JP4853705B2 - Tftアレイの検査方法及びtftアレイ検査装置 - Google Patents
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- TFT基板のTFTアレイに対して電圧を印加することによりTFTアレイの欠陥を検査するTFT基板の検査方法であって、
1ゲート周期内において、画素電極をプラス電位に保持する第1の期間と、画素電極をマイナス電位に保持する第2の期間の時間比率を不均等とすることを特徴とする、TFT基板の検査方法。 - 前記1ゲート周期内において、ゲートラインに印加するTFTのゲートのオンパルス信号の時間周期を不均等とすることにより、前記第1の期間と第2の期間の時間比率を不均等とすることを特徴とする、請求項1に記載のTFT基板の検査方法。
- 前記TFTアレイは、付加容量(Cs)を共通ラインに接続するCs on Com型TFTアレイであり、
TFT基板が備える複数のゲートラインを所定のゲートラインで2つのゲートライン群に分け、TFTのゲートをオンとするパルス信号を各ゲートライン群のそれぞれに対して前記不均等な時間周期で同期して印加することを特徴とする、請求項2に記載のTFT基板の検査方法。 - 前記TFTアレイは、付加容量(Cs)をゲートラインに接続するCs on Gate型TFTアレイであり、
TFT基板が備える複数のゲートラインを所定のゲートラインで2つのゲートライン群に分け、TFTのゲートをオンとするパルス信号を各ゲートライン群のそれぞれに対して前記不均等な時間周期で、かつ非同期で印加することを特徴とする、請求項2に記載のTFT基板の検査方法。 - TFT基板のTFTアレイに対して電圧を印加し、当該電圧印加による電圧状態を検出することによりTFTアレイの欠陥を検査するTFT基板の検査装置であって、
TFT基板に電子線を照射する電子線源と、
TFT基板から放出される二次電子を検出する検出器と、
TFT基板のTFTアレイに検査信号を生成し印加する検査信号生成部と、
前記検出器の検出信号に基づいてTFTアレイの欠陥を検出する欠陥検出部とを備え、
前記検査信号生成部は、TFTアレイの1ゲート周期内において、ゲートラインに印加するTFTのゲートのオンパルス信号の時間周期を不均等とし、画素電極をプラス電位に保持する第1の期間と、画素電極をマイナス電位に保持する第2の期間の時間比率を不均等とすることを特徴とする、TFT基板の検査装置。
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