JP4851569B2 - 真空浸炭方法 - Google Patents
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Description
を満たすように前記浸炭ガスを間欠噴射し、前記浸炭ガス噴射時間及びガス噴射停止時間は前記被処理物の表面炭素濃度が最大固溶濃度より小さい状態を維持するように決定され、前記浸炭ガス利用率は、次の式
15≦E≦25
を満たすように決定されることを特徴とする。
図1は、本実施形態に係る真空浸炭装置1の概略構成を示す図である。図1に示す真空浸炭装置1は、被処理物2、真空浸炭室3、浸炭ガス流路4、流量調整弁5、制御装置6を有する構成である。
図2は、本実施形態に係る真空浸炭装置1の制御ロジックを示すフローチャートである。図1の制御装置6は、浸炭時に図2に示す制御ロジックを実行する。
ステップS1を詳細に説明する。ステップS1では、真空浸炭室3の温度を1203Kから1253Kの範囲の任意の温度に設定する。これは、本実施形態に係る真空浸炭装置1は、この範囲内の浸炭温度に対して有効だからである。
ステップS2を詳細に説明する。ステップS2では、ユーザは真空浸炭室3に配置した全ての被処理物2の総表面積の値を算出して制御装置6に入力する。この総表面積の値は、被処理物2の個数や形状に応じて可変な値である。
ステップS3を詳細に説明する。ステップS3では、ステップS2で設定された被処理物2の総表面積に基づいてガス噴射量を決定すると前述した。そこでまず、被処理物2の総表面積とガス噴射量との相関関係について説明する。
本願発明者は、被処理物2の総表面積(単位: m2)をA、標準状態での時間当たりガス噴射量(単位:NL/hr)をVとすると、これら被処理物2の総表面積A及びガス噴射量の間に図3に示すような相関関係があることを発見した。
図4(a)は、浸炭ガス利用率Eの下限値15%を説明する図である。図4(a)では横軸に浸炭ガス利用率Eを縦軸にスポット状過剰浸炭発生レベルを示す。ここでいうスポット状過剰浸炭発生レベルとは、スポット状過剰浸炭の発生度合いを示す指標である。本実施形態では、スポット状過剰浸炭発生レベルが1以上のときにはスポット状過剰浸炭が発生したことを示し、スポット状過剰浸炭発生レベルが0のときにはスポット状過剰浸炭が不発生で適切な浸炭がなされたことを示すものと定義している。
図4(b)は、浸炭ガス利用率Eの上限値25%を説明する図である。図4(b)では横軸に浸炭ガス利用率Eを縦軸に浸炭深さバラつきを示す。ここでいう浸炭深さバラつきとは、被処理物2における浸炭深さのバラつきの度合いを示す指標(例えば単位mm)である。
以上、被処理物2の表面積Aとガス噴射量Vとの相関関係及び浸炭ガス利用率Eの上下限値について説明してきた。以上の点に鑑みて、ステップS3において制御装置6は、ステップS2で設定された被処理物2の表面積Aに基づいてガス噴射量Vを以下の式(2)及び式(3)により算出された値に決定する。なお、式(2)は式(1)から導き出される。
ステップS4を詳細に説明する。ステップS4では、ガス噴射時間及びガス噴射停止時間を決定すると前述した。本実施形態によれば厳密には、これらガス噴射時間及びガス噴射停止時間と被処理物2の表面炭素濃度との相関関係を考慮して両要素の値の決定している。そこでまず、この相関関係について説明する。
本願発明者は、数十秒間のガス噴射時間及び数十秒間の噴射停止時間を一対にしたものを1回の噴射回数と定義したときのガス噴射回数(単位:回数)をT、被処理物2の表面炭素濃度(単位%)をDとすると、これらガス噴射回数T及び表面炭素濃度Dの間には図5に示すような相関関係があることを発見した。
以上の点に鑑み、ステップS4において制御装置6は、表面炭素濃度Dが限界濃度より小さい状態を維持するように、ガス噴射時間及びガス噴射停止時間を決定する。図6を用いて具体的に説明する。図6は、本実施形態に係るガス噴射時間及びガス噴射停止時間の決定方法を説明する図である。
ステップS5を詳細に説明する。ステップS5では、ステップS3で決定されたガス噴射量と、ステップS4で決定されたガス噴射時間及びガス噴射停止時間と、に基づいて流量調整弁5の開閉動作を制御する。
図8は、本実施形態に係る真空浸炭装置1による浸炭処理の効果を説明する図である。図8(a)では、本実施形態に係る真空浸炭装置1による真空浸炭方法を採用したときの表面炭素濃度Dの経時変化を示している。一方、図8(b)では、従来の真空浸炭装置による真空浸炭方法を採用したときの表面炭素濃度Dの経時変化を示している。
以上のように、本実施形態によれば、浸炭ガス利用率Eに基づいてガス噴射量Vを決定するとともに、被処理物の表面炭素濃度Dに基づいてガス噴射時間及びガス噴射停止時間を決定している。また、これらガス噴射量、ガス噴射時間及びガス噴射停止時間の各設定値を、スポット状過剰浸炭の発生を抑止可能になるように決定している。そのため、スポット状過剰浸炭の発生を防ぎつつ高品質に被処理物2を浸炭できる(請求項1に記載の発明の効果)。
2 被処理物
3 真空浸炭室(浸炭室)
4 浸炭ガス供給路
5 流量調整弁
6 制御装置
ステップS3 ガス噴射量決定工程
ステップS4 ガス噴射周期決定工程
ステップS5 ガス噴射工程
Claims (1)
- 減圧した雰囲気の浸炭室に浸炭ガスを噴射することで、前記浸炭室に配置した被処理物を浸炭する真空浸炭方法であって、
前記浸炭室へ噴射する前記浸炭ガスのガス噴射量に対する前記被処理物の浸炭に現に寄与するガス消費量の割合(以下、浸炭ガス利用率、という)をE(%)、前記被処理物の総表面積をA(m2)、フラックス値をF(g/m2)、浸炭ガス噴射時間をT(hr)、前記浸炭ガスの炭素原子のモル数をn(mol)、炭素原子質量をC(=12.01g/mol)、標準状態での時間当たりガス噴射量をV(NL/hr)とすると、次の式
を満たすように前記浸炭ガスを間欠噴射し、
前記浸炭ガス噴射時間及びガス噴射停止時間は前記被処理物の表面炭素濃度が最大固溶濃度より小さい状態を維持するように決定され、
前記浸炭ガス利用率は、次の式
15≦E≦25
を満たすように決定されることを特徴とする真空浸炭方法。
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