JP4852477B2 - 薄膜形成装置および薄膜形成方法 - Google Patents
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Description
加重手段は移動ユニットを第1プレートに向けて移動させてフィルム保持機構に保持されたシートフィルムに対して第2プレートを突き当ててシートフィルムに張力を発生させるとともにフィルム保持機構と係合部材とを互いに係合させ、該係合により移動方向におけるフィルム保持機構に対する第2プレートの相対位置が固定されることを特徴としている。
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば上記実施形態では、第2プレート5を第1プレート4の下方に配置し、第2プレート5の上面5aを第1プレート4に対向させているが、第2プレート5を第1プレート4の上方に配置し、第2プレート5の下面を第1プレート4に対向させてもよい。
4a…(第1プレートの)下面(装着面)
5…第2プレート
13…下ベース部材(基台)
14…加重モータ(加重手段)
15…突き上げピン(係合部材)
20…昇降ユニット(移動ユニット)
153…段差面(係合部位)
D…(移動方向における係合部位の第2プレートに対する)相対距離
DH…下側挟持部(フィルム保持機構)
F…シートフィルム
L…(基台から係合部位までの移動方向における)長さ
UH…上側挟持部(フィルム保持機構)
W…基板
Z…移動方向
Claims (6)
- シートフィルムの薄膜形成面に形成された薄膜を基板に転写する転写処理を実行する薄膜形成装置において、
前記シートフィルムを保持するフィルム保持機構と、
前記フィルム保持機構に保持された前記シートフィルム上の前記薄膜に対向する装着面を有し、該装着面に前記基板が装着される第1プレートと、
前記シートフィルムの両主面のうち前記薄膜形成面に対して反対の非薄膜形成面側に前記第1プレートに対向して配設された第2プレートを有し、所定の移動方向に沿って前記第1プレートに対して移動自在に設けられた移動ユニットと、
前記移動ユニットを前記第1プレートに向けて前記移動方向に沿って移動させることによって、前記フィルム保持機構により保持された前記シートフィルムを前記第2プレートに装着するとともに該シートフィルム上の前記薄膜を前記第1プレートに装着された前記基板に押し付けて加重し前記転写処理を実行する加重手段と
を備え、
前記移動ユニットは、前記第2プレートを固定支持する基台と、前記フィルム保持機構に向けて前記基台に突設されるとともに前記フィルム保持機構に係合可能に構成された係合部材とをさらに有し、
前記加重手段は前記移動ユニットを前記第1プレートに向けて移動させて前記フィルム保持機構に保持された前記シートフィルムに対して前記第2プレートを突き当てて前記シートフィルムに張力を発生させるとともに前記フィルム保持機構と前記係合部材とを互いに係合させ、該係合により前記移動方向における前記フィルム保持機構に対する前記第2プレートの相対位置が固定される
ことを特徴とする薄膜形成装置。 - 前記フィルム保持機構は前記移動方向に沿って移動自在に設けられ、
前記加重手段は前記移動ユニットを移動させることで、互いに係合した前記フィルム保持機構と前記係合部材とを一体的に前記移動方向に沿って移動させて前記転写処理を実行する請求項1記載の薄膜形成装置。 - 前記フィルム保持機構は前記移動方向に直交する方向に移動するのを規制されながら前記移動方向に沿って前記移動ユニットに対して移動自在に支持される請求項1または2記載の薄膜形成装置。
- 前記係合部材は前記フィルム保持機構と係合する係合部位を有し、該係合部位の前記第2プレートに対する前記移動方向における相対距離が調整可能となっており、
前記相対距離が調整されることで、前記係合部材に係合した前記フィルム保持機構に対する前記第2プレートの前記移動方向における相対位置が変更される請求項1ないし3のいずれかに記載の薄膜形成装置。 - 前記係合部材はその先端側に前記係合部位を有し、
前記基台から前記係合部位までの前記移動方向における長さが調整されることで、前記相対距離が調整される請求項4記載の薄膜形成装置。 - 薄膜が薄膜形成面に形成されたシートフィルムをフィルム保持機構により保持するフィルム保持工程と、
前記シートフィルム上の前記薄膜に対向するように基板を第1プレートに装着する基板装着工程と、
前記シートフィルムの両主面のうち前記薄膜形成面に対して反対の非薄膜形成面側に前記第1プレートに対向して配設された第2プレートを有し、所定の移動方向に沿って前記第1プレートに対して移動自在に設けられた移動ユニットを、前記移動方向に沿って移動させることで前記フィルム保持機構により保持された前記シートフィルムを前記第2プレートに装着するとともに前記第1プレートに装着された前記基板に対して前記シートフィルム上の前記薄膜を押し付けて前記薄膜を前記基板に転写する転写工程と
を備え、
前記移動ユニットは、前記移動方向において前記第2プレートと一体的に移動するとともに前記フィルム保持機構に係合可能に構成された係合部材をさらに有し、
前記転写工程では、前記移動ユニットを前記第1プレートに向けて移動させることによって、前記フィルム保持機構に保持された前記シートフィルムに対して前記第2プレートを突き当てて前記シートフィルムに張力を発生させるとともに前記フィルム保持機構と前記係合部材とを互いに係合させ、該係合により前記移動方向における前記フィルム保持機構に対する前記第2プレートの相対位置を固定することを特徴とする薄膜形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007143619A JP4852477B2 (ja) | 2007-05-30 | 2007-05-30 | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007143619A JP4852477B2 (ja) | 2007-05-30 | 2007-05-30 | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008300534A JP2008300534A (ja) | 2008-12-11 |
JP4852477B2 true JP4852477B2 (ja) | 2012-01-11 |
Family
ID=40173779
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007143619A Expired - Fee Related JP4852477B2 (ja) | 2007-05-30 | 2007-05-30 | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4852477B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4852476B2 (ja) * | 2007-05-30 | 2012-01-11 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 |
JP5315081B2 (ja) * | 2009-02-16 | 2013-10-16 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 薄膜形成装置 |
JP5143108B2 (ja) * | 2009-11-04 | 2013-02-13 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 薄膜転写装置および薄膜転写方法 |
TWI743726B (zh) * | 2019-04-15 | 2021-10-21 | 日商新川股份有限公司 | 封裝裝置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3425852B2 (ja) * | 1997-07-02 | 2003-07-14 | 日本電信電話株式会社 | 薄膜形成方法および薄膜形成装置 |
JPH10247643A (ja) * | 1997-03-04 | 1998-09-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 |
JP3359544B2 (ja) * | 1996-08-22 | 2002-12-24 | 日本電信電話株式会社 | 薄膜形成装置 |
JP3469147B2 (ja) * | 1999-11-10 | 2003-11-25 | 日本電信電話株式会社 | 薄膜形成装置 |
JP3588292B2 (ja) * | 1999-11-10 | 2004-11-10 | 日本電信電話株式会社 | 薄膜形成装置 |
JP3599650B2 (ja) * | 2000-08-15 | 2004-12-08 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
JP2003100727A (ja) * | 2001-09-20 | 2003-04-04 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | シートフィルム保持機構、カセット、搬送機構、薄膜形成装置ならびにシートフィルム搬送方法 |
JP3976546B2 (ja) * | 2001-10-31 | 2007-09-19 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 薄膜形成装置 |
JP3839772B2 (ja) * | 2002-12-02 | 2006-11-01 | 日本電信電話株式会社 | 薄膜形成装置 |
JP2008300414A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 |
JP4852476B2 (ja) * | 2007-05-30 | 2012-01-11 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 |
-
2007
- 2007-05-30 JP JP2007143619A patent/JP4852477B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008300534A (ja) | 2008-12-11 |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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