JP4851948B2 - Resin supply mechanism - Google Patents

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Description

本発明は、半導体チップ等を搭載した基板を樹脂にて圧縮封止する樹脂封止装置の技術分野に関する。   The present invention relates to a technical field of a resin sealing device that compresses and seals a substrate on which a semiconductor chip or the like is mounted with resin.

近年、半導体チップ等の製品を樹脂にて封止する装置として、いわゆる圧縮型の樹脂封止装置に対する需要が高まっている。このような圧縮型の樹脂封止装置として、図４にて示した樹脂封止装置１が公知である（特許文献１参照）。樹脂封止装置１は、上型２と下型４とから構成されている。又、この下型４にはプレス（図示しない）が連結されており、所定のタイミングで下型４を上型２に対して接近、離反することが可能とされている。下型４は、貫通孔５を備えた枠状金型４Ｂと当該貫通孔５に嵌合して配置される圧縮金型４Ａとを有した構成とされ、下型４の対向面（上型２側表面）の一部に形成されるキャビティ４０において被成形品６０を樹脂８０にて圧縮封止する。   In recent years, as a device for sealing a product such as a semiconductor chip with a resin, a demand for a so-called compression type resin sealing device is increasing. As such a compression type resin sealing device, the resin sealing device 1 shown in FIG. 4 is known (see Patent Document 1). The resin sealing device 1 includes an upper mold 2 and a lower mold 4. In addition, a press (not shown) is connected to the lower mold 4 so that the lower mold 4 can be moved toward and away from the upper mold 2 at a predetermined timing. The lower mold 4 is configured to include a frame-shaped mold 4B having a through hole 5 and a compression mold 4A that is fitted and disposed in the through hole 5. The molded product 60 is compression-sealed with a resin 80 in a cavity 40 formed in a part of the surface on the second side.

このような圧縮型の樹脂封止装置においては、一旦粉状若しくは粒状の樹脂をキャビティの形状に合わせてプレ成形（打錠）した上でキャビティへと供給する手法を採ることがある。これは、予めキャビティの形状に合った形状とすることで圧縮時の樹脂の流動を最小限に抑える目的がある。又、樹脂が粉状や粒状のままでは熱が内部まで伝達され難い場合や伝達むらが生じる場合があるが、プレ成形を行うことで熱の伝達を均一化し、樹脂封止時において全体として素早く樹脂を溶融させることが可能となるからである。   In such a compression-type resin sealing device, there is a case where a powdery or granular resin is once pre-molded (tablet) according to the shape of the cavity and then supplied to the cavity. This has the purpose of minimizing the flow of resin during compression by making the shape suitable for the shape of the cavity in advance. In addition, if the resin is in powder or granular form, heat may not be transferred to the inside or there may be uneven transmission, but pre-molding makes the heat transfer uniform, and the entire resin can be quickly and quickly sealed. This is because the resin can be melted.

このようなプレ成形を行う装置が特許文献２に示されている。この特許文献２に示される装置を概略的に図５に示すと共に、構成及び作用について間単に説明する。   An apparatus for performing such pre-molding is disclosed in Patent Document 2. The apparatus shown in Patent Document 2 is schematically shown in FIG. 5, and the configuration and operation will be briefly described.

プレ成形部２００は、樹脂供給機構１００から供給された樹脂３００を、樹脂封止装置（図示しない）のキャビティの形状に合わせて予め成形（プレ成形）することを目的としている。プレ成形部２００は、ヒータ（図示しない）が備わった打錠プレス２０２と、当該打錠プレス２０２に隣接して配置される冷却部２０４とから構成される。又、第１ローラ２０８Ａ、第２ローラ２０８Ｂ及び駆動ローラ２１０にはフィルム２０６が係合している。この駆動ローラ２１０は、自身が水平方向（図５において左右方向）に移動して、開いた状態の打錠プレス２０２と冷却部２０４の間に進入することが可能とされている。   The pre-molding unit 200 is intended to pre-mold (pre-mold) the resin 300 supplied from the resin supply mechanism 100 in accordance with the shape of the cavity of a resin sealing device (not shown). The pre-molding unit 200 includes a tableting press 202 provided with a heater (not shown), and a cooling unit 204 disposed adjacent to the tableting press 202. The film 206 is engaged with the first roller 208A, the second roller 208B, and the driving roller 210. The drive roller 210 can move in the horizontal direction (left-right direction in FIG. 5) and enter between the tableting press 202 and the cooling unit 204 in an open state.

図５（Ａ）に示すように、樹脂供給機構１００からシュータ１１２を介して樹脂３００がフィルム２０６上に供給される。この最初にフィルム２０６上に供給された樹脂３００を説明のため第１の樹脂３００Ａとする。その後、駆動ローラ２１０がプレ成形部２００側（図５において右側）に移動する。これにより、図５（Ｂ）に示すように、第１の樹脂３００Ａが、打錠プレス２０２の位置にまで移動し、打錠プレス２０２により所定の形状（例えば、樹脂封止装置のキャビティの形状と相似する板状）へとプレ成形される。又、この間に、樹脂供給機構１００から別の樹脂３００がフィルム２０６上に供給される。ここで供給された樹脂３００を第２の樹脂３００Ｂとする。   As shown in FIG. 5A, the resin 300 is supplied onto the film 206 from the resin supply mechanism 100 via the shooter 112. The resin 300 first supplied onto the film 206 is referred to as a first resin 300A for explanation. Thereafter, the drive roller 210 moves to the pre-molding unit 200 side (right side in FIG. 5). As a result, as shown in FIG. 5B, the first resin 300A moves to the position of the tableting press 202, and the tableting press 202 forms a predetermined shape (for example, the shape of the cavity of the resin sealing device). Is pre-molded into a plate-like shape). During this time, another resin 300 is supplied from the resin supply mechanism 100 onto the film 206. The resin 300 supplied here is referred to as a second resin 300B.

その後は図５（Ｃ）〜（Ｆ）に示すように、第１、第２の樹脂３００Ａ、３００Ｂが順次プレ成形、冷却された後、搬送機構によって運び出される。その後は図５（Ａ）に戻り、同様の作用が繰り返される。なお、搬送機構によって運び出されたプレ成形された樹脂は、樹脂封止装置への投入に先立って再度確認のため計量（プレ成形後計量）された後、投入される。   Thereafter, as shown in FIGS. 5C to 5F, the first and second resins 300A and 300B are sequentially pre-molded and cooled, and then carried out by the transport mechanism. Thereafter, returning to FIG. 5A, the same operation is repeated. Note that the pre-molded resin carried out by the transport mechanism is weighed for confirmation (weighing after pre-molding) again before being put into the resin sealing device, and then thrown in.

特開２００５−２１９２９７号公報JP 2005-219297 A 特開２００６−１４２６７４号公報JP 2006-142673 A

圧縮成形においては、被成形品と共に金型内に予め計量した樹脂を投入し圧縮して封止するという性質上、成形品の精度（特に厚みの精度）は投入する樹脂の量によって変動することになる。そのため、投入される樹脂の量はできるだけ精度良く計量されて金型内へと投入されることが必要となる。特に、所定量を超えた樹脂が供給されると、樹脂封止装置における封止の際に、金型から樹脂が溢れ出し、その溢れ出た樹脂を清掃する必要が生じる場合がある。即ちこのことは、樹脂封止装置の稼動を一旦中止させ、当該溢れ出た樹脂の清掃が必要であることを意味している。その結果、樹脂封止装置の生産効率を低下させることになっていた。   In compression molding, the accuracy (particularly thickness accuracy) of a molded product varies depending on the amount of resin to be injected due to the property that a pre-weighed resin is introduced into a mold together with the product to be molded and compressed and sealed. become. For this reason, it is necessary that the amount of resin to be introduced is measured as accurately as possible and then introduced into the mold. In particular, when a resin exceeding a predetermined amount is supplied, the resin may overflow from the mold during sealing in the resin sealing device, and the overflowed resin may need to be cleaned. That is, this means that the operation of the resin sealing device is temporarily stopped and the overflowed resin needs to be cleaned. As a result, the production efficiency of the resin sealing device has been reduced.

本発明は、これらの問題点を解決するべくなされたものであって、プレ成形がなされる前の段階で、樹脂封止に必要とされる所定量を超えた樹脂が供給されることを予め回避することをその課題としている。   The present invention has been made in order to solve these problems, and it is preliminarily described that a resin exceeding a predetermined amount required for resin sealing is supplied in a stage before pre-molding is performed. The challenge is to avoid it.

本発明は、樹脂封止用金型内に投入するために粉状又は粒状の樹脂を予め板状に成形するプレ成形部に対して、所定量の前記粉状又は粒状の樹脂を供給する樹脂供給機構であって、前記樹脂を計量可能な計量部と、該計量部により計量された所定量の前記樹脂を一時的に保持可能な保持部と、を備え、該保持部に所定量を超える樹脂が保持された場合に、保持する前記樹脂を破棄する破棄手段を設けることで、上記課題を解決するものである。   The present invention provides a resin for supplying a predetermined amount of the powdery or granular resin to a pre-molded part for previously molding the powdery or granular resin into a plate shape for injection into a resin sealing mold A supply mechanism, comprising: a measuring unit capable of measuring the resin; and a holding unit capable of temporarily holding a predetermined amount of the resin measured by the measuring unit, wherein the holding unit exceeds a predetermined amount By providing a discarding unit that discards the resin to be held when the resin is held, the above-described problem is solved.

このような構成を採用することで、プレ成形がなされる前の段階で、所定量を超える樹脂の供給がなされることを予め防止することが可能となっている。   By adopting such a configuration, it is possible to prevent in advance the supply of a resin exceeding a predetermined amount before the pre-molding.

この段階（プレ成形がなされる前の段階）で所定量を超える樹脂の供給を予め防止することには以下のように２つの点で大きなメリットを有している。   Preventing the supply of a resin exceeding a predetermined amount in this stage (the stage before pre-molding) has a great merit in the following two points.

１つは樹脂が所定量を超えて供給されたことに起因する、プレ形成全体更には樹脂封止装置全体でのサイクルタイムの増大を最小限に抑えることが可能な点である。即ち、プレ成形がされた後に、当該プレ成形された樹脂（以下「プレ成形体」という。）の重量等を計測（プレ成形後計量）することにより、所定量を超えた樹脂の供給（樹脂封止装置への供給）を断つことも可能である。しかしこの段階に至るまでには、不可避的に粉状又は粒状の樹脂が計量される時間に加えて、計量された樹脂がプレ成形部へと搬送される時間、打錠プレスによって板状に成形される時間及び冷却部により冷却されるまでの時間を要するため、これらの工程に要した時間を含めて破棄されることとなる。本発明では、計量部によって計量された直後に所定量を超えた樹脂を破棄することが可能なため、仮に樹脂の破棄が行われた場合でも、計量された樹脂がプレ成形部へと搬送される時間、打錠プレスによって板状に成形される時間及び冷却部により冷却されるまでの時間を無駄にすることは無い。その結果、プレ形成全体更には樹脂封止装置全体でのサイクルタイムの増大を最小限に抑えることが可能とされている。   One is that it is possible to minimize an increase in cycle time in the entire pre-formation and the entire resin-sealing apparatus due to the resin being supplied in excess of a predetermined amount. That is, after the pre-molding, the weight of the pre-molded resin (hereinafter referred to as “pre-molded body”) is measured (measured after pre-molding), thereby supplying a resin exceeding a predetermined amount (resin It is also possible to cut off the supply to the sealing device. However, by the time this stage is reached, in addition to the time when powdered or granular resin is inevitably weighed, the time when the weighed resin is transported to the pre-molding part is molded into a plate by a tableting press. It takes time to cool down by the cooling unit and the time required for these steps, and therefore, it is discarded including the time required for these steps. In the present invention, since it is possible to discard the resin exceeding a predetermined amount immediately after being measured by the measuring unit, even if the resin is discarded, the measured resin is conveyed to the pre-molding unit. No time is wasted, time for forming into a plate shape by a tableting press, and time for cooling by the cooling unit. As a result, it is possible to minimize an increase in cycle time in the entire pre-formation and the entire resin sealing device.

２つ目は、未だ粉状又は粒状の樹脂がプレ成形される前の段階で破棄可能としているため（ラインから外しているため）、当該破棄された樹脂の再利用の余地を残している点にある。半導体チップ等が搭載された基板を樹脂封止するために利用される樹脂（熱硬化性樹脂）には、樹脂の種類等に応じた特有のポットライフが存在し、このポットライフを経過した樹脂はもはや樹脂封止に使用することは不可能となる。そのため、このポットライフを十分残した範囲内で再利用すべき樹脂のラインへの復帰を完了させる必要がある。本発明のように、プレ成形の前の段階であって、計量直後の段階で樹脂を破棄する（一旦ラインから外す）ことで、当該ポットライフが闇雲に経過することを防止している。更に、プレ成形されていないため、破棄した樹脂を再度粉状又は粒状のままで計量した上で再供給することができるため、樹脂封止のための樹脂の「所定量」が変化した場合であっても、十分に対応することが可能である。   The second point is that the powdery or granular resin can still be discarded before it is pre-molded (because it has been removed from the line), leaving room for reuse of the discarded resin. It is in. Resin (thermosetting resin) used for resin-sealing a substrate on which a semiconductor chip or the like is mounted has a unique pot life depending on the type of resin, and the resin that has passed this pot life. Can no longer be used for resin sealing. Therefore, it is necessary to complete the return to the resin line to be reused within a range in which the pot life is sufficiently left. As in the present invention, the pot life is prevented from passing through the dark clouds by discarding the resin (it is once removed from the line) at a stage before pre-molding and immediately after weighing. Furthermore, because it is not pre-molded, the discarded resin can be measured again in powder or granular form and then re-supplied, so when the “predetermined amount” of resin for resin sealing changes Even if it is, it is possible to cope with it sufficiently.

又、前記保持部として、複数の容器と該複数の容器の位置を相互に変換可能な位置変換機構を備えた構成としてもよい。   The holding unit may include a plurality of containers and a position conversion mechanism that can convert the positions of the plurality of containers to each other.

樹脂封止装置において求められる精度（樹脂量の精度）を維持するためには、不可避的にある程度の計量時間が必要となる。即ち、上記で説明したプレ成形の工程において、第１の樹脂３００Ａがフィルム上に供給されてから、第２の樹脂３００Ｂの供給が完了するまでの間には、ある程度の時間を要することとなる。この第２の樹脂３００Ｂの供給は、第１の樹脂３００Ａが打錠プレス２０２によって成形されている間を利用して供給されるため、成形の完了よりも樹脂供給の完了の方が早ければ問題は生じない。しかしながら、要求される精度を維持するためには必ずしも打錠プレス２０２による成形時間内に供給が完了するとは限らず、又、計量ミスにより、再度計量し直す必要が生じる場合もある。そのような場合には、計量部からの樹脂供給がボトルネックとなり、プレ成形のサイクルタイムが事実上支配されてしまう。プレ成形のサイクルタイムが長いということは、プレ成形された樹脂を使って封止を行う樹脂封止装置のサイクルタイムが事実上制限を受けることにも繋がり、樹脂封止装置の生産効率をも低下させてしまう。一方、プレ成形を行う装置自体を複数台用意することで対処しようとすれば、その分コストも掛かり、装置を設置する為の場所の確保が必要ともなり、設置自由度が阻害されてしまう。   In order to maintain the accuracy (resin amount accuracy) required in the resin sealing device, a certain amount of measurement time is inevitably required. That is, in the pre-molding process described above, a certain amount of time is required from the supply of the first resin 300A onto the film until the supply of the second resin 300B is completed. . Since the second resin 300B is supplied while the first resin 300A is being molded by the tablet press 202, there is a problem if the resin supply is completed earlier than the molding is completed. Does not occur. However, in order to maintain the required accuracy, the supply is not necessarily completed within the molding time by the tableting press 202, and it may be necessary to measure again due to a measurement error. In such a case, the resin supply from the measuring unit becomes a bottleneck, and the pre-molding cycle time is effectively controlled. The long cycle time of pre-molding leads to the fact that the cycle time of the resin sealing device that performs sealing using pre-molded resin is practically limited, and also increases the production efficiency of the resin sealing device. It will decrease. On the other hand, if an attempt is made to cope by preparing a plurality of pre-molding apparatuses themselves, the cost is increased accordingly, and it is necessary to secure a place for installing the apparatus, which impedes the degree of freedom of installation.

しかしながら、保持部を、複数の容器と該複数の容器の位置を相互に変換可能な位置変換機構を備えた構成とすれば、１つの容器に所定量の樹脂供給が完了したら直ぐに他の容器に対して所定量の樹脂供給を開始することができ、樹脂供給のための待ち時間の短縮を図ることができる。更に、予め当該複数の容器の全てに所定量の樹脂を供給しておけば、プレ成形のサイクルが進行する過程で、計量ミス等により樹脂を破棄する必要性が生じた場合においても、前記計量部による再計量が行われるまでの時間を待つ必要性を低減させることができる。   However, if the holding portion is configured to include a plurality of containers and a position conversion mechanism that can convert the positions of the plurality of containers to each other, as soon as a predetermined amount of resin has been supplied to one container, On the other hand, a predetermined amount of resin can be supplied, and the waiting time for resin supply can be shortened. Furthermore, if a predetermined amount of resin is supplied to all of the plurality of containers in advance, even if it is necessary to discard the resin due to a measurement error or the like in the course of the pre-molding cycle, the measurement is performed. It is possible to reduce the necessity of waiting for a time until re-weighing by the unit is performed.

又、前記破棄手段により破棄された前記樹脂が、再利用されるように構成すれば、樹脂の無駄を省き、樹脂コストの低減を図ることが可能となる。   Further, if the resin discarded by the discarding unit is configured to be reused, it is possible to reduce the waste of the resin and reduce the resin cost.

なお、本発明における樹脂の「所定量」とは、許容される誤差を含んだ概念である。即ち、保持部に保持される樹脂が、許容される誤差範囲を超えていた場合に、破棄されることとなる。   In the present invention, the “predetermined amount” of the resin is a concept including an allowable error. That is, when the resin held in the holding part exceeds the allowable error range, it is discarded.

本発明を適用することにより、プレ成形更には樹脂封止装置全体としてのサイクルタイムを短縮することができる。   By applying the present invention, it is possible to shorten the cycle time of the entire pre-molding and resin sealing device.

最初に、図１を参照しつつ、本発明の実施形態の一例である樹脂供給機構１０１の構成を説明する。図１は、本発明の実施形態の一例を示す樹脂供給機構１０１の概略構成図である。   First, the configuration of a resin supply mechanism 101 that is an example of an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a resin supply mechanism 101 showing an example of an embodiment of the present invention.

樹脂供給機構１０１は、粉状又は粒状の樹脂３００を計量可能な計量部１０２と、該計量部１０２により計量された所定量の樹脂３００を受け取って一時的に保持可能な保持部１１０と、保持部１１０に保持されている所定量の樹脂３００を次段に位置するフィルム２０６へと導くシュータ１１２と、保持部１００に所定量を超える樹脂が保持された場合に、保持する樹脂３００を破棄容器１２４へと破棄する破棄手段１３０を有して構成されている。   The resin supply mechanism 101 includes a measuring unit 102 capable of measuring a powdery or granular resin 300, a holding unit 110 capable of receiving and temporarily holding a predetermined amount of resin 300 measured by the measuring unit 102, and holding A shooter 112 that guides a predetermined amount of resin 300 held in the portion 110 to the film 206 positioned in the next stage, and when the holding portion 100 holds a resin exceeding a predetermined amount, the resin 300 to be held is discarded It has a discarding means 130 for discarding it to 124.

計量部１０２は、樹脂３００が投入されるホッパ１０３と樹脂３００の出口となるフィーダ１０４を有している。又、図示はしないが、当該計量部１０２には振動子が設けられ、当該振動子の振動を調整することによって、ホッパ１０３内の樹脂３００をフィーダ１０４を介して供給している。又、当該計量部１０２は図示せぬ電子天秤上に配置されており、当該電子天秤により計量部１０２全体の重量を計測可能とされている。即ち、樹脂３００が供給されることにより、当該電子天秤の計量値が減少するような構成とされている。又、振動子と電子天秤とは図示せぬ演算装置に接続され、電子天秤の計量結果に基づいて振動子の振動をコントロール可能とされている。   The weighing unit 102 includes a hopper 103 into which the resin 300 is charged and a feeder 104 that serves as an outlet of the resin 300. Although not shown, the weighing unit 102 is provided with a vibrator, and the resin 300 in the hopper 103 is supplied via the feeder 104 by adjusting the vibration of the vibrator. The weighing unit 102 is arranged on an electronic balance (not shown), and the weight of the entire weighing unit 102 can be measured by the electronic balance. That is, the measurement value of the electronic balance is reduced by supplying the resin 300. Further, the vibrator and the electronic balance are connected to an arithmetic unit (not shown), and the vibration of the vibrator can be controlled based on the measurement result of the electronic balance.

保持部１１０は２つの容器（第１容器１２０、第２容器１２２）と当該２つの容器１２０、１２２を支持しつつ、軸心Ｏを中心に回転可能な位置変換機構１１６とを有して構成されている。即ち、２つの容器１２０、１２２の位置を相互に変換可能な構成とされている。又、位置変換機構１１６による第１、第２容器１２０、１２２の支持は、所定のタイミングで容器自身が上下反転することで容器内の樹脂３００をシュータ１１２又は破棄容器１２４内へと投入可能な状態で支持されている。この他にも、第１、第２容器１２０、１２２の底部が開口することで樹脂３００をシュータ１１２に投入可能な構成を採用してもよい。このような構成とすれば、より確実に樹脂３００をシュータ１１２に投入することができる。なお、本実施形態では、容器が２つの構成とされているが、必要により３つ以上の構成としてもよい。   The holding unit 110 includes two containers (a first container 120 and a second container 122) and a position conversion mechanism 116 that supports the two containers 120 and 122 and can rotate around the axis O. Has been. That is, the positions of the two containers 120 and 122 can be converted to each other. Further, the first and second containers 120 and 122 are supported by the position conversion mechanism 116 so that the resin 300 in the container can be turned upside down at a predetermined timing so that the resin 300 in the container can be put into the shooter 112 or the disposal container 124. Supported by the state. In addition, a configuration in which the resin 300 can be poured into the shooter 112 by opening the bottoms of the first and second containers 120 and 122 may be employed. With such a configuration, the resin 300 can be charged into the shooter 112 more reliably. In addition, in this embodiment, although the container is set as two structures, it is good also as three or more structures as needed.

シュータ１１２は、保持部１１０から供給される樹脂３００を次段であるフィルム２０６上に導く機能を果たしている。このシュータ１１２の形状（例えば、鉛直方向と直交する方向の断面形状）は種々考えられる。例えば、プレ成形の形状（即ち樹脂封止金型の形状）と相似な形状としておけば、供給された樹脂が予め当該形状に沿って供給されるため、プレ成形時の樹脂の溶融を容易とし、更に樹脂流れを抑えることができるため、プレ成形に要する時間を短縮させることが可能である。また、シュータ１１２内に樹脂３００を拡散させる機構を設け、樹脂３００の拡散を積極的に図るような構成を採用することも可能である。   The shooter 112 has a function of guiding the resin 300 supplied from the holding unit 110 onto the film 206 as the next stage. Various shapes of the shooter 112 (for example, a cross-sectional shape in a direction orthogonal to the vertical direction) are conceivable. For example, if the shape is similar to the shape of the pre-molding (that is, the shape of the resin-sealed mold), the supplied resin is supplied in advance along the shape, so that the resin can be easily melted during the pre-molding. Further, since the resin flow can be further suppressed, the time required for the pre-molding can be shortened. It is also possible to employ a configuration in which a mechanism for diffusing the resin 300 is provided in the shooter 112 and the resin 300 is actively diffused.

破棄容器１２４は、第１、第２容器１２０、１２２に保持された樹脂３００が、所定量（例えば樹脂封止のための必要量）を超えた場合に、保持されている樹脂３００が破棄される容器である。当該破棄容器１２４への破棄も、第１、第２容器１２０、１２２が上下に回転することで破棄される。なお、本実施形態においては、当該破棄容器１２４及び保持部１１０が破棄手段１３０として機能する。又、破棄容器１２４に破棄された樹脂３００を再度ホッパ１０３内へと戻すことにより、樹脂３００を再利用するような構成を採用してもよい。そのように構成すれば、樹脂３００の無駄を省き、樹脂コストの低減を図ることが可能となる。   The discard container 124 discards the retained resin 300 when the resin 300 retained in the first and second containers 120 and 122 exceeds a predetermined amount (for example, a necessary amount for resin sealing). Container. The discard to the discard container 124 is also discarded by the first and second containers 120 and 122 rotating up and down. In the present embodiment, the discard container 124 and the holding unit 110 function as the discard unit 130. Further, a configuration may be adopted in which the resin 300 is reused by returning the resin 300 discarded in the discarding container 124 back into the hopper 103 again. With such a configuration, it is possible to eliminate waste of the resin 300 and reduce the resin cost.

次に、図２を参照しつつ、プレ成形工程に沿って樹脂供給機構１０１の作用を説明する。図２は、プレ成形工程及び樹脂供給機構１０１によるプレ成形部２００への樹脂の供給過程を示した図である。   Next, the operation of the resin supply mechanism 101 will be described along the pre-molding process with reference to FIG. FIG. 2 is a diagram illustrating a pre-molding process and a resin supply process to the pre-molding unit 200 by the resin supply mechanism 101.

プレ成形部２００は、樹脂供給機構１０１から供給された樹脂３００を、樹脂封止装置（図示しない）のキャビティの形状に合わせて予め成形（プレ成形）することを目的としている。プレ成形部２００は、ヒータ（図示しない）が備わった打錠プレス２０２と、当該打錠プレス２０２に隣接して配置される冷却部２０４とから構成される。この打錠プレス２０２と冷却部２０４とは、それぞれ上下２つの型から構成されており、図示せぬプレス機構によって所定のタイミングで開閉可能とされている。又、打錠プレス２０２と冷却部２０４との下型の位置と略同じ高さの位置に第１支持ローラ２０８Ａが設けられている。又、打錠プレス２０２と冷却部２０４との上型の位置と略同じ高さの位置に第２支持ローラ２０８Ｂが設けられている。さらにこの第１支持ローラ２０８Ａ及び第２支持ローラ２０８Ｂは水平方向（図２において左右方向）に位置が異なるように配置されている。その上で、第１支持ローラ２０８Ａより上側且つ第２支持ローラ２０８Ｂより下側の位置に駆動ローラ２１０が設けられている。この駆動ローラ２１０は、自身が水平方向（図２において左右方向）に移動することが可能とされており、開いた状態の打錠プレス２０２と冷却部２０４の間に進入することが可能とされている。又、第１ローラ２０８Ａ、第２ローラ２０８Ｂ及び駆動ローラ２１０にはフィルム２０６が係合している。このフィルム２０６は、例えば、ポリプロピレンフイルムが使用される。このフィルム２０６は、プレ成形部２００に対する樹脂３００の搬送機構及び当該樹脂３００がプレ成形部２００に付着すること等を防止する機能を発揮する。   The pre-molding unit 200 is intended to pre-mold (pre-mold) the resin 300 supplied from the resin supply mechanism 101 in accordance with the shape of the cavity of a resin sealing device (not shown). The pre-molding unit 200 includes a tableting press 202 provided with a heater (not shown), and a cooling unit 204 disposed adjacent to the tableting press 202. Each of the tableting press 202 and the cooling unit 204 is composed of two upper and lower molds, and can be opened and closed at a predetermined timing by a press mechanism (not shown). Further, a first support roller 208A is provided at a position substantially the same as the position of the lower mold of the tableting press 202 and the cooling unit 204. A second support roller 208B is provided at a position substantially the same height as the upper mold position of the tableting press 202 and the cooling unit 204. Further, the first support roller 208A and the second support roller 208B are arranged so that their positions are different in the horizontal direction (left-right direction in FIG. 2). In addition, a drive roller 210 is provided at a position above the first support roller 208A and below the second support roller 208B. The drive roller 210 can move in the horizontal direction (left-right direction in FIG. 2), and can enter between the tableting press 202 and the cooling unit 204 in an open state. ing. The film 206 is engaged with the first roller 208A, the second roller 208B, and the driving roller 210. For the film 206, for example, a polypropylene film is used. The film 206 exhibits a function of preventing the resin 300 from adhering to the pre-molded portion 200 and the conveyance mechanism of the resin 300 with respect to the pre-molded portion 200.

最初に図２（Ａ）に示すように、樹脂３００がフィルム２０６上に供給される。このとき予め保持部１１０に備わる２つの容器１２０、１２２にはともに所定量の樹脂３００が供給されており、このうち第１容器１２０に保持されていた樹脂３００がフィルム２０６上に供給される。この最初にフィルム２０６上に供給された樹脂３００を区別のため第１の樹脂３００Ａとする。この第１の樹脂３００Ａの供給が終わると直ぐに位置変換機構１１６（図２においては図示していない）により、第１容器１２０と第２容器１２２との位置が相互に変換される。当該位置変換により、空いた第１容器１２０が計量部１０２（図２においては図示していない）から樹脂３００を受け取ることが可能な位置へと移動すると直ぐ、計量部１０２から所定量の樹脂３００の供給が開始される。同時に、駆動ローラ２１０がプレ成形部２００側（図２において右側）に移動する。   First, as shown in FIG. 2A, the resin 300 is supplied onto the film 206. At this time, a predetermined amount of the resin 300 is supplied to the two containers 120 and 122 provided in advance in the holding unit 110, and the resin 300 held in the first container 120 is supplied onto the film 206. The resin 300 first supplied on the film 206 is referred to as a first resin 300A for distinction. As soon as the supply of the first resin 300A is finished, the positions of the first container 120 and the second container 122 are mutually converted by the position conversion mechanism 116 (not shown in FIG. 2). As soon as the empty first container 120 moves to a position where the resin 300 can be received from the weighing unit 102 (not shown in FIG. 2) by the position conversion, a predetermined amount of the resin 300 is obtained from the weighing unit 102. Supply is started. At the same time, the drive roller 210 moves to the pre-molding unit 200 side (right side in FIG. 2).

これにより、図２（Ｂ）に示すように、フィルム２０６上に供給された第１の樹脂３００Ａが、打錠プレス２０２の位置にまで移動する。このとき第１の樹脂３００Ａは、フィルム２０６によって上下が包まれた状態で移動する。第１の樹脂３００Ａが打錠プレス２０２の位置まで運ばれると、打錠プレス２０２がプレス機構によって型閉じされ、目的とする形状（例えば、樹脂封止装置のキャビティの形状と相似する板状）へとプレ成形される。又、この間に、予め樹脂３００が保持されている第２容器１２２からシュータ１１２を介して別の樹脂３００がフィルム２０６上に供給される。この供給は第２容器１２２を上下に反転させるのみで完了するため、打錠プレス２０２による第１の樹脂３００Ａのプレ成形が完了するよりも早いタイミングで供給することが可能である。ここで供給された樹脂３００を第２の樹脂３００Ｂとする。   As a result, as shown in FIG. 2B, the first resin 300A supplied onto the film 206 moves to the position of the tableting press 202. At this time, the first resin 300 </ b> A moves in a state where the upper and lower sides are wrapped by the film 206. When the first resin 300A is conveyed to the position of the tableting press 202, the tableting press 202 is closed by the press mechanism and has a target shape (for example, a plate shape similar to the shape of the cavity of the resin sealing device). Pre-molded. During this time, another resin 300 is supplied onto the film 206 through the shooter 112 from the second container 122 in which the resin 300 is held in advance. Since this supply is completed only by inverting the second container 122 up and down, it is possible to supply at a timing earlier than the pre-molding of the first resin 300A by the tableting press 202 is completed. The resin 300 supplied here is referred to as a second resin 300B.

更に図２（Ｃ）に示すように、駆動ローラ２１０がプレ成形部２００側（図２において右側）に移動し、打錠プレス２０２によって成形された第１の樹脂３００Ａが冷却部２０４の位置へと移動する。同時に第２の樹脂３００Ｂが、打錠プレス２０２の位置にまで移動する。続いて第１の樹脂３００Ａは冷却部２０４によって必要な程度にまで冷却される。同時に、第２の樹脂３００Ｂは、打錠プレス２０２よって板状に形成される。又、この時点で、第１容器１２０に対しての樹脂３００の供給は完了している。第１容器１２０への樹脂３００の供給が完了すると直ぐ、位置変換機構１１６の作用により、２つの容器１２０、１２２の位置が相互に変換される。即ち、空いた第２容器１２２が、計量部１０２から樹脂３００を受け取ることが可能な位置へと変位する。更に変位と同時に第２容器１２２に対して所定量の樹脂３００の供給が開始される。   Further, as shown in FIG. 2C, the driving roller 210 moves to the pre-molding part 200 side (right side in FIG. 2), and the first resin 300A molded by the tableting press 202 moves to the position of the cooling part 204. And move. At the same time, the second resin 300B moves to the position of the tableting press 202. Subsequently, the first resin 300A is cooled to a necessary level by the cooling unit 204. At the same time, the second resin 300 </ b> B is formed into a plate shape by the tableting press 202. At this time, the supply of the resin 300 to the first container 120 is completed. As soon as the supply of the resin 300 to the first container 120 is completed, the positions of the two containers 120 and 122 are mutually converted by the action of the position conversion mechanism 116. That is, the empty second container 122 is displaced to a position where the resin 300 can be received from the measuring unit 102. Further, simultaneously with the displacement, supply of a predetermined amount of resin 300 to the second container 122 is started.

続いて図２（Ｄ）に示すように、駆動ローラ２１０が更にプレ成形部２００側（図２において右側）に移動し、打錠プレス２０２によって成形された第２の樹脂３００Ｂが冷却部２０４の位置へと移動する。同時に第１の樹脂３００Ａが、冷却部２０４の位置から外れた位置にまで移動する。続いて第２の樹脂３００Ｂが冷却部２０４によって必要な程度にまで冷却される。この時点で、第２容器１２２には所定量の樹脂３００の供給が完了している。   Subsequently, as shown in FIG. 2D, the driving roller 210 further moves to the pre-molding unit 200 side (right side in FIG. 2), and the second resin 300 </ b> B molded by the tableting press 202 is transferred to the cooling unit 204. Move to position. At the same time, the first resin 300 </ b> A moves to a position deviated from the position of the cooling unit 204. Subsequently, the second resin 300B is cooled to a necessary level by the cooling unit 204. At this time, the supply of the predetermined amount of resin 300 to the second container 122 is completed.

続いて図２（Ｅ）に示すように、第２の樹脂３００Ｂの冷却が終った段階で駆動ローラ２１０が第１支持ローラ２０８Ａ側（図２において左側）に戻る。最初に取出機構４００によって第１の樹脂３００Ａが運び出される。   Subsequently, as shown in FIG. 2E, when the cooling of the second resin 300B is completed, the driving roller 210 returns to the first support roller 208A side (left side in FIG. 2). First, the first resin 300A is carried out by the take-out mechanism 400.

続いて図２（Ｆ）に示すように、第２の樹脂３００Ｂが取出機構４００によって運び出されることとなる。これと同時に、次のプレ成形サイクルで利用する第１の樹脂３００Ｃがフィルム２０６上に供給さる。この時点では既に２つの容器１２０、１２２に対して所定量の樹脂３００の供給が完了しているため、第１容器１２０を上下に反転させることで即供給を完了できる。その後は図２（Ａ）に戻り、同様の作用が繰り返される。   Subsequently, as shown in FIG. 2F, the second resin 300 </ b> B is carried out by the take-out mechanism 400. At the same time, the first resin 300C used in the next pre-molding cycle is supplied onto the film 206. At this time, since the supply of the predetermined amount of the resin 300 to the two containers 120 and 122 has already been completed, the supply can be completed immediately by turning the first container 120 upside down. Thereafter, returning to FIG. 2A, the same action is repeated.

上記説明したプレ成形の工程においては、計量部１０２から保持部１１０（第１容器１２０、第２容器１２２）へと樹脂３００が計量された上で複数回受け渡されている。かかる受け渡しの際に、所定量を超えた樹脂３００が受け渡された場合には、当該樹脂３００を保持する保持部１００（第１容器１２０、第２容器１２２）が上下反転することにより、保持する樹脂３００を破棄容器１２４へと破棄し、直ちに計量部１０２から樹脂３００の再供給が成されることとなる。   In the pre-molding process described above, the resin 300 is weighed from the measuring unit 102 to the holding unit 110 (the first container 120 and the second container 122) and then delivered a plurality of times. When the resin 300 exceeding a predetermined amount is delivered during the delivery, the holding unit 100 (the first container 120 and the second container 122) holding the resin 300 is turned upside down to hold the resin 300. The resin 300 to be discarded is discarded into the discarding container 124, and the resin 300 is immediately resupplied from the measuring unit 102.

このように、プレ成形される前の段階で所定量を超えた樹脂３００を破棄することで、プレ形成全体更には樹脂封止装置全体でのサイクルタイムの増大を最小限に抑えることが可能となっている。即ち、プレ成形がされた後に、当該プレ成形された樹脂（以下「プレ成形体」という。）の重量等を計測することにより、所定量を超えた樹脂の供給（樹脂封止装置への供給）を断つことも可能である。しかしこの段階に至るまでには、不可避的に粉状又は粒状の樹脂が計量部１０２によって計量される時間に加えて、打錠プレス２０２によって板状に成形される時間及び冷却部２０４により冷却されるまでの時間を要するため、これらの工程に要した時間を含めて破棄されることとなる。本発明では、プレ成形が行われる前の段階で所定量を超えた樹脂３００を破棄するため、仮に樹脂３００の破棄が行われた場合でも、打錠プレス２０２によって板状に成形される時間及び冷却部２０４により冷却されるまでの時間を無駄にすることは無い。その結果、プレ形成全体更には樹脂封止装置全体でのサイクルタイムの増大を最小限に抑えることが可能とされている。   In this way, by discarding the resin 300 that exceeds a predetermined amount in the stage before pre-molding, it is possible to minimize the increase in cycle time in the entire pre-formation and also in the entire resin sealing device. It has become. That is, after the pre-molding, by measuring the weight of the pre-molded resin (hereinafter referred to as “pre-molded body”), the supply of resin exceeding a predetermined amount (supply to the resin sealing device) ). However, until this stage is reached, the powdered or granular resin is inevitably cooled by the cooling unit 204 in addition to the time during which the powdered or granular resin is metered by the metering unit 102 and the time when the tableting press 202 is formed into a plate shape. Since it takes time to complete the process, it is discarded including the time required for these steps. In the present invention, since the resin 300 exceeding a predetermined amount is discarded in the stage before pre-molding is performed, even if the resin 300 is discarded, the time for molding into a plate shape by the tableting press 202 and There is no waste of time until cooling by the cooling unit 204. As a result, it is possible to minimize an increase in cycle time in the entire pre-formation and the entire resin sealing device.

又、未だ粉状又は粒状の樹脂３００がプレ成形される前の段階であって計量部１０２による計量直後に破棄可能としているため（ラインから外しているため）、当該破棄された樹脂３００の再利用の余地を残している。半導体チップ等が搭載された基板を樹脂封止するために利用される樹脂（熱硬化性樹脂）３００には、樹脂の種類等に応じた特有のポットライフが存在し、このポットライフを経過した樹脂はもはや樹脂封止に使用することは不可能となる。そのため、このポットライフを十分残した範囲内で再利用すべき樹脂のラインへの復帰を完了させる必要がある。本発明のように、計量部１０２による計量直後で樹脂を破棄する（一旦ラインから外す）ことで、当該ポットライフが闇雲に経過することを防止している（仮にプレ成形直前で再度計量しその時点で破棄する場合と比較しても、計量された樹脂３００がプレ成形部２００手前まで搬送される時間が経過することを防止している）。更に、プレ成形されていないため、破棄した樹脂を再度粉状又は粒状のままで計量した上で再供給することができるため、樹脂封止のための樹脂３００の「所定量」が変化した場合であっても、十分に対応することが可能である。   In addition, since the powdery or granular resin 300 is still pre-molded and can be discarded immediately after weighing by the weighing unit 102 (because it is removed from the line), the discarded resin 300 can be reused. There is room for use. Resin (thermosetting resin) 300 used for resin-sealing a substrate on which a semiconductor chip or the like is mounted has a specific pot life depending on the type of resin, and this pot life has passed. The resin can no longer be used for resin sealing. Therefore, it is necessary to complete the return to the resin line to be reused within a range in which the pot life is sufficiently left. As in the present invention, the pot life is prevented from passing through the dark clouds by discarding the resin immediately after weighing by the weighing unit 102 (temporarily removing it from the line). Compared with the case of discarding at the time, the time for which the weighed resin 300 is conveyed to the front of the pre-molding unit 200 is prevented from elapses). In addition, since the pre-molded resin can be re-measured in a powdered or granular form after being discarded, the “predetermined amount” of the resin 300 for resin sealing has changed. Even so, it is possible to respond sufficiently.

又、本実施形態では、保持部１１０が、複数の容器（第１容器１２０、第２容器１２２）と該複数の容器の位置を相互に変換可能な位置変換機構１１６を備えた構成とされていた。このような構成を採用することで、１つの容器に空きが生じると直ぐに所定量の樹脂の供給を開始できるようになる。即ち、計量部１０２が停止している時間を減らすことができ、効率よく計量部１０２を利用することができる。その結果、プレ成形の工程において、樹脂供給が完了するまでの待ち時間が無くなり、プレ成形のサイクルタイムを全体として短くすることが可能となる。又、場合により待ち時間が無くならない場合においても待ち時間の短縮を確実に図ることができる。更に、プレ成形のサイクルタイムが、プレ成形された樹脂を使って封止を行う樹脂封止装置のサイクルタイムを事実上制限していた場合でも、当該樹脂供給機構１０１を用いることで、樹脂封止装置自体の生産効率を向上させることができる。又、この場合にプレ成形を行う装置自体を複数台用意する必要は無く、コスト上昇、設置自由度の阻害が生じることもない。   In the present embodiment, the holding unit 110 includes a plurality of containers (the first container 120 and the second container 122) and a position conversion mechanism 116 that can mutually convert the positions of the plurality of containers. It was. By adopting such a configuration, supply of a predetermined amount of resin can be started as soon as a single container is empty. That is, the time during which the weighing unit 102 is stopped can be reduced, and the weighing unit 102 can be used efficiently. As a result, in the pre-molding step, there is no waiting time until the resin supply is completed, and the pre-molding cycle time can be shortened as a whole. Further, even when the waiting time does not disappear depending on circumstances, the waiting time can be surely shortened. Furthermore, even when the pre-molding cycle time has practically limited the cycle time of the resin sealing device that performs sealing using the pre-molded resin, the resin supply mechanism 101 can be used to The production efficiency of the stopping device itself can be improved. Further, in this case, it is not necessary to prepare a plurality of pre-molding apparatuses themselves, and cost increase and installation freedom are not hindered.

又、保持部が上記のように複数ではなく、単一の容器（第１容器２２０）から構成される実施形態について、図３を参照しつつ説明する。なおその他の部分の構成及び作用は同一であるため、同一の符号を付するに留め重複した説明は省略する。   Further, an embodiment in which the holding portion is not a plurality as described above but is constituted by a single container (first container 220) will be described with reference to FIG. In addition, since the structure and effect | action of another part are the same, it attaches | subjects the same code | symbol and abbreviate | omits the overlapping description.

この実施形態においては、上述したとおり樹脂３００を一時的に保持可能な容器が第１容器２２０のみであるため、保持部更には破棄手段を簡易且つ低コストで実現することができる。しかしながら、第１容器２２０に所定量を超える樹脂３００が受け渡された場合には、破棄容器１２４に破棄すると同時に、計量部１０２による樹脂３００の供給を開始できるため、同様の効果を期待することができる。   In this embodiment, since the first container 220 is the only container that can temporarily hold the resin 300 as described above, the holding unit and the discarding unit can be realized easily and at low cost. However, when the resin 300 exceeding the predetermined amount is delivered to the first container 220, it is possible to start supplying the resin 300 by the measuring unit 102 at the same time that the resin 300 is discarded to the discarding container 124. Can do.

本発明は、プレ形成装置に対して樹脂を供給する樹脂供給機構として好適である。   The present invention is suitable as a resin supply mechanism that supplies resin to a pre-forming apparatus.

本発明の実施形態の一例を示す樹脂供給機構１０１の概略構成図The schematic block diagram of the resin supply mechanism 101 which shows an example of embodiment of this invention プレ成形工程及び保持部が複数の容器と該複数の容器の位置を相互に変換可能な位置変換機構を備えた樹脂供給機構１０１によるプレ成形部への樹脂の供給過程を示した図The figure which showed the pre-molding process and the supply process of the resin to the pre-molding part by the resin supply mechanism 101 provided with the position conversion mechanism in which the holding part can mutually convert the positions of the plurality of containers and the plurality of containers. プレ成形工程及び保持部が単一の容器からなる樹脂供給機構２０１によるプレ成形部への樹脂の供給過程を示した図The figure which showed the pre-molding process and the supply process of the resin to the pre-molding part by the resin supply mechanism 201 which a holding part consists of a single container. 特許文献１に記載される樹脂封止装置の概略構成図Schematic configuration diagram of resin sealing device described in Patent Document 1 特許文献２に記載されるプレ成形装置の概略構成図Schematic configuration diagram of a pre-molding apparatus described in Patent Document 2

符号の説明Explanation of symbols

１０１…樹脂供給機構
１０２…計量部
１０３…ホッパ
１０４…フィーダ
１１０…保持部
１１２…シュータ
１１６…位置変換機構
１２０…第１容器
１２２…第２容器
１２４…破棄容器
１３０…破棄手段
２００…プレ成形部
２０２…打錠プレス
２０４…冷却部
２０８Ａ…第１支持ローラ
２０８Ｂ…第２支持ローラ
２１０…駆動ローラ
３００…樹脂
４００…取出機構 DESCRIPTION OF SYMBOLS 101 ... Resin supply mechanism 102 ... Metering part 103 ... Hopper 104 ... Feeder 110 ... Holding part 112 ... Shooter 116 ... Position conversion mechanism 120 ... 1st container 122 ... 2nd container 124 ... Discarding container 130 ... Discarding means 200 ... Pre-molding part 202 ... Tableting press 204 ... Cooling unit 208A ... First support roller 208B ... Second support roller 210 ... Drive roller 300 ... Resin 400 ... Extraction mechanism

Claims (3)

樹脂封止用金型内に投入するために粉状又は粒状の樹脂を予め板状に成形するプレ成形部に対して、所定量の前記粉状又は粒状の樹脂を供給する樹脂供給機構であって、
前記樹脂を計量可能な計量部と、
該計量部により計量された所定量の前記樹脂を一時的に保持可能な保持部と、を備え、
該保持部に所定量を超える樹脂が保持された場合に、保持する前記樹脂を破棄する破棄手段を設けた
ことを特徴とする樹脂供給機構。 It is a resin supply mechanism that supplies a predetermined amount of the powdery or granular resin to a pre-molded part that is previously molded into a plate shape for pouring into the mold for resin sealing. And
A weighing unit capable of weighing the resin;
A holding part capable of temporarily holding a predetermined amount of the resin measured by the measuring part,
A resin supply mechanism, comprising: a discarding unit configured to discard the resin to be held when a resin exceeding a predetermined amount is held in the holding unit. 請求項１において、
前記保持部が、複数の容器と該複数の容器の位置を相互に変換可能な位置変換機構を備えた構成とされている
ことを特徴とする樹脂供給機構。 In claim 1,
The resin supply mechanism, wherein the holding portion is configured to include a plurality of containers and a position conversion mechanism capable of mutually converting the positions of the plurality of containers. 請求項１又は２において、
前記破棄手段により破棄された前記樹脂が、再利用される
ことを特徴とする樹脂供給機構。 In claim 1 or 2,
The resin supply mechanism, wherein the resin discarded by the discarding means is reused.
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