JP4857155B2 - データ処理装置,検査システム、およびデータ処理方法 - Google Patents
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Description
(ADC:Automatic Defect Classification) の技術が導入され始めている。例えば、検査により欠陥が抽出された部品の不良部位(例えばウエハ上に形成されたパターンの形成不良)をSEM(Scanning Electron Microscopy)式レビュー装置を用いて観察するに当たり、その作業者への負荷を低減しながら効率的に作業を行うシステムが提案されている(例えば、特許文献1参照)。
Classification)機能を搭載した検査装置が登場し、真の欠陥でないものの自動選別が試みられている。これは、多くの欠陥の画像から真の欠陥でないことが明白なものを教示データとし、その他の欠陥の画像の中にこれと類似のものがあればこのカテゴリに自動分類するようにするものである。しかし、真の欠陥でないものに分類するときの判断の精度を向上させるためには、検査装置の欠陥の検出条件や、レビュー装置で画像を取得するときの条件を最適化する必要があり、検査装置やレビュー装置からの多くの情報を取り扱い、欠陥の分類の補助を行う装置が提案されている(例えば、特許文献2参照)。
Microscope(走査電子顕微鏡)の略である。通信回線4には、光学式レビュー装置24,SEM式レビュー装置25の両方が接続され、データ処理装置3とデータ22a,22b,23a,23bの送受信を行う。
21を取得する。
71のデータについて、グラフ表示などのデータ加工を行うことにより、特徴量Dを数字でなく視覚的な形態で表示できるので、効率よい分析を行うことができる。
2 レビュー装置
3 データ処理装置
4 通信回線
10 クリーンルーム
11 製造工程
21 検査データ
22a,22b,23a,23b データ
24 光学式レビュー装置
25 SEM式レビュー装置
Claims (6)
- 検査装置から送信された試料の欠陥に関する検査情報と、レビュー装置から送信された該欠陥の観察により得られたレビュー情報とを表示するディスプレイと、
前記検査情報と前記レビュー情報とを突合せして同一の欠陥に関する検査情報とレビュー情報とを並べて前記ディスプレイに表示させるマイクロプロセッサとを備えたデータ処理装置であって、
前記マイクロプロセッサは、前記欠陥から選択された複数の欠陥のIDをひとつの軸とし、前記ディスプレイに表示された前記検査情報と前記レビュー情報とに含まれる特徴量を得たときの複数の条件をひとつの軸として、該特徴量を前記ディスプレイへ表として表示させ、さらに表示された複数の特徴量から選択された特徴量のデータを別のソフトへ貼り付け可能としたことを特徴とするデータ処理装置。 - 請求項1の記載において、前記ディスプレイは貼り付けられた前記特徴量のデータからグラフを表示することを特徴とするデータ処理装置。
- 試料の欠陥を抽出して欠陥毎に欠陥IDを付与し、該欠陥ID毎の検査情報を取得する検査装置と、
該検査装置から通信回線を介して送信される前記欠陥ID毎の検査情報を受信し、該検査情報から少なくとも前記欠陥の位置情報を前記欠陥ID毎に生成するデータ処理装置と、
前記データ処理装置から送信される前記欠陥の位置情報に基づいて、前記検査装置で抽出された欠陥を見つけるとともに該欠陥を撮像し、該欠陥の撮像された欠陥画像から該欠陥の特徴量を条件を変えて得、該欠陥画像と該特徴量とを前記欠陥ID毎に前記データ処理装置へ送信するレビュー装置とを備えた検査システムであって、
前記データ処理装置はディスプレイに、前記検査情報と前記欠陥画像と前記特徴量とを、前記欠陥IDが同一である欠陥について横に並べて表示させ、前記欠陥IDから選択された欠陥の前記特徴量について、該ディスプレイに表示された表計算ソフトへコピー可能であることを特徴とする検査システム。 - 請求項3の記載において、前記ディスプレイはコピーされた前記特徴量からグラフを表示することを特徴とするデータ処理装置。
- 検査装置から送信された試料の欠陥に関する検査情報と、レビュー装置から送信された該欠陥の観察により得られたレビュー情報とを突合せして、同一の欠陥に関する検査情報とレビュー情報とを並べてディスプレイへ表示させ、
前記欠陥から選択された複数の欠陥のIDをひとつの軸とし、前記レビュー情報に含まれる特徴量を得たときの複数の条件をひとつの軸として、該特徴量を前記ディスプレイへ表として表示させ、
さらに表示された複数の特徴量から選択された特徴量のデータを別のソフトへ貼り付け可能としたことを特徴とするデータ処理方法。 - 請求項5の記載において、貼り付けられた前記特徴量のデータからグラフを表示することを特徴とするデータ処理方法。
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