JP4855914B2 - リング型照明装置 - Google Patents
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Description
本実施形態にかかるリング型照明装置100は、図1、図2に示すように、半導体ウェーハなどのワークWの検査に用いられる顕微鏡の、鏡筒Kの周囲に取り付けられる円環状をなすものであり、保持枠1と、その保持枠1に収容されたLED2及び光学部材3とを備えている。
この光学部材集合体5は、前述した光学部材3を2こ(複数)並設してなる本体部51と、その本体部51の外周部及び内周部からそれぞれ延出する外側周壁51及び内側周壁52とからなるものである。しかして、これら外側周壁51及び内側周壁52が前記保持溝111に嵌合して径方向に固定され、また前記係合部材12がこの光学部材集合体5の外周縁部に係合して軸C方向に固定されることで、この光学部材集合体5は、当該保持溝111にがたなく位置決めされて取り付けられる。
さらに、この係合部材12を取り付けた状態では、光学部材集合体5の外側周壁51及び内側周壁52の各端面が、前記フレキシブル配線基板4の外周縁部及び内周縁部を、保持枠本体11側に押し付けて固定するようにしてある。
すなわち、フレキシブル配線基板4、光学部材集合体5の順に保持溝111に嵌め入れ、最後に係合部材12を保持枠本体11に取り付けることで、LED2及び光学部材3の位置決めと固定が一挙に行われる。
しかして、内側のLED列2Aのみを点灯した場合には、光学部材3の拡散機能により、LED2から直接光を照射した場合に比べて、より近い位置で最適な照明、すなわち均一度の高い照明が得られるように構成している。これは、顕微鏡の対物レンズが低倍率で焦点距離が短く、均一度を要するワークWに対応するためである。
1・・・保持枠
1a・・・観測孔
2・・・LED
2A・・・LED列
3・・・光学部材(レンチキュラレンズ)
W・・・ワーク
Claims (3)
- 中心に観測孔を有した保持枠と、LEDを前記観測孔の周囲に斜め内向きの姿勢で円環状に一列に並べてなるLED列と、前記LED列の光射出方向に配置した円環状の光学部材とを具備する、ワークを照明するためのものであって、
複数のLED列を同心円状に設けるとともに各LED列に対応させて複数の光学部材を同心円状に設け、各LED列によるワークへの照明態様が互いに異なるように構成する一方、前記複数の光学部材において径方向内側の光学部材の外周部と径方向外側の光学部材の内周部とを連続させて一体構造のものとしているリング型照明装置。 - 複数列のLED列を設け、少なくとも最も径方向内側のLED列に対応する光学部材に光拡散機能を具備させている請求項1記載のリング型照明装置。
- 2列のLED列を設け、内側のLED列に対応する光学部材に光拡散機能を具備させている請求項1又は2記載のリング型照明装置。
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