した後、未照射部を除去する工法など(すなわち、熱重合を利用したパターニング法)を適用して、効率よく高精度のパターンを形成することができるようになり有意義である。なお、熱重合を利用したパターニング法により高精度の金属酸化物パターンを形成するためには、熱重合性を有しない有機化合物Cの含有割合をできるだけ小さくすることが望ましい。
【0017】
また、請求項3の金属酸化物膜形成用塗布液は、有機化合物Dが光重合性を有し、光重合によって有機化合物Cxとなるものであることを特徴としている。
【0018】
有機化合物Dとして、光重合性を有し、光重合によって有機金属Aより高い温度で熱分解が終了する有機化合物Cxとなるものを用いた場合、例えば、フォトリソグラフィー法により、微細で高精度のパターンを効率よく形成することができるようになり有意義である。なお、フォトリソグラフィー法により、微細で高精度のパターンを効率よく形成することができるようにするためには、光重合性を有しない有機化合物Cの含有割合をできるだけ小さくすることが望ましい。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、本願発明及び関連する発明の実施の形態を示して、その特徴とするところをさらに詳しく説明する。
【0020】
[実施形態1]
(1)下記の有機金属A、有機化合物C、有機化合物D、及び光重合開始剤を、溶剤Bに溶解させることにより、金属酸化物膜形成用塗布液を作製する。
イ)熱分解温度が約350℃のメタクリル酸亜鉛(有機金属A)
:18重量部
ロ)熱分解温度が約400℃のメタクリル酸−メタクリル酸メチル共重合体(有機化合物C)
:25重量部
ハ)メタクリル酸メチル(有機化合物D)
:16重量部
ニ)光重合開始剤
: 6重量部
ホ)メトキシプロパノール(溶剤B)
:35重量部
なお、この実施形態1では、光重合開始剤を配合することにより、メタクリル酸メチルが光重合性を有する有機化合物(有機化合物D)として機能するように構成されている。
(2)次に、図1(a)に示すように、この金属酸化物膜形成用塗布液1を、基板(水晶基板)2上にスピンコートし、150℃で乾燥することにより、図1(b)に示すように、基板2上に塗膜1aを形成する。
(3)それから、図1(c)に示すように、フォトマスク3を介してUV光を照射して露光する。このとき、メタクリル酸メチルは光重合することにより、約450℃で分解するポリメタクリル酸メチル(有機金属Aの熱分解温度より高い温度で熱分解が終了する有機化合物Cx)となっている。
(4)次に、メトキシプロパノールで現像し、図1(d)に示すように、塗膜1aの未露光部(未重合部)を除去することにより、塗膜1aのパターニングを行う。
(5)その後、パターニングされた塗膜1aを、500℃で20分間焼成することにより、図1(e)に示すように、パターン化されたZnO膜(金属酸化物パターン)4を得た。
このZnO膜4を観察したところ、クラックがなく、基板2への密着性に優れた均一なZnO膜が得られていることが確認された。
【0021】
上記実施形態1では、有機金属A、溶剤Bの他に、複数種類の有機化合物、すなわち、有機金属Aより高い温度で分解するポリマーであるメタクリル酸−メタクリル酸メチル共重合体(有機化合物C)と、光重合性のモノマーであるメタクリル酸メチル(有機化合物D)を用いているが、光重合性のモノマーであるメタクリル酸メチルは、光重合することにより有機金属Aより熱分解温度の高いポリメタクリル酸メチル(有機化合物Cx)となるので、有機金属Aが熱分解する時点では、有機金属Aより分解温度の高いメタクリル酸−メタクリル酸メチル共重合体(有機化合物C)と、ポリメタクリル酸メチル(有機化合物Cx)が存在することになり、有機金属Aの熱分解時にクラックが発生することを効率よく防止して、均一な金属酸化物膜を形成することが可能になる。
なお、有機金属A、溶剤B、有機化合物C、有機化合物Dの配合割合は、上記割合に限定されるものではなく、金属酸化物膜形成用塗布液の塗布条件や焼成条件、形成される金属酸化物膜の用途などに応じて、適宜調整することが可能である。
【0022】
[実施形態2]
なお、この実施形態2は、本願発明が関連する発明の実施形態である。
(1)下記の成分を配合して、金属酸化物膜形成用塗布液を作製する。
イ)熱分解温度が約350℃のメタクリル酸亜鉛(有機金属A)
:18重量部
ロ)メタクリル酸メチル(有機化合物D)、
:41重量部
ハ)熱重合開始剤
: 6重量部
ニ)メトキシプロパノール(溶剤B)
:35重量部
なお、この実施形態2では、熱重合開始剤を配合することにより、メタクリル酸メチルが熱重合性を有する有機化合物(有機化合物D)として機能するように構成されている。
(2)次に、図2(a)に示すように、この金属酸化物膜形成用塗布液11を、基板(ソーダライムガラス基板)12上にスピンコートし、150℃で乾燥することにより、図2(b)に示すように、基板12上に塗膜11aを形成する。
(3)それから、図2(c)に示すように、IRレーザー光を所望のパターンを描写するように塗膜11aに照射して、照射領域を熱重合させる。このとき、メタクリル酸メチルは熱重合することにより、約450℃で分解するポリメタクリル酸メチル(有機金属Aの熱分解温度より高い温度で熱分解が終了する有機化合物Cx)となっている。
(4)次に、メトキシプロパノールで現像を行い、図2(d)に示すように、未照射部(未重合部)を除去することにより、塗膜11aのパターニングを行う。
(5)その後、現像され、パターニングされた塗膜11aを、500℃で20分間焼成することにより、図2(e)に示すように、パターン化されたZnO膜(金属酸化物パターン)14を得た。
このZnO膜14を観察したところ、クラックがなく、基板12への密着性に優れた均一なZnO膜が得られていることが確認された。
【0023】
[実施形態3]
(1)下記の成分を配合して、金属酸化物膜形成用塗布液を作製する。
イ)熱分解温度が約400℃のオレイン酸亜鉛(有機金属A)
:20重量部
ロ)熱分解温度が約450℃のポリメタクリル酸メチル(有機化合物C)
:40重量部
ハ)トルエン(溶剤B)
:40重量部
(2)次に、図3(a)に示すように、この金属酸化物膜形成用塗布液21を、基板(BLCガラス基板)22上にスピンコートし、150℃で乾燥することにより、図3(b)に示すように、基板22上に塗膜21aを形成する。
(3)それから、この塗膜21aを、500℃で20分間焼成することにより、図3(c)に示すように、ZnO膜(金属酸化物膜)24を得た。
このZnO膜24を観察したところ、クラックがなく、基板22への密着性に優れた均一なZnO膜が得られていることが確認された。
【0024】
[実施形態4]
(1)下記の成分を配合して、金属酸化物膜形成用塗布液を作製する。
イ)熱分解温度が約350℃の2−エチルヘキサン酸ルテニウム(有機金属A)
:35重量部
ロ)熱分解温度が約400℃のオレイン酸ルテニウム(有機化合物C)
:35重量部
ハ)トルエン(溶剤B)
:30重量部
(2)次に、上記実施形態3の場合に準じて、この金属酸化物膜形成用塗布液を、基板(ソーダライムガラス基板)上にスピンコートし、150℃で乾燥することにより、基板上に塗膜を形成する。
(3)それから、この塗膜を、500℃で20分間焼成することにより、RuO2膜(金属酸化物膜)を得た。
このRuO2膜を観察したところ、クラックや基板からの剥離のない、均一なRuO2膜が得られていることが確認された。
なお、上記のイ)の2−エチルヘキサン酸ルテニウム(有機金属A)又は上記ロ)のオレイン酸ルテニウム(有機化合物C)の一方のみをトルエンに溶解した金属酸化物膜形成用塗布液を用いてRuO2膜を形成した場合、膜厚が上記実施形態4の場合よりも薄く、かつ、密度の低いRuO2膜しか得ることができなかった。
【0025】
[比較例1]
2−オレイン酸亜鉛をトルエンに溶解させて金属酸化物膜形成用塗布液とし、この金属酸化物膜形成用塗布液を基板(BLCガラス基板)上にスピンコートした後、150℃で乾燥して、550℃で焼成することにより、2−オレイン酸亜鉛を熱分解させて、ZnO膜を得た。
しかし、このZnO膜には、クラックの発生や基板からの剥離の発生が認められた。
【0026】
[比較例2]
2−エチルヘキサン酸Ruをトルエンに溶解させて金属酸化物膜形成用塗布液とし、この金属酸化物膜形成用塗布液を基板(ソーダライムガラス基板)上にスピンコートした後、150℃で乾燥して、550℃で焼成することにより、2−エチルヘキサン酸Ruを熱分解させて、RuO2膜を得た。
しかし、このRuO2膜には、クラックの発生や基板からの剥離の発生が認められた。
また、上記実施形態4の場合と比べて、膜厚が薄く、かつ、密度の小さいRuO2膜しか得ることができなかった。
【0027】
なお、本願発明は、上記実施形態1〜4に限定されるものではなく、熱分解可能な有機金属A、溶剤B、有機金属Aの熱分解温度よりも高い温度で熱分解が終了する有機化合物C、成膜過程で有機金属Aの熱分解温度より高い温度で熱分解が終了する有機化合物Cxになる有機化合物Dの具体的な種類、及び、有機金属A、溶剤B、有機化合物C、有機化合物Dの配合割合、金属酸化物膜の具体的な膜厚やパターン、金属酸化物膜や金属酸化物パターンの形成対象である基板の種類、具体的な成膜条件などに関し、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
【0028】
【発明の効果】
上述のように、本願発明(請求項1)の金属酸化物膜形成用塗布液は、熱分解可能な有機金属Aと、溶剤Bと、有機金属Aの熱分解温度よりも高い温度で熱分解が終了する有機化合物C及び/又は成膜過程で有機金属Aの熱分解温度より高い温度で熱分解が終了する有機化合物Cxになる有機化合物Dとを含有させるようにしているので、この金属酸化物膜形成用塗布液を用いることにより、クラックを防止して、膜厚が大きく、均一な組成の金属酸化物膜を形成することができる。
【0029】
すなわち、本願発明の金属酸化物膜形成用塗布液を用いた場合、有機金属Aが熱分解する時点では、有機金属Aよりも熱分解温度の高い有機化合物C及び/又は有機化合物Cxが存在するため、有機金属Aの熱分解時のクラックの発生を抑制、防止して、クラックのない均一な金属酸化物膜を確実に形成することが可能になる。
【0030】
また、有機化合物Cとして、有機金属Aより20〜70℃高い温度で熱分解が終了するものを用い、また、Dとして、成膜過程で有機金属Aより20〜70℃高い温度で熱分解が終了する有機化合物Cxになるものを用いるようにしているので、有機金属Aが熱分解する際に、有機化合物C及び/又は有機化合物Cxを確実に存在させることが可能になり、クラックの発生を確実に防止して、均一な金属酸化物膜を形成することができるようになる。
【0031】
また、請求項2の金属酸化物膜形成用塗布液のように、有機化合物Dとして、熱重合性を有し、熱重合によって有機金属Aの熱分解温度より高い温度で熱分解が終了する有機化合物Cxとなるものを用いた場合、例えば、レーザー光を所望のパターンを描画するように照射した後、未照射部を除去する工法など(すなわち、熱重合を利用したパターニング法)を適用して、効率よく高精度のパターンを形成することができるようになり有意義である。
【0032】
また、請求項3の金属酸化物膜形成用塗布液のように、有機化合物Dとして、光重合性を有し、光重合によって有機金属Aより高い温度で熱分解が終了する有機化合物Cxとなるものを用いた場合、例えば、フォトリソグラフィー法により、微細で高精度のパターンを効率よく形成することができるようになり有意義である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 (a)〜(e)は本願発明の実施形態1の金属酸化物膜形成用塗布液を用いた、金属酸化物パターンの形成方法を示す図である。
【図2】 (a)〜(e)は本願発明が関連する発明の金属酸化物膜形成用塗布液を用いた、金属酸化物パターンの形成方法を示す図である。
【図3】 (a)〜(c)は本願発明の実施形態3の金属酸化物膜形成用塗布液を用いた、金属酸化物膜の形成方法を示す図である。
【符号の説明】
1,11,21 金属酸化物膜形成用塗布液
1a,11a,21a 塗膜
2 基板(水晶基板)
12 基板(ソーダライムガラス基板)
22 基板(BLCガラス基板)
3 フォトマスク
4,14 ZnO膜(金属酸化物パターン)
24 ZnO膜(金属酸化物膜)
Claims (3)
- (a)熱分解可能な有機金属A、
(b)溶剤B、
(c)有機金属Aの熱分解温度よりも高い温度で熱分解が終了する有機化合物C及び/又は成膜過程で有機金属Aの熱分解温度より高い温度で熱分解が終了する有機化合物Cxになる有機化合物D
を含有し、かつ、
有機化合物C及び/又は有機化合物Cxが、有機金属Aより20〜70℃高い温度で熱分解が終了するものであること
を特徴とする金属酸化物膜形成用塗布液。 - 有機化合物Dが熱重合性を有し、熱重合によって有機化合物Cxとなるものであることを特徴とする請求項1記載の金属酸化物膜形成用塗布液。
- 有機化合物Dが光重合性を有し、光重合によって有機化合物Cxとなるものであることを特徴とする請求項1記載の金属酸化物膜形成用塗布液。
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